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公开(公告)号：KR101039028B1
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：KR1020040046703
申请日：2004-06-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/133528 , B32B37/003 , B32B2037/1072 , B32B2457/20 , B32B2457/202
Abstract: 본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로서, 기판조립체와 상기 기판조립체에 부착된 편광판을 포함하는 액정패널을 마련하는 단계와, 외부에 노출된 상태에서, 상기 액정패널의 판면을 향해 기체분사부를 배치하는 단계와, 상기 기체분사부를 통하여 상기 액정패널의 판면에 기체를 분사하여 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 기판과 편광판 사이에 발생하는 기포를 챔버를 사용하지 않고 간단한 방법으로 제거할 수 있는 액정표시장치의 제조방법이 제공된다.
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公开(公告)号：KR200183072Y1
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：KR2019970004036
申请日：1997-03-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정근
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 고안은, 웨이퍼의 표면검사를 위한 복수의 탐침이 장착된 프루브카드와, 상기 프루브카드의 지지를 위한 카드홀더를 갖는 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 상기 프루브카드의 판면방향을 따라 이동가능하며 상기 프루브카드의 측연에 접촉하는 조절가이드부재와, 상기 조절가이드부재를 상기 카드홀더에 고정하기 위한 고정부재를 갖는다. 이에 의해, 프루브카드의 이동을 방지하여 웨이퍼의 검사 정확도를 증대시킨 웨이퍼 검사장치가 제공된다.
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公开(公告)号：KR200160512Y1
公开(公告)日：1999-11-01
申请号：KR2019970015492
申请日：1997-06-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정근
IPC: G02F1/1345 , G02F1/13
Abstract: 본 발명은 아우터리드본딩장치에 관한 것으로서, 백업헤드와, 이방성도전막을 개재하여 그라스기판과 TAB부품을 상기 백업헤드에 대해 압착하는 가압헤드와, 상기 가압헤드에 결합되어 상기 가압헤드를 가열하는 가열블럭과, 가압실린더에 의해 승강이동하는 지지블럭과, 상기 지지블럭과 상기 가열블럭간의 근접량의 조절을 위한 당기기조절스크류와, 상기 지지블럭과 상기 가열블럭간의 이격량의 조절을 위한 밀기조절스크류를 포함하며, 상기 당기기조절스크류와 상기 밀기조절스크류의 유효열팽창길이가 실질적으로 동일하다. 이에 의해, 밀기 및 당기기조절스크류의 유효열팽창길이가 실질적으로 동일하므로, 열적변화에 따른 가압헤드의 평탄도 변화를 최소화할 수 있다.
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公开(公告)号：KR2019980060029U
公开(公告)日：1998-11-05
申请号：KR2019970004036
申请日：1997-03-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정근
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 고안은, 웨이퍼의 표면검사를 위한 복수의 탐침이 장착된 프루브카드와, 상기 프루브카드의 지지를 위한 카드홀더를 갖는 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 상기 프루브카드의 판면방향을 따라 이동가능하며 상기 프루브카드의 측연에 접촉하는 조절가이드부재와, 상기 조절가이드부재를 상기 카드홀더에 고정하기 위한 고정부재를 갖는다. 이에 의해, 프루브카드의 이동을 방지하여 웨이퍼의 검사 정확도를 증대시킨 웨이퍼 검사장치가 제공된다.
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公开(公告)号：KR2019980026664U
公开(公告)日：1998-08-05
申请号：KR2019960039566
申请日：1996-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정근
IPC: H01L21/66
Abstract: 다수의탐침을갖는프로우브카드를사용하여반도체웨이퍼의전기적특성을검사하는검사장치로서특히반도체웨이퍼의패드에대한탐침들선단들이이루는평면의평행도및 그높이조정이용이해진것이다. 그장치는프로우브카드(13)가장착되는카드홀더(16)와이 카드홀더를지지하는링 캐리어(17)를포함하며, 그용이한평행도및 높이조정을위하여링 캐리어의지지부에등 간격으로형성된나사구멍(19a,19b,19c)과이에체결되는조정나사(20a,20b,20c)로되는 3점지지구조를구비한다. 이러한 3점지지구조로반도체웨이퍼에대한프로우브카드의탐침들의평행도및 높이조정이용이하여, 검사의신뢰도향상과시간단축그리고반도체웨이퍼손상방지등에기여할수 있으며, 고집적반도체웨이퍼검사에유리한것이다.
