公开(公告)号：KR100761476B1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：KR1020040054449

申请日：2004-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송일종 ,  심동하 ,  신형재 ,  권순철 ,  김재흥 ,  이상훈 ,  홍영택

IPC: H01L29/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H2059/0018

Abstract: 교류신호전달동작을 ON/OFF 제어하는 멤스 RF-스위치가 개시된다. 본 멤스 RF-스위치는, 외부 전원의 일단자와 연결된 제1전극, 제1전극의 상부표면에 결합하며, 전원으로부터 바이어스 신호가 인가되면 전위배리어(barrier)를 형성하여 절연성을 띄게 되는 반도체층, 및 반도체층과 일정거리 이격된 위치에 제작되며, 전원의 타단자와 연결되어 전원으로부터 바이어스 신호가 인가되면 반도체층과 접촉하는 제2전극을 포함한다. 이에 따라, 바이어스 신호가 인가된 후 끊어지더라도 반도체층 내부에서 전자 및 정공의 재결합으로 인해 전하 축적 현상 및 이로 인한 스티킹 현상 등이 사라지게 된다.
멤스, 반도체, PN-정션 다이오드, 전위배리어

公开(公告)号：KR100738064B1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：KR1020010009955

申请日：2001-02-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심동하

IPC: F16F1/22

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0013 ,  H01H2001/0089 ,  H01H2059/0063 ,  H01H2059/0072

Abstract: 비선형적 복원력을 가지는 스프링 요소가 적용된 MEMS 소자에 관해 개시된다. 개시된 소자는: 기판 상에 형성되는 지지요소와; 지지요소에 의해 기판의 상방에 위치하여 기판에 대해 상대적인 운동을 하는 운동요소와; 상기 운동요소를 상기 지지체에 대해 탄력적 현가하는 스프링요소와; 상기 기판에 대한 상기 운동요소의 상대적 운동을 유발시키는 구동요소와; 상기 구동요소에 의해 운동요소가 운동을 할 때에 이를 지지하는 상기 스프링 요소가 소정량의 탄성변형이 이루어 졌을 때 스프링 요소의 반발력을 비선형적으로 증가시키는 반발력 변경 요소를; 구비한다.
이러한 MEMS 소자는 비선형적 반발력을 가지는 스프링요소를 이용하여 운동요소의 위치제어를 할 경우 위치 제어의 범위를 늘일 수 있다. 그리고 운동요소의 스틱션이 발생했을 경우 비선형적인 반발력을 가지는 스프링에 의해 큰 복원력을 얻을 수 있으며 공정 중 또는 동작 중에 발생할 수 있는 스틱션을 방지할 수 있다. 이러한 본 발명의 MEMS 소자는 종래의 MEMS 소자에 비해 신뢰성이 매우 높다.
MEMS, 비선형, 스프링

公开(公告)号：KR100699488B1

公开(公告)日：2007-03-26

申请号：KR1020050065508

申请日：2005-07-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심동하 ,  송인상 ,  김덕환 ,  박윤권 ,  윤석출 ,  남광우

IPC: H03H3/007

CPC classification number: H01L23/10 ,  H01F17/0006 ,  H01F27/027 ,  H01L23/49838 ,  H01L23/645 ,  H01L2924/16152

Abstract: 인덕터를 포함한 패키징 칩이 개시된다. 본 패키징 칩은, 소정 회로소자가 실장된 기판, 기판 상부 표면 상에 제작된 포트, 기판 상에서 회로소자의 일 단자 및 포트와 각각 전기적으로 연결된 실링부, 및, 실링부를 통해 기판과 접합되어 회로소자를 패키징하는 패키징 기판을 포함한다. 이 경우, 실링부는 도전성 물질로 제작되어, 소정 크기의 인덕턴스를 가지게 되어 인덕터 역할을 한다. 또한, 포트는, 시그널 포트 및 그라운드 포트를 포함할 수 있다. 이 경우, 실링부는, 기판의 가장 자리에 적층된 실링 라인, 시그널 포트 및 그라운드 포트 중 하나와 실링 라인을 전기적으로 연결하는 제1 연결라인, 및, 회로소자의 일 단자와 실링 라인을 전기적으로 연결하는 제2 연결라인을 포함한다. 이에 따라, 인덕터가 내장된 패키징 칩을 소형으로 구현할 수 있다.
패키징, 실링부, 인덕터, 인덕턴스

