公开(公告)号：KR101046828B1

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：KR1020080101252

申请日：2008-10-15

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  신동훈 ,  김우송 ,  박경서

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

Abstract: 온도제어 기능을 가진 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치 및 온도제어방법을 제공한다. 상기 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치는 로딩 플레이트의 온도를 측정을 위한 써머커플 및 온도증감을 위한 히팅라인이 설치된 항온 플레이트; 유리기판에 도포된 레진 상부에 놓여지는 몰드에 압력을 가하는 방향으로 이동되며, 로딩 플레이트에 놓여진 유리기판에 자외선을 조사하는 UV 램프를 내장하는 가압부와, 자외선 투과가능한 투명한 재질로서 가압부 하부에 설치되며 패턴 형성을 위한 몰드의 온도감지를 위해 써머커플을 장착한 탄성패드로 이루어진 가압유닛; 도어를 통해 개방이 가능한 수용공간을 가져, 상기 로딩 플레이트, 항온 플레이트, 가압유닛을 수용하는 챔버; 챔버의 내부온도를 측정하기 위해 챔버 내에 설치되는 온도센서; 챔버 외부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 공기를 순환시켜 챔버의 내부온도가 일정하게 유지되도록 하는 외부공조기; 및 상기 항온 플레이트와 가압유닛에 각각 설치된 써머커플 및 상기 온도센서를 통해 측정된 온도데이타를 근거로 상기 항온 플레이트의 온도조절 및 외부공조기의 작동을 제어하는 제어반;을 포함하여 구성됨을 요지로 한다.
UV 나노 임프린트, 몰드, 유리기판, 온도제어

Abstract translation: 提供了一种用于执行具有温度控制功能的UV纳米压印光刻的设备和温度控制方法。 用于进行UV纳米压印光刻的热板设备被安装，用于热电偶的加热线路，和温度梯度，用于测量所述装载板的温度; 被移动到将压力施加到模具被放置在树脂顶涂层到玻璃基板上的方向，作为按压部，和UV透射的透明材料能够按压部低的内置UV灯照射紫外线，以放置在所述装载板中的玻璃基板 一种压力单元，其包括安装有用于图案形成的模具的温度感测的热电偶的弹性垫; 腔室，用于接收装载板，恒温板和加压单元，腔室具有可通过门打开的容纳空间; 安装在腔室内的温度传感器，用于测量腔室的内部温度; 外部空调器安装在室外并使室内的空气循环，使室内的温度保持恒定; 控制面板控制恒温板的温度和基于安装在恒温板和加压单元中的热电偶以及通过温度传感器测量的温度数据的外部空调器的操作。

公开(公告)号：KR100969766B1

公开(公告)日：2010-07-09

申请号：KR1020070092884

申请日：2007-09-13

Applicant: 광운대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 박재영 ,  이승재 ,  임홍재

IPC: H03H7/12

Abstract: 본 발명은 사용 주파수 대역을 선택적으로 여과(filtering)하는 집중 수동 소자(lumped component)를 사용한 적층형 대역통과 필터(band pass filter)에 관한 것이다.
기존의 사용 주파수 대역을 선택적으로 여과하는 수단으로는 전송선로 (transmission line) 및 분포정수, 구조체를 사용한 공진기(resonator)가 사용되었다. 이는 그 크기가 매우 크다는 단점을 가지고 있다. 또한 최근에 연구되고 있는 적층형 대역통과 필터들 또한 통과 특성 및 대역저지 특성의 개선을 위한 소자 수의 증가로 불필요한 손실을 가져오고 있다. 본 발명에서는 잘 알려져 있는 집중 수동 소자를 사용한 병렬 공진기(parallel resonator) 2개로 구성된 2단 (two step) 대역통과 필터에 기생 인덕턴스(parasitic inductance)를 삽입하여 통과 특성(insertion loss) 및 대역저지 특성(stop band characteristic)을 개선하였다.
기존의 동박적층기판(printed circuit board)은 기판을 구성하는 유기물의 유전률(dielectric constant)이 낮기 때문에 집중 수동 소자를 내장한 대역통과 필터를 바로 구현하면 캐패시터(capacitor)의 크기가 매우 큰 단점이 있다. 본 발명에서는 이런 크기문제를 해결하고자 고유전률을 가지는 물질을 사용하여 크기를 줄일 수 있다.
전술한 본 발명의 대역통과 필터는 단위 소자의 생산뿐만 아니라. 고유전률 물질을 사용한 유기기판(organic substrate) 혹은 동박적층기판에 소자를 내장(embedding) 하여 사용한 시스템온패키지(system on a package) 기술과 마이크로웨이브 모노리식 집적회로(microwave monolithic integrated circuit)에 응용할 수 있다.
대역통과 필터, 공진기, 캐패시터, 유전체기판, 시스템온패키지(SOP), MMIC

