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公开(公告)号：KR101894393B1
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：KR1020110145157
申请日：2011-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B06B1/0292 , Y10T29/49005
Abstract: 초음파변환기구조물, 초음파변환기및 초음파변환기의제조방법이개시된다. 개시된초음파변환기구조물은구동회로를포함하는구동웨이퍼와, 상기구동웨이퍼상에구비되고, 비아홀이형성된제1웨이퍼와, 상기제1웨이퍼로부터이격되게배치된제2 웨이퍼를포함하는초음파변환기웨이퍼를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160021558A
公开(公告)日：2016-02-26
申请号：KR1020140106965
申请日：2014-08-18
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B06B1/0215 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , G01S7/5202
Abstract: 개시된초음파변환기의구동방법은한 쌍의전극을구비하는정전용량형초음파변환기의구동방법으로서, 송신구간동안에송신펄스전압을형성하는펄스형태의제1구동신호를한 쌍의전극중 어느하나에인가하는단계와, 송신구간동안에송신바이어스전압을형성하고수신구간동안에송신바이어스전압과는다른수신바이어스전압을형성하는제2구동신호를한 쌍의전극중 다른하나에인가하는단계를포함한다.
Abstract translation: 一种用于驱动超声换能器的方法是用于驱动具有一对电极的电容式超声波换能器的方法，该电容式超声换能器包括以下步骤：将形成发射脉冲电压的脉冲形式的第一驱动信号施加到来自该对电极 在传输期间; 以及在所述传输周期期间形成发送偏置电压，以及在接收周期期间，从所述一对电极施加形成与所述发送偏置电压不同的接收偏置电压的第二驱动信号。
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公开(公告)号：KR1020150047004A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020130126701
申请日：2013-10-23
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B06B1/0292 , A61B8/4494 , B06B1/0629 , G01N29/26
Abstract: 개시된초음파변환기는, 하면에오목하게트렌치가형성된기판과, 기판의상면에트렌치를사이에두고서로인접되게위치되며각각 2차원배열된다수의초음파셀을구비하는제1, 제2엘리먼트를포함한다. 제1, 제2엘리먼트의서로인접한제1, 제2외곽선은상보적인지그재그형상이며, 트렌치는제1, 제2외곽선사이에지그재그형태로형성된다.
Abstract translation: 所公开的超声波换能器包括：在其下表面上凹槽地形成有沟槽的衬底; 第一和第二元件紧密地放置在衬底的前表面上的沟槽上，并且具有分别二维排列的多个超声波电池。 第一和第二元件的第一和第二外线彼此相邻并且是互补的曲折形状。 沟槽在第一和第二外线之间以Z字形形式布置。
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公开(公告)号：KR1020120066503A
公开(公告)日：2012-06-22
申请号：KR1020100127871
申请日：2010-12-14
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A61B8/44 , A61B8/14 , A61B8/4477 , A61B8/4483 , B06B1/02 , B06B1/0292 , B06B3/00 , G01S15/8906 , H01L41/00
Abstract: PURPOSE: A cell and a channel of an ultrasonic transducer and an ultrasonic transducer including the same are provided to increase electrostatic force and a volume change amount in a cell of an ultrasonic transducer which is started by vibrating a thin film to a vertical direction to a substrate. CONSTITUTION: A cell(100) of an ultrasonic transducer includes a substrate(10), a supporting part(40) prepared on the substrate, a thin film(50) separated from the supporting part and the substrate, a connection part(70) connecting the thin film and the supporting part. The cell of the ultrasonic transducer further includes a first electrode(20) preparing on the substrate and an insulating layer(30) preparing on the first electrode. The cell of the ultrasonic transducer further include a second electrode(60) prepared on the thin film and a power supply line(80) connected to the second electrode. A first electrode and a second electrode can form a capacitor.
Abstract translation: 目的：提供超声波换能器的单元和通道以及包括该超声波换能器的超声波换能器，以增加通过将薄膜振动到垂直方向而开始的超声换能器的单元中的静电力和体积变化量 基质。 构成：超声波换能器的电池（100）包括基板（10），在基板上制备的支撑部（40），与支撑部和基板分离的薄膜（50），连接部（70） 连接薄膜和支撑部件。 超声波换能器的电池还包括在基板上制备的第一电极（20）和在第一电极上制备的绝缘层（30）。 超声波换能器的电池还包括在薄膜上制备的第二电极（60）和连接到第二电极的电源线（80）。 第一电极和第二电极可以形成电容器。
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公开(公告)号：KR100544174B1
公开(公告)日：2006-01-23
申请号：KR1019990023946
申请日：1999-06-24
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G11B7/1387 , G11B5/17 , G11B5/313 , G11B11/10534 , G11B11/10554 , G11B11/1058 , G11B2007/13725
Abstract: 자계변조용 코일의 구조 및 소형의 대물렌즈에 대한 취부 방법이 개선된 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법이 개시되어 있다.