公开(公告)号：KR1020070010711A

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：KR1020050065508

申请日：2005-07-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심동하 ,  송인상 ,  김덕환 ,  박윤권 ,  윤석출 ,  남광우

IPC: H03H3/007

CPC classification number: H01L23/10 ,  H01F17/0006 ,  H01F27/027 ,  H01L23/49838 ,  H01L23/645 ,  H01L2924/16152

Abstract: A packaging chip having an inductor is provided to reduce a chip size and improve a Q value by implementing an inductor with a sealing material which is used in packaging and is stacked widely on an edge of a substrate. A packaging chip having an inductor includes a substrate(100), a port(120), a sealing unit(130), and a packaging substrate(160). A predetermined circuit element is mounted on the substrate(100). A port(120) is formed on an upper surface of the substrate(100). The sealing unit(130) is electrically connected to an end of the circuit element and the port(120) on the substrate(100). The packaging substrate(160) is contacted with the substrate(100) through the sealing unit(130), and packages the circuit element. The sealing unit(130) is made of a conductive material and has an inductance of a predetermined amplitude. The port(120) includes a signal port and a ground port.

Abstract translation: 提供了一种具有电感器的封装芯片，通过使用封装材料的电感器实现电感，从而减小了芯片尺寸并提高了Q值，并将其广泛堆叠在基板的边缘上。 具有电感器的封装芯片包括基板（100），端口（120），密封单元（130）和封装基板（160）。 预定电路元件安装在基板（100）上。 在基板（100）的上表面上形成有端口（120）。 密封单元（130）电连接到电路元件的端部和基板（100）上的端口（120）。 包装衬底（160）通过密封单元（130）与衬底（100）接触，并封装电路元件。 密封单元（130）由导电材料制成并且具有预定振幅的电感。 端口（120）包括信号端口和接地端口。

公开(公告)号：KR100631217B1

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：KR1020050068486

申请日：2005-07-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남광우 ,  선우국현 ,  송인상 ,  권상욱 ,  김덕환 ,  김철수 ,  설상철 ,  박윤권 ,  박해석 ,  신제식 ,  심동하 ,  홍영택 ,  김종석 ,  장석모 ,  윤석출

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/15

Abstract: An integrated filter comprising an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) and a SAW(Surface Acoustic Wave) resonator and a method for fabricating the same are provided to reduce the size and to improve the yield by integrating the FBAR and the SAW resonator into one substrate. An integrated filter comprising an FBAR and an SAW resonator comprises a substrate(110), a first electrode(120), a first piezoelectric layer(130), a second electrode(150), a second piezoelectric layer(140) and an inter digital transducer(IDT) electrode. The first electrode(120) is located at a predetermined first area of the top surface of the substrate(110). The first piezoelectric layer(130) is located on the first electrode(120). The second electrode(150) is located on the first piezoelectric layer(130). The second piezoelectric layer(140) is located at a predetermined second area of the top surface of the substrate(110). The IDT electrode is located on the second piezoelectric layer(140). The IDT electrode includes a first IDT electrode(160) with a comb structure and a second IDT electrode(170) with the comb structure engaged with the first IDT electrode(160).