公开(公告)号：KR100917747B1

公开(公告)日：2009-09-15

申请号：KR1020070083296

申请日：2007-08-20

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  성상준 ,  주재환 ,  장시열 ,  정재일 ,  신동훈

IPC: G06F9/455 ,  G06T15/00 ,  B82Y10/00

Abstract: 본 발명은 나노 임프린트 스테이지 장비 개발을 위한 시뮬레이션 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것으로, 화면에 보이는 그래픽스 창을 관리하는 뷰 클래스 처리부와; 상기 뷰 클래스 처리부와 연결되고, 객체를 생성하거나 삭제하고, 생성된 객체에 액츄에이터 또는 센서를 장착하는 명령을 주관하고, 가상장비 시뮬레이터를 구동시키는 부분이 있으면 구동시키는 부분이 정상 작동하도록 처리하는 모델 클래스 처리부와; 상기 모델 클래스 처리부와 연결되고, 사용자 직접 입력해주어야 하는 값들에 대한 대화창을 관할하는 대화창 클래스 처리부;를 포함하여 구성함으로써, 가상장비를 이용하여 장비 제어 소프트웨어의 신뢰성을 검증하여 실물장비가 출시되기 전 단계에서도 장비제어 소프트웨어의 개발이 가능하도록 할 수 있게 되는 것이다.
3D 영상처리, 가상장비, 시뮬레이션, 모델링, 테스트

公开(公告)号：KR100904720B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020070099886

申请日：2007-10-04

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 정재일 ,  임홍재

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 본 발명은 피에조 액추에이터의 나노 단위의 정밀한 제어와 서보 모터를 이용한 충분한 이동량을 동시에 구현하여, 대면적 스테이지에 적용할 수 있는 미세 이송 기구와 이를 이용한 초정밀 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위하여 본 발명에서는, 고정단에 배치된 서보 모터; 상기 서보 모터에 의해 구동되어 일 방향으로 이송되는 제1 리니어 가이드; 상기 제1 리니어 가이드에 배치되어 상기 제1 리니어 가이드의 이송 방향에 나란한 방향으로 미세 변위를 발생시키는 피에조 액추에이터; 및 상기 피에조 액추에이터의 단부에 배치되어 상기 서보 모터 및 상기 피에조 액추에이터가 발생시키는 변위에 의해 상기 고정단에 대해 일 방향으로 이동 가능한 제2리니어 가이드를 포함하는 미세 이송 기구와, 이를 이용한 초정밀 스테이지를 제공한다.
피에조 액추에이터, 서보 모터, 4축 스테이지, 1단 스테이지

公开(公告)号：KR1020090034577A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：KR1020070099886

申请日：2007-10-04

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 정재일 ,  임홍재

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

CPC classification number: B23Q3/186 ,  B23Q3/08 ,  B23Q5/28 ,  G05B19/402 ,  H01L21/68714 ,  Y10S414/136

Abstract: A precision transfer mechanism and nano positioning stage using the same are provided to consecutively arrange the servo motor and piezo actuator and to extend the stroke range of the transport mechanism. The servo motor(2) is arranged in the fixed end. The first linear guide is driven by the servo motor. The piezo actuator(8) is arranged in the first linear guide. The piezo actuator generates the fine displacement in the transfer direction of the first linear guide. The second linear guide is arranged in the end part of the piezo actuator. The second linear guide is transferred by the servo motor and displacement about the fixed end.

Abstract translation: 提供了使用其的精密传送机构和纳米定位台，以连续地布置伺服电机和压电致动器并延长传送机构的行程范围。 伺服马达（2）布置在固定端。 第一直线导轨由伺服电机驱动。 压电致动器（8）布置在第一线性引导件中。 压电致动器在第一线性引导件的传送方向上产生精细位移。 第二直线导轨布置在压电致动器的端部中。 第二直线导轨由伺服电机传递并围绕固定端移动。

公开(公告)号：KR1020090019112A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：KR1020070083296

申请日：2007-08-20

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  성상준 ,  주재환 ,  장시열 ,  정재일 ,  신동훈

IPC: G06F9/455 ,  G06T15/00 ,  B82Y10/00

CPC classification number: G06F17/5009 ,  B82Y10/00 ,  G06F8/315 ,  G06F8/34 ,  G06F17/16

Abstract: A simulation system of the virtual equipment by 3D image processing and method are provided to verify the reliability of the equipment control software by using the virtual equipment. The simulation system of the virtual equipment through 3D image processing comprises the view class processing unit(100), and the model class processing unit(200) and dialog box class processing unit(300). The view class processing unit manages the graphics window in the screen. The model class processing unit is connected to the view class processing unit. The model class processing unit produces or deletes the object and supervises the command mounting actuator or the sensor to the generated object. The virtual equipment simulator is connected to the model class processing unit processes.

