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公开(公告)号：KR1020060084874A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：KR1020050005602
申请日：2005-01-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70633 , G03F9/7076 , H01L23/544 , H01L2223/54426 , H01L2223/5446
Abstract: 본 발명은 일측 소자 영역용 오버레이 마크와 타측 소자 영역용 오버레이 마크가 하나의 스크라이브 라인상에 형성되는 반도체 웨이퍼의 오버레이 마크 정렬 방법에 관한 것으로서, 상기 일측 소자 영역용 오버레이 마크와 타측 소자용 오버레이 마크는 서로 다른 평행선상에 형성하여, 급격한 오차가 발생하더라도 일측 소자 영역용 오버레이 마크와 타측 소자 영역용 오버레이 마크를 혼동하는 일이 없으며, 이로 인한 정확한 오버레이 검사를 통한 보정을 수행할 수 있고, 결과적으로 웨이퍼의 불량율을 현저히 감소시킬 수 있다.
웨이퍼, 스크라이브 라인, 오버레이, 정렬, 나선형-
公开(公告)号：KR1020060058840A
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：KR1020040097831
申请日：2004-11-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/162 , G03F7/70925 , H01L21/6715
Abstract: 간단 및 신속하게 바울을 세정할 수 있는 세정 모듈을 포함하는 코팅 장치는, 반도체 기판을 지지 및 회전시키기 위한 척, 척에 지지된 반도체 기판 상에 코팅 물질을 공급하기 위한 코팅 물질 공급부, 척을 둘러싸도록 구비되며 반도체 기판 상에 공급되어 기판의 회전에 의해 기판으로부터 비산되는 코팅 물질을 차단하기 위한 바울 및 바울에 묻은 포토레지스트 용액을 제거하기 위하여 바울의 내측면으로 세정액을 분사하는 세정 모듈을 포함한다. 이 경우, 세정 모듈은 바울의 상부에 설치된 레일, 레일을 따라 이동하는 이동 모터 및 이동 모터에 의하여 레일에 연결되며 세정액을 분사하기 위한 분사구가 바울의 내측면을 향하도록 바울 내부로 연장된 인젝터를 포함한다. 코팅 장치로부터 바울을 분리하지 않더라고 바울을 신속 및 용이하게 세정함으로써, 코팅 장치 내부에의 파티클 발생을 현격하게 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR100494443B1
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：KR1020030041399
申请日：2003-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F9/7046 , G03F9/7015 , G03F9/7026 , G03F9/7088
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 상의 얼라인 마크에 대한 계측 정밀도를 높이도록 하는 포토리소그래피 공정의 얼라인 계측시스템에 관한 것으로서, 이에 대한 특징적인 구성은, 일측의 광원으로부터 방출된 광의 일부를 수직 대향하는 웨이퍼 상에 조사토록 유도하고, 웨이퍼로부터 반사한 광의 일부를 상측에 위치한 이미지센서 방향으로 투과시키는 제 1 스플리터와; 상기 제 1 스플리터로부터 상기 이미지센서로 진행하는 반사광의 일부를 측부로부터 대향하는 포커싱 다이오드로 유도하는 제 2 스플리터; 및 상기 이미지센서의 검출신호를 수신하여 웨이퍼의 정렬 상태를 판단하고, 웨이퍼를 정렬 위치되게 스테이지의 구동을 제어하는 콘트롤러로 이루어진 포토리소그래피 공정의 얼라인 계측시스템에 있어서, 상기 제 2 스플리터는 상기 콘트롤러의 제어신호에 따라 광의 투과 및 반사의 정도를 조절하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의하면, 제 2 스플리터를 통한 이미지센서로의 광량이 제어되어 정렬마크의 검출 과정에서 포커싱 다이오드로 진행하는 광의 진행을 줄이고, 이미지센서로의 진행을 보다 크게 함으로써 충분한 광량 확보에 따른 검출의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020050000842A
公开(公告)日：2005-01-06
申请号：KR1020030041399
申请日：2003-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F9/7046 , G03F9/7015 , G03F9/7026 , G03F9/7088
Abstract: PURPOSE: An alignment measuring system of a photolithographic process is provided to secure sufficient quantities of light in an image sensor by controlling the degrees of light-transmission and light-reflection according to a control signal of a controller using a second splitter. CONSTITUTION: An alignment measuring system includes a first splitter, a second splitter and a controller. The first splitter(16) is used for guiding partially a first beam emitted from a light source(14) to a wafer of a wafer stage(10) and transmitting a second beam reflected from the wafer to an image sensor(12). The second splitter(30) is used for guiding partially the second beam to a focusing diode(18) as much quantity as the diode want. The controller determines an aligned state of the wafer by receiving a detection signal of the image sensor and controls the driving of the wafer stage to align the wafer in position. The second splitter transmits partially the second beam to the image sensor and reflects the other second beam to the diode according to a control signal of the controller.
