公开(公告)号：KR100676824B1

公开(公告)日：2007-02-01

申请号：KR1020050077784

申请日：2005-08-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상호 ,  신정근 ,  안드레이유스코브 ,  임순규 ,  정경석

IPC: H01L21/68 ,  B65G25/00

Abstract: A panel transfer apparatus is provided to easily transfer a panel cassette and accurately control a position of the panel cassette by simplifying a process of transferring the panel cassette. A cassette load chamber(30) has a cassette accommodation portion(31) accommodating a panel cassette(25). A stage(40) is provided on the cassette accommodation portion to support the panel cassette. A transfer unit(50) is provided on the cassette receiving portion to transfer the stage between a loading position and an unloading position. A rotation unit(70) is interposed between the transfer unit and the stage to rotate the stage around a transfer direction of the transfer unit. A sensor(60) is provided in the cassette accommodation portion to detect the panel cassette.

Abstract translation: 通过简化传送面板盒的过程，提供面板传送装置以容易地传送面板盒并精确地控制面板盒的位置。 盒装载室（30）具有容纳面板盒（25）的盒容纳部（31）。 一个台架（40）设置在磁带盒容纳部分上以支撑面板磁带盒。 传送单元（50）设置在盒子接收部分上以在载入位置和卸载位置之间传送载物台。 旋转单元（70）插入在传送单元和平台之间以围绕传送单元的传送方向旋转平台。 传感器（60）设置在盒容纳部分中以检测面板盒。

公开(公告)号：KR100541546B1

公开(公告)日：2006-01-10

申请号：KR1020030048083

申请日：2003-07-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이수찬 ,  선용균 ,  김현호 ,  이병천 ,  이준호 ,  이종철 ,  류제형 ,  김태규 ,  임순규

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2886 ,  G01R31/2893

Abstract: 반도체 디바이스 테스트장치 및 그 반도체 디바이스 테스트장치의 로봇 속도 조절 방법을 제공한다. 이러한 반도체 디바이스 테스트 장치는 테스트트레이에 적재되는 인서트에 4개의 디바이스가 수용되도록 구성하고 그에 대응하는 테스트헤드의 구조 및 리드푸셔조립체의 구성을 개선하여 단위 시간당 테스트하는 디바이스의 량을 증대시킨다. 또한, 테스트할 때 발생되는 디바이스이 자기 발열을 전도방식에 의해 냉각시키도록 구성함에 따라 보다 향상된 온도조절을 한다. 한편, 디바이스를 이송하는 각종 로봇들을 디바이스의 테스트타임에 따라 자동으로 속도 조절하도록 하여 로봇에 과중한 피로가 가해지는 것을 해소한다. 또한 스태커에 있어서, 유저트레공급부 및 유저트레이출하부의 위치를 구분하여 사용하지 않고 테스트 진행상황에 따라 그 용도를 변경하여 사용할 수 있도록 하여 제한된 스태커 공간 내에서 보다 효과적으로 유저트레이를 공급하고 출하할 수 있다. 또한, 챔버부가 본체로부터 분리가능하도록 구성하여 본체 내부 점검을 보다 쉽게 행하는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR1020050008227A

公开(公告)日：2005-01-21

申请号：KR1020030048083

申请日：2003-07-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이수찬 ,  선용균 ,  김현호 ,  이병천 ,  이준호 ,  이종철 ,  류제형 ,  김태규 ,  임순규

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2886 ,  G01R31/2893

Abstract: PURPOSE: A semiconductor device test apparatus and a method for controlling robot speed thereof is provided to improve the productivity of a test process by changing the operating system of the test tray and its peripheral units. CONSTITUTION: A semiconductor device test apparatus includes a body and the following units. a supply part(214) of a user tray and a sending out part(214') of the user tray is formed in a stacker(210). Devices waiting for test on the user tray is seated on a test tray of a device loading part(220) by a loading robot(217). The test tray received from the device loading part is precooled or preheated by a soak chamber(251). The preheated or precooled devices is tested by a test chamber(253). The devices come out from the test chamber is sent to a device unloading part(290) after recovering a room temperature by a desoak chamber(257). The devices of the device unloading part are picked up and transferred to a plurality of sorter table(274) by a classifying robot(273) according to a test result. The devices transferred to a plurality of the sorter table are picked up and send to the sending out part of the user tray by an unloading robot(291). The sock chamber, the test chamber and the desoak chamber are capable of separating from the body by a sliding unit.

Abstract translation: 目的：提供一种用于控制机器人速度的半导体器件测试装置和方法，通过改变测试托盘及其周边单元的操作系统来提高测试过程的生产率。 构成：半导体器件测试装置包括主体和以下单元。 用户托盘的供应部分（214）和用户托盘的发送部分（214'）形成在堆叠器（210）中。 在用户托盘上等待测试的设备由装载机器人（217）安置在设备装载部件（220）的测试托盘上。 从装置装载部接收的试验盘被浸泡室（251）预冷却或预热。 预热或预冷器件通过测试室（253）进行测试。 在通过解泡室（257）恢复室温后，从测试室出来的装置被送到装置卸载部分（290）。 根据测试结果，通过分类机器人（273）拾取装置卸载部件的装置并将其传送到多个分拣机台（274）。 通过卸载机器人（291）拾取传送到多个分拣机的装置并发送给用户托盘的一部分。 袜子室，测试室和脱泡室能够通过滑动单元与身体分离。