Abstract translation: 通过3D图像处理和方法提供虚拟设备的仿真系统，通过虚拟设备验证设备控制软件的可靠性。 通过3D图像处理的虚拟设备的仿真系统包括视图类处理单元（100），模型类处理单元（200）和对话框类处理单元（300）。 视图类处理单元管理屏幕中的图形窗口。 模型类处理单元连接到视图类处理单元。 模型类处理单元生成或删除对象，并将命令安装执行器或传感器监控到生成的对象。 虚拟设备模拟器连接到模型类处理单元处理。

公开(公告)号：KR101286565B1

公开(公告)日：2013-07-22

申请号：KR1020110143445

申请日：2011-12-27

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 장영수 ,  강병하 ,  이성우 ,  임홍재

IPC: B60P3/20 ,  F25D11/04

Abstract: 본 발명에 따른 발효식품용 냉장컨테이너는, 냉동 사이클을 이루어 컨테이너 본체 내부로 냉기를 공급하는 냉기 공급 유닛과, 상기 컨테이너 본체의 내벽을 따라 구비되고 상기 냉기 공급 유닛의 냉매 중 일부가 유입되어 증발하는 냉각 코일을 포함함으로써, 상기 냉기 공급 유닛으로부터 차가운 공기가 공급됨과 아울러 상기 냉각 코일에 의해 상기 컨테이너 본체의 내벽이 냉각될 수 있기 때문에, 상기 컨테이너 본체 내부 전체를 균일한 온도로 유지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020090027845A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：KR1020070092978

申请日：2007-09-13

Applicant: 광운대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김대흠 ,  이동현 ,  임홍재

IPC: C09J163/00 ,  C09J9/02 ,  B82B3/00

CPC classification number: C09J11/00 ,  C08K9/06 ,  C09J9/00 ,  C09J161/06 ,  C09J163/10

Abstract: A preparation method of non-conductive adhesives for chip-stacking is provided to prevent the chip crack and to minimize the degradation of adhesive strength due to low permittivity, heat resistance and small coefficient of thermal expansion by adding nano fumed silica. A preparation method of non-conductive adhesives for chip-stacking containing non-conductive particles of nano size comprises a step for forming thermosetting resin by mixing liquid phenol novolac A type resin 50~70 wt% and semi-solid phenol novolak resin 30~50 wt%, an stirring the resin mixture in organic solvent; a step for mixing the non-conductive particles of nano size that is surface-modified with a silane coupling agent for preventing the aggregation, and methyl ethyl ketone, and mixing the mixture with an imidazole-based curing agent 5 ~ 15 pph per thermosetting resin and epoxy resin; a step for performing ultra sonication for even dispersion; a step for removing impurities from the mixture; and a step for molding the mixture in a film shape.

Abstract translation: 提供了用于芯片堆叠的非导电粘合剂的制备方法，以防止芯片裂纹，并且通过加入纳米热解法二氧化硅，由于低介电常数，耐热性和小的热膨胀系数导致的粘合强度的降低最小化。 包含纳米尺寸的非导电颗粒的芯片堆叠的非导电粘合剂的制备方法包括通过混合液体苯酚酚醛清漆A型树脂50〜70重量％和半固体苯酚酚醛清漆树脂30〜50来形成热固性树脂的步骤 在有机溶剂中搅拌树脂混合物; 将表面改性的纳米尺寸的非导电颗粒与用于防止聚集的硅烷偶联剂混合的步骤和甲基乙基酮，并将混合物与咪唑类固化剂混合5〜15pph /热固性树脂 和环氧树脂; 执行超声处理以均匀分散的步骤; 从混合物中除去杂质的步骤; 以及将该混合物成型为薄膜状的步骤。

公开(公告)号：KR1020090027800A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：KR1020070092884

申请日：2007-09-13

Applicant: 광운대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 박재영 ,  이승재 ,  임홍재

IPC: H03H7/12

CPC classification number: H03H7/12 ,  H03H7/0115 ,  H03H7/17 ,  H03H9/46

Abstract: A band-pass filter using a lumped passive element for selectively filtering a use frequency band is provided to improve a pass property and a band-stop property by inserting a parasitic inductance component to a parallel resonator. A band-pass filter includes a first parallel resonator and a second parallel resonator(13). The first parallel resonator comprises an inductor(L3) and a capacitor(C3), is serially connected between an input port(10) and an output port(11), and has a band-stop property. The second parallel resonator comprises an inductor(L1) and a capacitor(C1), and improves the band-stop property in an image frequency band.

Abstract translation: 提供了使用集中无源元件用于选择性地滤波使用频带的带通滤波器，以通过将并联谐振器插入寄生电感分量来改善通过特性和带阻特性。 带通滤波器包括第一并联谐振器和第二并联谐振器（13）。 第一并联谐振器包括电感器（L3）和电容器（C3），串联连接在输入端口（10）和输出端口（11）之间，具有阻带特性。 第二并联谐振器包括电感器（L1）和电容器（C1），并且改善了图像频带中的阻带特性。