이 개시된 장치는 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되며, 광자기 기록매체에 광스폿이 맺히도록 입사광을 집속시키는 렌즈와; 판 형상의 코일이 적어도 두 개층 이상 적층되고 각 층의 전기접점이 서로 연결된 복수의 코일층과, 코일층 사이에 개재되어 각 코일층을 전기적으로 절연시키는 절연층을 포함하는 코일부재와; 광자기 기록매체에 대면되는 렌즈의 일 면에 코일부재가 부착되도록 코일부재와 렌즈 사이에 개재된 접합부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 광자기헤드 제조방법은 기판 상에 희생층을 형성하는 단계와; 희생층 상에 복수층의 코일층과 절연층을 갖는 코일부재를 형성하는 단계와; 희생층과 코일부재에 패터닝에 의해 중공을 형성하는 단계와; 코일부재의 최상층 코일 상에 도금용 몰드를 형성하고, 솔더를 도금하여 솔더범프를 형성하는 단계와; 렌즈의 하면에 소정 형상의 금속박막을 코팅하는 단계와; 가열하여 코일부재 상에 렌즈가 융착되도록 하는 단계와; 희생층을 제거하여 기판을 렌즈 및 코일부재에서 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
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公开(公告)号：KR1020060005596A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：KR1020040054449
申请日：2004-07-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0018
Abstract: 교류신호전달동작을 ON/OFF 제어하는 멤스 RF-스위치가 개시된다. 본 멤스 RF-스위치는, 외부 전원의 일단자와 연결된 제1전극, 제1전극의 상부표면에 결합하며, 전원으로부터 바이어스 신호가 인가되면 전위배리어(barrier)를 형성하여 절연성을 띄게 되는 반도체층, 및 반도체층과 일정거리 이격된 위치에 제작되며, 전원의 타단자와 연결되어 전원으로부터 바이어스 신호가 인가되면 반도체층과 접촉하는 제2전극을 포함한다. 이에 따라, 바이어스 신호가 인가된 후 끊어지더라도 반도체층 내부에서 전자 및 정공의 재결합으로 인해 전하 축적 현상 및 이로 인한 스티킹 현상 등이 사라지게 된다.
멤스, 반도체, PN-정션 다이오드, 전위배리어-
公开(公告)号：KR1020040106084A
公开(公告)日：2004-12-17
申请号：KR1020030037285
申请日：2003-06-10
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신형재
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01P1/127 , H01H59/0009 , H01H2059/0054
Abstract: PURPOSE: A seesaw type micro electro mechanism system(MEMS) switch and a method are provided to maintain driving voltage at a low level, and prevent degradation of radio frequency characteristics. CONSTITUTION: A seesaw type MEMS switch comprises a substrate; a transmission line(110) formed on the substrate such that the transmission line has a gap for opening circuit; a connection/disconnection unit spaced apart above the substrate, wherein the connection/disconnection unit connects/disconnects both ends of the gap of the transmission line by performing a seesaw motion centering from an axis; and a driving unit for driving the seesaw movement of the connection/disconnection unit in accordance with a driving signal applied from an external source. The connection/disconnection unit includes first spacers formed on the substrate; a rotary shaft(146) connected between the spacers; and a connection/disconnection bar crossed perpendicularly to the rotary shaft so as to perform a seesaw motion.
