Abstract:
본 발명은 기판의 식각부에 금속층을 형성하는 방법을 제공한다. 구체적으로, 기판의 식각부에 금속층을 형성하는 방법은, 기판을 식각하여 수직면을 갖는 식각부를 형성하는 단계, 식각부의 표면에 확산 물질층을 형성하는 단계, 확산 물질층을 열처리하여, 일부가 상기 식각부의 표면 아래로 확산된 씨드층을 형성하는 단계, 및 씨드층 상에 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기한 방법에 따르면, 씨드층에 의해 기판 식각부의 표면 특성이 개선되므로, 식각부의 수직면에 접착성이 우수하고 균일한 두께의 금속층을 형성할 수 있다. 기판, 식각, 금속층, 스캘럽, DRIE, 열처리, 확산
Abstract:
복합 구조의 빔을 이용한 나노 공진기가 개시된다. 본 발명은 나노 빔을 이용하는 공진기에 있어서, 실리콘 카바이드 빔; 상기 실리콘 카바이드 빔 위에 증착된 희생층; 및 상기 희생층 위에 증착된 저밀도의 금속 전도체를 포함하는 복합 구조의 빔을 이용한다. 본 발명에 의하면, 나노 빔의 전기적 전도성을 높이고, 초전도 자력선을 필요로 하지 않고 실온, 준공진의 조건에서도 충분한 공진이 가능하여 실용화가 용이하고, 양호도를 향상시킬 수 있으며, 기가 헤르쯔 이상의 고주파 영역에서의 동작이 용이하다.
Abstract:
제1 기판의 어느 한 면에 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제1 기판을 식각하여 홀을 형성하는 단계; 제2 기판의 어느 한 면에 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 미리 설정된 깊이만큼 식각하여 홀을 형성하는 단계; 상기 제1 기판의 식각된 면이 상기 제2 기판의 식각된 면에 접합되도록 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 접합하는 단계; 상기 제2 기판에 제3 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제3 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 식각하여, 상기 제2 기판을 관통하는 홀을 형성하는 단계를 포함하는 다단계 기판 식각 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 다단계 기판 식각 방법을 사용하면, 식각 후 바닥면에 곡률 반경이 생기거나 단차면에서 오버행(overhang) 구조가 생성되는 것을 방지할 수 있어 식각 품질을 개선할 수 있고, 각 기판에 위치한 얼라인 키를 사용하여 기판을 정교하게 접합할 수 있으며, 다층(multi-layer) 공정이 가능한 이점이 있다. 식각, 발진기, 테라헤르츠, 공융
Abstract:
PURPOSE: A solar cell with a nano wire and a method for manufacturing the nano wire are provided to improve efficiency by absorbing a broadband wavelength of sunlight. CONSTITUTION: A plurality of nano wires(380) are arranged to successively increase diameters along the incident direction of sunlight. A coating layer(390) is formed on the nano wires and forms a p-n junction with nano wires. A first electrode is electrically connected to the nano wires. A second electrode(320) is electrically connected to the coating layer. The coating layer surrounds the nano wires.
Abstract:
PURPOSE: A method for forming a metal layer of a substrate etching unit, a substrate with the metal layer of the substrate etching unit, and a substrate thereof are provided to improve the thin film characteristic of the metal layer of the substrate etching unit. CONSTITUTION: An etching unit has a vertical surface(51) by etching a substrate(10). A diffusion material layer is formed on a surface of an etching unit. A seed layer(60') is formed by thermally processing the diffusion material layer. A metal layer(70) is formed on the seed layer. The etching unit is formed with a groove type and a hole type. The diffusion material layer is formed by depositing the metal with a physical or chemical vapor deposition method.
Abstract:
A method of driving a field emission device and an aging method using the same are provided to enhance uniformity of electron emission by preventing arcing in an electron beam emission. A field emission device includes a cathode electrode having an electron emission source and an anode electrode, which is formed opposite to the cathode electrode. A driving voltage for electron emission utilizes an AC(Alternating Current) voltage(Vc1). The AC voltage is a waveform, which a voltage is varied according to time elapses, in the electron emission. The waveform of the AC voltage is a sine wave or a triangle wave. The AC voltage is a digital signal, which a voltage is varied according to time elapses, in the electron emission.