Abstract translation: 多个使用具有探针将使用并行和探针针尖的高度调整到半导体晶片的焊盘实现扁平检查装置用于检查半导体晶片的电特性尤其yihaejin的探针卡。 该装置包括探针卡13，该卡夹持器安装件（16）包括一个环座（17），用于支撑所述金属线卡夹持器，且容易地以平行性和高度调节以相等的间隔形成于环座的支撑部 rodoe螺钉孔（19A，19B，19C）和它的调节螺钉（20A，20B，20C）固定设置有支撑结构3分。 此三点支撑结构，调节平行性和用于在半导体晶片的探针卡，测试的可靠性提高的探针的高度，缩短了时间，并可能有助于半导体晶片，以防止损坏，这是在高密度的半导体晶片的检查是有利的。
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公开(公告)号：KR100676824B1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：KR1020050077784
申请日：2005-08-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A panel transfer apparatus is provided to easily transfer a panel cassette and accurately control a position of the panel cassette by simplifying a process of transferring the panel cassette. A cassette load chamber(30) has a cassette accommodation portion(31) accommodating a panel cassette(25). A stage(40) is provided on the cassette accommodation portion to support the panel cassette. A transfer unit(50) is provided on the cassette receiving portion to transfer the stage between a loading position and an unloading position. A rotation unit(70) is interposed between the transfer unit and the stage to rotate the stage around a transfer direction of the transfer unit. A sensor(60) is provided in the cassette accommodation portion to detect the panel cassette.
Abstract translation: 通过简化传送面板盒的过程，提供面板传送装置以容易地传送面板盒并精确地控制面板盒的位置。 盒装载室（30）具有容纳面板盒（25）的盒容纳部（31）。 一个台架（40）设置在磁带盒容纳部分上以支撑面板磁带盒。 传送单元（50）设置在盒子接收部分上以在载入位置和卸载位置之间传送载物台。 旋转单元（70）插入在传送单元和平台之间以围绕传送单元的传送方向旋转平台。 传感器（60）设置在盒容纳部分中以检测面板盒。
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公开(公告)号：KR100661652B1
公开(公告)日：2006-12-26
申请号：KR1020050072222
申请日：2005-08-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: A substrate inspecting apparatus and a controlling method thereof are provided to improve a substrate inspecting time and to perform stably a substrate inspecting process. A substrate inspecting apparatus(10) includes an inspecting unit, a supply unit, and an exhaust unit. The inspecting unit(20) is composed of an inspecting portion(21) for inspecting a substrate, an inspecting stage for supporting the substrate, and a driving portion(25) for moving the inspecting portion and the inspecting stage. The supply unit(30) is installed at an inlet region of the inspecting unit. The supply unit is composed of a plurality of supply stages capable of supplying sequentially substrates to the inspecting unit. The exhaust unit(50) is installed at an outlet region of the inspecting unit. The exhaust unit is composed of a plurality of exhaust stages for supporting the substrates.
Abstract translation: 本发明提供一种基板检查装置及其控制方法，以提高基板检查时间并稳定地执行基板检查处理。 基板检查装置（10）包括检查单元，供给单元和排气单元。 检查单元（20）由用于检查基板的检查部分（21），用于支撑基板的检查台以及用于移动检查部分和检查台的驱动部分（25）构成。 供应单元（30）安装在检测单元的入口区域处。 供给单元由多个供给台构成，该多个供给台能够将基板依次供给到检查单元。 排气单元（50）安装在检查单元的出口区域。 排气单元由用于支撑基板的多个排气级构成。
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公开(公告)号：KR1020000014841A
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019980034457
申请日：1998-08-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정근
IPC: G02F1/1345
Abstract: PURPOSE: A tab tape cleaning apparatus of tab tape supplier is provided to remove a foreign matter attached to top and bottom of a tab tape by brushing and air jetting. CONSTITUTION: The tab tape cleaning apparatus includes a casing having an inlet and outlet for a tag tape to pass through the inside of the casing, and a pair of brush for removing a foreign matter attached to top and bottom of the tab tape passing an inside of the casing, an air jet tool for removing a foreign matter attached to top and bottom of the tab tape due to abrasion of the brush. The air jet tool includes a pair of nozzle for jetting an air to top and bottom of the tab tape. The air jet tool includes furthermore an ionizer for ionizing the air for removing a foreign matter easily.
Abstract translation: 目的：提供贴片带供应商的贴片带清洁装置，通过刷涂和空气喷射来除去附着在贴片带的顶部和底部的异物。 构成：标签带清洁装置包括具有用于标签带的入口和出口穿过壳体内部的壳体，以及一对刷子，用于去除附着到通过内部的突片带的顶部和底部的异物 的空气喷射工具，用于除去由于刷子的磨损而附着到突片带的顶部和底部的异物。 空气喷射工具包括一对喷嘴，用于将空气喷射到突片带的顶部和底部。 此外，喷气式工具还包括用于电离空气以便除去异物的离子发生器。
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