Abstract translation: 目的：提供光刻工艺的对准测量系统，以通过根据使用第二分离器的控制器的控制信号控制透光度和光反射度来确保图像传感器中的足够量的光。 构成：对准测量系统包括第一分离器，第二分离器和控制器。 第一分离器（16）用于将从光源（14）发射的第一光束部分地引导到晶片台（10）的晶片，并将从晶片反射的第二光束传输到图像传感器（12）。 第二分束器（30）用于将第二光束部分地引导到聚焦二极管（18），其数量与二极管想要的一样多。 控制器通过接收图像传感器的检测信号来确定晶片的对准状态，并控制晶片台的驱动以将晶片对准。 第二分离器部分地将第二光束传输到图像传感器，并根据控制器的控制信号将另一个第二光束反射到二极管。
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公开(公告)号：KR1020070037796A
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020050092819
申请日：2005-10-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: G02F1/1345
CPC classification number: G02F1/13452 , G02F1/136286 , H05K3/32 , H05K2201/05
Abstract: 액정표시패널의 주변영역을 축소할 수 있는 액정표시장치 및 이의 제조방법이 개시되어 있다. 액정표시장치는 영상을 표시하는 액정표시패널, 액정표시패널의 구동을 제어하기 위한 제어 신호를 발생하는 연성회로기판 및 연성필름을 포함한다. 연성필름은 액정표시패널과 연성회로기판을 전기적으로 연결하며, 연성회로기판의 제어 신호에 반응하여 액정표시패널을 구동시키기 위한 구동 신호를 출력하는 구동칩을 구비한다. 따라서, 구동칩이 연성필름을 통해 액정표시패널에 결합되기 때문에 액정표시패널의 주변영역을 축소할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060043963A
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：KR1020040091720
申请日：2004-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: H01L21/66 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70533 , G03F7/70633 , G03F9/7088 , H01L21/67253
Abstract: 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화하기 위한 오버레이 설비의 제어방법에 관한 것으로, 그의 방법은, 오버레이 측정을 수행하기 위한 오버레이 설비의 제어방법에 있어서; 상기 오버레이 설비에서 측정된 오버레이 패턴의 좌표에 해당되는 측정 레시피를 호스트 컴퓨터에 입력하는 단계; 상기 측정 레시피와 비교하여 오버레이 측정을 수행하기 위해 상기 오버레이 패턴이 형성된 레티클 좌표에 해당되는 기준 레시피를 상기 호스트 컴퓨터의 데이터 베이스로부터 독출하는 단계; 및 상기 기준 레시피가 존재하지 않을 경우, 후속의 오버레이 계측이 수행되지 못하도록 인터락 신호를 출력하는 단계를 포함하여 이루어진다.
호스트 컴퓨터, 사용자 컴퓨터, 설비 서버, 레시피(recipe), 오버레이(overlay)-
公开(公告)号：KR1019950009235B1
公开(公告)日：1995-08-18
申请号：KR1019920004123
申请日：1992-03-13
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김영래
IPC: G11C11/407
Abstract: The word line driving circuit of a semiconductor memory device comprises a word line output circuit having a NAND circuit, a pull-up transistor, a first pull-down transistor, and a second pull-down transistor; and a word line driver circuit having an inverter, a control transistor and a transmission transistor.
Abstract translation: 半导体存储器件的字线驱动电路包括具有NAND电路，上拉晶体管，第一下拉晶体管和第二下拉晶体管的字线输出电路; 以及具有反相器，控制晶体管和透射晶体管的字线驱动电路。
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公开(公告)号：KR1019940022558A
公开(公告)日：1994-10-21
申请号：KR1019930003739
申请日：1993-03-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11C11/407
Abstract: 본 발명은 반도체메모리장치의 워드라인 드라이버회로에 관한 것으로, 본 발명은 워드라인에 전압을 공급하는 소오스전원을 외부전원전압의 전압레벨에 따라 각기 출력신호를 발생하는 2개로 구성하므로서, 반도체메모리장치의 전력소비를 최대한 억제할 수 있으며, 또한 워드라인에 보다 안정된 소오스전압을 공급할 수 있게 된다. 그리고 보다 간단하면서도 신뢰성있는 워드라인 인에이블동작을 실현할 수 있으며, 향후 저전력 소비가 주 관건으로 될 휴대용기기등에 사용되는 반도체메모리장치에서 더욱 그 효과가 커지게 된다.
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公开(公告)号：KR1019940012390A
公开(公告)日：1994-06-23
申请号：KR1019920021137
申请日：1992-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11C11/407
Abstract: 본 발명은 반도체 메모리장치, 특히 다수개의 어드레스를 입력하여 디코딩신호를 출력하는 어드레스 디코딩회로에 관한 것으로, 외부에서 인가되는 어드레스를 받아들이는 어드레스 버퍼에서 직접 프리디코딩 신호를 출력하도록 하기 위하여, 입력 어드레스를 씨모오스 레벨로 정형하는 어드레스 입력단과, 상기 입력단의 출력을 래치하는 래치수단과, 상기 래치수단의 출력 및 그 반전출력을 논리곱으로 조합하여 출력하는 출력단을 구비하여, 별도의 프리디코딩 회로를 사용하지 않고 디코딩함으로써, 동작 스피드의 저하가 방지되고, 소자의 감소를 칩의 면적이 감소되고 소비전력이 줄어든 어드레스 디코딩회로를 제고한다.
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