Abstract translation: 提供包括FBAR（薄膜体声波谐振器）和SAW（表面声波）谐振器的集成滤波器及其制造方法，以通过将FBAR和SAW谐振器集成到一个基底中来减小尺寸并提高产量 。 包括FBAR和SAW谐振器的集成滤波器包括基板（110），第一电极（120），第一压电层（130），第二电极（150），第二压电层（140）和内部数字 换能器（IDT）电极。 第一电极（120）位于基板（110）的顶表面的预定第一区域处。 第一压电层（130）位于第一电极（120）上。 第二电极（150）位于第一压电层（130）上。 第二压电层（140）位于基板（110）的顶表面的预定第二区域处。 IDT电极位于第二压电层（140）上。 IDT电极包括具有梳状结构的第一IDT电极（160）和梳状结构与第一IDT电极（160）接合的第二IDT电极（170）。

公开(公告)号：KR100378356B1

公开(公告)日：2003-03-29

申请号：KR1020010018640

申请日：2001-04-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송인상 ,  심동하

IPC: H01L29/00

Abstract: PURPOSE: An MEMS switch is provided using an RF blocking resistor instead of a relatively large-sized RF choke inductor conventionally used to block RF signals. CONSTITUTION: The MEMS switch has a semiconductor or dielectric substrate(10), a signal line(12) formed on the substrate(10) and having a gap(13) to form an open circuit, an RF ground(14a,14b) separated from the signal line(12), an anchor(20a,20b) formed on the substrate(10) and near both sides of the signal line(12), a driving electrode formed on the substrate(10) and between the signal line(12) and the anchor(20a,20b), a coupling dielectric(18) formed on the driving electrode, a flexible beam(22) extending from the top of the anchor(20a,20b) to face the opposite, a driving plate(24) connected to the beam(22) above the coupling dielectric(18) to form coupling capacitance structure together with the driving electrode and the dielectric(18), a contact plate(28) disposed above the gap(13) and between the driving plates to form resistance coupling together with the signal line(12), the RF blocking resistor(40) formed between the driving electrode and the ground(14a,14b), and an RF blocking part(42) formed between a pad(44) on the substrate(10) and the anchor(20a,20b).

Abstract translation: 目的：提供一种MEMS开关，其使用RF阻塞电阻器而不是通常用于阻挡RF信号的相对较大尺寸的RF扼流圈电感器。 本发明的MEMS开关具有半导体或电介质基板（10），形成在基板（10）上并具有间隙（13）以形成开路的信号线（12），RF接地（14a，14b） 从信号线（12）接收在基板（10）上靠近信号线（12）的两侧形成的固定器（20a，20b），在基板（10）上形成的驱动电极以及信号线 在所述驱动电极上形成的耦合电介质（18），从所述锚（20a，20b）的顶部延伸的柔性梁（22）以面对相对的驱动板（12）和所述锚（20a，20b） 24），连接到耦合电介质（18）上方的梁（22），以与驱动电极和电介质（18）一起形成耦合电容结构;接触板（28），设置在间隙（13）上方并且在驱动 与信号线（12）一起形成电阻耦合，在驱动电极和地（14a，14b）之间形成的RF阻塞电阻（40），以及RF阻断 （42）形成在衬底（10）上的垫（44）和锚（20a，20b）之间。

公开(公告)号：KR1020020074331A

公开(公告)日：2002-09-30

申请号：KR1020010014303

申请日：2001-03-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심동하 ,  송인상

IPC: H01L29/00

Abstract: PURPOSE: A microelectromechanical system(MEMS) switch using a radio frequency(RF) blocking resistor is provided to simplify the structure and to easily integrate the switch, by using the RF blocking resistor instead of an additional blocking capacitor and an RF choke. CONSTITUTION: A semiconductor or dielectric substrate(10) is prepared. A signal line(12) has a gap(18) forming an open circuit, formed on the substrate. An RF ground is located in a position separated from the signal line, formed on the substrate. Anchors(20a,20b) are separated from the signal line, formed on the substrate. A coupling dielectric is formed on the signal line. A transfer member is supported by the upper portion of the anchor, extending over the gap. The transfer member, the signal line and the coupling dielectric constitute a capacitor structure. When a pull-down voltage is applied, the transfer member is downward curved and contacts the signal line to make capacitive coupling. The RF blocking resistor(34) is formed between the signal line and the ground to block radio frequency. An RF blocking unit(32) is formed between a pad(30) formed on the substrate and the anchor to block radio frequency.

