-
公开(公告)号：KR101812608B1
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：KR1020160013928
申请日：2016-02-04
Applicant: 전북대학교산학협력단
Inventor： 김대석
Abstract: 일체형편광간섭계및 이를적용한스냅샷분광편광계가제공된다. 본발명의실시예에따른일체형편광간섭계는, 입사되는복합파를분리하는편광빔 스플리터, 편광빔 스플리터의제1 면에부착되어편광빔 스플리터를투과한제1 편광을편광빔 스플리터로반사하는제1 미러및 편광빔 스플리터의제2 면에부착되어편광빔 스플리터에서반사된제2 편광을편광빔 스플리터로반사하는제2 미러를포함한다. 이에의해, 일체형편광간섭계를이용하여외부진동등에의한외란에강인한분광편광현상스냅샷측정이가능해져, 측정의반복도와정확도를향상시킬수 있게된다.
Abstract translation: 提供了一种集成偏振干涉仪和一种使用该干涉仪的快照光谱旋光仪。 根据本发明的一个实施例的集成偏振干涉仪，附接至偏振分束器，用于分离入射合成波为第一用于反射通过偏振分束器的偏振分束器传送的第一偏振光的偏振分束器的所述第一表面 1反射镜和附接到偏振分束器的第二表面的第二反射镜，以将由偏振分束器反射的第二偏振光反射到偏振分束器。 这使得可以通过使用集成的偏振干涉仪来测量抵抗由于外部振动等引起的干扰的光谱偏振现象快照，由此提高测量的重复性和准确性。
-
公开(公告)号：KR101488082B1
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：KR1020130040570
申请日：2013-04-12
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: 빔 프로젝터 투사영상위치 자동조절장치가 개시된다. 개시된 빔 프로젝터 투사영상위치 자동조절장치는 본체; 상기 본체의 상부에 이격되게 설치되며, 빔 프로젝터를 고정하여 장착하는 프로젝터 장착부; 상기 본체와 상기 프로젝터 장착부 사이에 설치되어, 상기 프로젝터 장착부를 상기 본체에 대해 좌우회동 및 상하회동시키는 좌우/상하 틸팅모듈; 상기 프로젝터 장착부 일측에 설치되거나, 상기 프로젝터 장착부에 고정된 상기 빔 프로젝터의 일측에 설치되는 씨씨디 카메라; 및, 상기 좌우/상하 틸팅모듈 및 상기 씨씨디 카메라와 전기적으로 연결되며, 상기 씨씨디 카메라로부터 획득된 영상에서 스크린을 검색한 후, 상기 빔 프로젝터로부터 투사되는 투사영상이 상기 검색된 스크린에 중심에 위치하도록 상기 좌우/상하틸팅모듈을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101261694B1
公开(公告)日：2013-05-06
申请号：KR1020110032529
申请日：2011-04-08
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: 본발명은단색필터를이용하여백색광또는단색광을선택적으로주사할수 있게함과동시에측정광의광행로의높이를조절할수 있게하여탈축홀로그램방식과백색광을이용한높이측정방식을이용하여 3차원영상을얻을수 있게함으로써, 측정높이의한계와함께측정속도의한계를극복할수 있도록한 가간섭특성을이용한 3차원측정장치를제공하는데그 목적이있다. 또한, 본발명은대상물의높이및 표면상태에따라광원을선택(단색광또는백색광)을선택하고, 이에맞게단색필터를온/오프하여사용할수 있게함으로써, 측정하고자하는대상물의크기와측정속도에따라적절한측정방법을선택하여사용할수 있도록한 가간섭특성을이용한 3차원측정장치를제공하는데다른목적이있다.