Abstract translation: 目的：提供跷跷板微电机系统（MEMS）开关和一种将驱动电压维持在低电平的方法，并防止射频特性的恶化。 构成：跷跷板型MEMS开关包括基板; 形成在基板上的传输线（110），使得传输线具有用于打开电路的间隙; 连接/断开单元，其间隔开在所述基板上方，其中所述连接/断开单元通过执行以轴为中心的跷跷板运动来连接/断开所述传输线的间隙的两端; 以及驱动单元，用于根据从外部源施加的驱动信号驱动连接/断开单元的跷跷板运动。 连接/断开单元包括形成在基板上的第一间隔件; 连接在间隔件之间的旋转轴（146） 和连接/断开杆垂直于旋转轴交叉，以便执行跷跷板运动。
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公开(公告)号：KR1020020064824A
公开(公告)日：2002-08-10
申请号：KR1020010005256
申请日：2001-02-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L23/04
CPC classification number: H01L23/10 , B81B7/0077 , B81C1/00269 , B81C1/00357 , B81C2201/019 , H01L21/50 , H01L24/48 , H01L2224/05599 , H01L2224/45099 , H01L2224/48227 , H01L2224/85399 , H01L2924/00014 , H01L2924/01079 , H01L2924/01322 , H01L2924/10253 , H01L2924/12041 , H01L2924/16235 , H01L2924/00 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: PURPOSE: A method for sealing a wafer level hermetic is provided to reduce the influence of moisture or grain by sealing with a wafer level. CONSTITUTION: A method for sealing a wafer level hermetic comprises a first step(S1) respectively manufacturing semiconductor devices on a wafer, a second step(S2) forming a lead wafer, a third step(S3) forming connection parts made of solders formed on defined portions on the wafer or the lead wafer, a fourth step(S4) sealing the wafer and the lead wafer using the connection parts and the last step(S5) dicing the wafer level device performed with a sealing step(S4) by the chip. At this point, the connection parts having a melting temperature in the range of 100-300 deg.C are made of In, Sn, Ag, Pb, Sn, Au, Bi, Sb, Cd or Cu.
Abstract translation: 目的：提供一种用于密封晶片级密封件的方法，以通过用晶片级密封来减少水分或颗粒的影响。 构成：用于密封晶片级密封件的方法包括：分别在晶片上制造半导体器件的第一步骤（S1），形成引线晶片的第二步骤（S2）;形成由焊料制成的连接部分的第三步骤（S3） 限定部分在晶片或引线晶片上，第四步骤（S4）使用连接部件密封晶片和引线晶片，以及最后步骤（S5），通过芯片对密封步骤（S4）进行的晶片级装置的切割 。 此时，熔融温度在100〜300℃范围内的连接部分由In，Sn，Ag，Pb，Sn，Au，Bi，Sb，Cd或Cu构成。
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公开(公告)号：KR100313851B1
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：KR1019980012865
申请日：1998-04-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B27/18
Abstract: PURPOSE: A micro-mirror device for image display panel is provided to change a progressing path of an incident ray by improving a geometrical structure of a horizontal support beam. CONSTITUTION: A couple of the first post(20) is projected from an upper face of a substrate(10). An electrode(15) is formed on the substrate(10). A hinge point is supported by the first post couple(20). The second post(40) is projected from a support beam(30). A mirror(50) is used for reflecting incident rays. The mirror(50) is supported by the second post(40). A tilt angle of the mirror(50) can be controlled by the electrodes(15) and electrostatic attraction therebetween. The electrode(15) is formed with a base electrode(11) and a connection electrode(13). The support beam(30) has a horizontal support beam(31) for supporting the second post(40) and a couple of spring(33) for connecting the first post couple(20) with both ends of the horizontal support beam(31).
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公开(公告)号：KR1020010039214A
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1019990047514
申请日：1999-10-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , Y10S359/904
Abstract: PURPOSE: An apparatus for driving a micro-mirror is provided to reduce the time for shifting the state of the micro-mirror by improving an electrode structure. CONSTITUTION: The device includes a substrate(21). An address electrode(30) is installed on the substrate(21). The micro-mirror(51) is spaced from the substrate(21) with arranged opposingly to the substrate (21). The inclination of the micro-mirror(51) is adjusted by an electrostatic force between the address electrode(30) and the micro-mirror(51). An auxiliary electrode(40) is protruded from the substrate(21). The auxiliary electrode(40) is positioned at a periphery of the micro-mirror(51). When the micro-mirror(51) is returned to the initial position thereof, the restoring force of the micro-mirror(51) is increased by the electrostatic force of the auxiliary electrode(40).
Abstract translation: 目的：提供一种用于驱动微反射镜的装置，通过改善电极结构来减少移动微镜的状态的时间。 构成：该装置包括基板（21）。 地址电极（30）安装在基板（21）上。 微镜（51）与衬底（21）间隔开，与衬底（21）相对设置。 微镜（51）的倾斜度由寻址电极（30）和微反射镜（51）之间的静电力调整。 辅助电极（40）从基板（21）突出。 辅助电极（40）位于微反射镜（51）的周边。 当微反射镜（51）返回到其初始位置时，微反射镜（51）的恢复力由于辅助电极（40）的静电力而增加。
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