Abstract:
본발명의기술적사상에의한반도체소자제조방법은, 제1 도전형 MOS 영역및 제2 도전형 MOS 영역을포함하는제1 전압소자부및 제2 전압소자부를가지는반도체기판을준비하는단계, 제1 전압소자부및 제2 전압소자부상에제1 게이트절연막을증착하는단계, 제1 전압소자부의제1 도전형 MOS 영역에형성된제1 게이트절연막을제거하여제1 전압소자부의제1 도전형 MOS 영역의기판을노출하는단계, 제1 전압소자부의제1 도전형 MOS 영역의기판상에제1 반도체층을형성하는단계및 제1 전압소자부의제2 도전형 MOS 영역에형성된제1 게이트절연막을제거하여제1 전압소자부의제2 도전형 MOS 영역의기판을노출하는단계를포함한다.
Abstract:
PURPOSE: A semiconductor memory device and a burn-in test method thereof are provided to effectively perform a burn-in test by setting various operation conditions for the burn-in test. CONSTITUTION: A cell array(110) includes a plurality of memory cells. Each memory cell includes a resistive element located between a bit line and a source line, and a cell transistor. A source line voltage providing unit(160) provides a reference source line voltage to a source line in a normal mode, provides a first source line voltage having a lower level than that of the reference source line to the source line while writing data of a first state in a test mode, and provides a second source line voltage having a higher level than that of the reference source line to the source line while writing data of a second state.
Abstract:
PURPOSE: A high sensitivity detection method of troponin I is provided to remarkably improve detection sensitivity and reproducibility by reducing non-specific binding. CONSTITUTION: An immunoassay reagent for the high sensitivity detection of an analyte contains an analyte-containing sample and protamine. The protamine forms a protamine-fibrinogen complex by electrostatic-coupling with fibrinogen in the sample. A high sensitivity detection method comprises: a step of fixing a capture antibody(11) which is specific to the analyte on a substrate(10); a step of preparing the immunoassay reagent; a step of adding a detection antibody(13) which is identical with the capture antibody to the immunoassay reagent, and forming a detection antibody-analyte complex; a step of binding the detection antibody-analyte complex with the capture antibody, and forming a detection antibody-analyte-capture antibody complex; and a step of detecting the analyte. The sample is plasma.
Abstract:
고전압 반도체 장치 및 그 제조 방법에서, 드리프트 영역는 제1 도즈량의 불순물이 도핑되고, 각각이 서로 이격되어 채널 영역을 한정하면서 반도체 기판 표면으로부터 아래에 제1 깊이를 갖는다. 소스/드레인 영역은 제2 도즈량의 불순물이 도핑되고, 상기 반도체 기판 표면으로부터 아래에 상기 제1 깊이에 비해 얕은 제2 깊이를 갖는다. 퇴적 불순물 영역은 제3 도즈량의 불순물이 도핑되고, 상기 소스/드레인 영역과 인접하면서 상기 반도체 기판 표면으로부터 아래에 상기 제1 깊이에 비해 얕은 제3 깊이를 갖는다. 그리고, 상기 반도체 기판 상에 형성되면서 상기 소스/드레인 영역을 부분적으로 노출시키는 게이트 절연막 패턴과 채널 영역의 게이트 절연막 패턴 상에 형성된 게이트 도전막 패턴을 갖는 게이트 구조물을 포함하고, 상기 게이트 구조물 표면 상에 급격하게 전류가 증가하는 것을 현저하게 감소시키는 버퍼막이 형성된다.
Abstract:
피모스 스캔 트랜지터를 포함하는 듀얼 포트 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 레이아웃에 대하여 개시한다. 본 발명에 의한 듀얼 포트 반도체 메모리 장치는 2개의 피모스 부하 트랜지스터, 2개의 엔모스 풀다운 트랜지스터, 2개의 엔모스 패스 트랜지스터 및 1개의 피모스 스캔 트랜지스터로 구성되는데, 스캔 트랜지스터가 피모스 트랜지스터이기 때문에 노이즈 마진이 향상된다. 그리고, 이 7개의 트랜지스터는 각각 2개의 엔웰 및 2개의 피웰에 배열되는데, 엔웰과 피웰은 교대로 일렬로 배열되며 그 결과 메모리 셀의 단축 방향 길이가 상당히 짧다. 본 발명의 메모리 셀 레이아웃에 의하면, 비트 라인쌍을 웰 경계면과 평행한 방향 즉 단축 방향으로 배치함으로써 비트 라인의 길이를 줄일 수 있고, 아울러 비트 라인 및 상보 비트 라인 사이에 고정된 전위를 가지는 도전 라인을 배치함으로써 비트 라인쌍 사이에서 발생하는 간섭 현상을 방지할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A cell structure of an EEPROM device and a fabricating method thereof are provided to erase easily programmed cells by forming non-nitride layer spacers on both sides of the first floating gate. CONSTITUTION: A cell structure of an EEPROM device includes a stack part and a floating gate transistor part. The stack part includes a semiconductor substrate, a first floating gate, a nitride layer pattern, a control gate, and a non-nitride layer spacer. The first floating gate(106a), the nitride layer pattern(114) including a nitride layer, and the control gate(131) are formed on the semiconductor substrate(101). The non-nitride layer spacer(122) is formed on both sides of the first floating gate to erase charges with ultraviolet rays. The floating gate transistor part includes a gate insulating layer, a second floating gate, and a source/drain. The gate insulating layer is formed on the semiconductor substrate. The second floating gate is formed on the gate insulating layer. The source/drain is aligned to the second floating gate.