-
公开(公告)号：KR101005179B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 광학적 간섭을 이용한 OCD 측정 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 OCD 측정 방법은 (a) 백색광을 조사하는 단계와; (b) 상기 백색광을 상호 편광 방향이 수직인 TE 편광과 TM 편광 방향에 대해 45°기울어진 방향으로 선형 편광시키는 단계와; (c) 상기 선형 편광된 백색광이 상기 측정 대상물 및 기준 미러로부터 각각 반사된 측정광과 기준광이 상호 간섭되어 간섭광이 형성되는 단계와; (d) 상기 간섭광이 상기 TE 편광 성분과 상기 TM 편광 성분으로 분리되는 단계와; (e) 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분이 각각 제1 스펙트로메터 및 제2 스펙트로메터에 입력되는 단계와; (f) 상기 입력된 TE 편광 성분 및 상기 입력된 TM 편광 성분으로부터 각각 TE 스펙트럼 데이터 및 TM 스펙트럼 데이터를 추출하여 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분 각각에 대한 진폭 정보 및 위상 정보를 추출하는 단계와; (g) 상기 추출된 진폭 정보 및 상기 추출된 위상 정보를 RCWA(Rigorous coupled-wave analysis) 기법에 적용하여 상기 RCWA 기법 상의 진폭 비율(Ψ) 및 위상차(Δ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 한 번의 촬영(Single shot)으로 SE(Spectroscopic Ellipsometer) 파라미터인 Ψ 및 Δ가 동시에 획득되도록 하여 측정 속도를 향상시킬 수 있다.
-
公开(公告)号：KR101005161B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피를 이용한 복굴절 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복굴절 측정 장치는 수직 편광 및 수평 편광 방향 각각에 대하여 45°기울어진 편광 방향을 갖는 선형 편광 빔을 생성하는 광원부와; 상기 광원부로부터의 상기 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러에 의해 반사되도록 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 반사시키는 반사 미러와; 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 기준빔 및 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하여 형성된 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 측정빔 및 상기 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 간섭광 중 수직 편광 성분을 통과시켜 상기 제1 촬상부로 출력하는 수직 편광판과; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 간섭광 중 수평 편광 성분을 통과시켜 상기 제2 촬상부로 출력하는 수평방향 선편광판; 상기 제1 촬상부에 의해 촬상된 상기 수직 편광 성분과 상기 제2 촬상부에 의해 촬상된 상기 수평 편광 성분 각각에 대해 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피 해석 방식이 적용되어 상기 수직 편광 성분에 대한 수직 편광 위상 정보와 상기 수평 편광 성분에 대한 수평 편광 위상 정보가 추출하고, 상기 수직 편광 위상 정보 및 상기 수평 편광 위상 정보에 기초하여 상기 측정 대상물에 대한 복굴절의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号：KR1020100095775A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A camera aligning method for aligning two cameras applied to an optical system for 3D measurement is provided to remove in-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment occurring between two cameras with 6 degrees of freedom. CONSTITUTION: The first camera(51) photographs a hologram about a vertical polarizing element of interference light. The second camera(52) photographs a hologram about a horizontal polarizing element of the interference light. In-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment between the first and second cameras are aligned using a correlation technique for a pair of holograms.
Abstract translation: 目的：提供一种用于对准应用于三维测量光学系统的两台摄像机的摄像机对准方法，以消除在6个自由度的两台摄像机之间发生的平面内错误对准和平面外失准。 构成：第一台相机（51）拍摄一幅关于干涉光垂直偏振元件的全息图。 第二相机（52）拍摄关于干涉光的水平偏振元件的全息图。 使用一对全息图的相关技术来对齐第一和第二相机之间的平面内错误对准和平面外的未对准。
-
公开(公告)号：KR1020100085595A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An optical critical dimension metrology method and an apparatus using a spectral interferometry are provided to increase measuring speed while obtaining SE parameter through one single shot. CONSTITUTION: A first spectrometer(16) and a second spectrometer(17) are arranged. A light source(10) projects the white light. A polariscope(12) polarizes the white light from the light source to a TM polarizer and a direction of 45 degrees from the TM polarizer. A beam splitter(13) makes a polarized linear white light to a measurement object. An OCD interferometer(14) forms a light interference with a measured light reflected from the target and a reference light reflected from a reference mirror.
Abstract translation: 目的：提供光学关键尺寸测量方法和使用光谱干涉测量的装置，以通过一次拍摄获得SE参数来提高测量速度。 构成：布置第一光谱仪（16）和第二光谱仪（17）。 光源（10）投射白光。 偏振器（12）将来自光源的白光偏振到TM偏振器，并且与TM偏振器成45度的方向。 分束器（13）对测量对象产生偏振线性白光。 OCD干涉仪（14）与从目标反射的测量光和从参考反射镜反射的参考光形成光干涉。
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.043 seconds)