Abstract translation: 目的：提供使用射频（RF）阻塞电阻的微机电系统（MEMS）开关，以简化结构，并通过使用RF阻断电阻代替附加的隔离电容器和RF扼流圈来轻松集成开关。 构成：制备半导体或电介质基片（10）。 信号线（12）具有形成在基板上的形成开路的间隙（18）。 RF接地位于与基板上形成的信号线分离的位置。 锚固体（20a，20b）与形成在基板上的信号线分离。 在信号线上形成耦合电介质。 转移构件由锚的上部支撑，在间隙上延伸。 传输部件，信号线和耦合电介质构成电容器结构。 当施加下拉电压时，传输构件向下弯曲并接触信号线以进行电容耦合。 RF阻断电阻（34）形成在信号线和地之间以阻挡射频。 在形成在基板上的焊盘（30）和锚之间形成RF阻挡单元（32）以阻挡射频。

公开(公告)号：KR1020010035835A

公开(公告)日：2001-05-07

申请号：KR1019990042596

申请日：1999-10-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이기방 ,  박홍식 ,  문용승 ,  심동하

IPC: G11B21/16

Abstract: PURPOSE: A head assembly for a had disk drive with a micro actuator of a three dimensional comb structure is provided to increase output of power by having a voltage to a pair of combs which are protruded perpendicularly to a plane and inter-engaged with each other and thus permitting an electrostatic force generated between the two combs to be constantly maintained in response to a relative motion of the comb structure. CONSTITUTION: A number of load beams corresponds to a number of recording surfaces of a hard disk(55) fixed on an arm. Sliders(51) are attached to terminal portions of the load beams. Fixed combs are formed on side surfaces of the sliders(51). Moving combs are disposed between the fixed combs. Moving plates have the moving combs fixed on inner surfaces thereof and are spaced from one side surfaces(52) of the sliders(51) by a predetermined interval. Spring member supports allow the moving plates to be movably floated at the predetermined interval. A micro actuator(53) has the load beams, the sliders(51), the fixed combs, the moving combs, the moving plates and the spring member supports. Heads(54) are formed on outer surfaces of the moving plates of the micro actuator(53). The heads(54) are arranged perpendicularly to tracks on the hard disk recording surface so as for an electrostatic force not to be varied as the fixed combs and the moving combs move, and are formed to be movable in parallel to the hard disk recording surface in a direction to cross the tracks.

Abstract translation: 目的：提供具有具有三维梳状结构的微型致动器的磁盘驱动器的磁头组件，以通过向垂直于平面突出并相互嵌合的一对梳子提供电压来增加功率输出 并且因此允许响应于梳状结构的相对运动而恒定地保持在两个梳之间产生的静电力。 构成：多个负载梁对应于固定在臂上的硬盘（55）的多个记录表面。 滑动件（51）附接到负载梁的端子部分。 固定梳状物形成在滑块（51）的侧表面上。 移动梳布设置在固定梳子之间。 移动板具有固定在其内表面上的移动梳，并且与滑块（51）的一个侧表面（52）间隔预定间隔。 弹簧构件支撑件允许移动板以预定间隔可移动地浮动。 微型致动器（53）具有负载梁，滑块（51），固定梳，移动梳，移动板和弹簧构件支撑。 头部（54）形成在微致动器（53）的移动板的外表面上。 头部（54）垂直于硬盘记录表面上的轨道设置，以使得静电力不会随着固定梳和移动梳移动而变化，并且形成为可平行于硬盘记录表面移动 在一条方向穿过轨道。