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公开(公告)号：KR1020110104244A
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：KR1020100023270
申请日：2010-03-16
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L41/04
CPC classification number: H01L41/314 , H01L41/09 , H01L41/1873 , H01L41/43
Abstract: 본 발명은 마이크로 액추에이터용 무연계 압전 세라믹 박막 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높은 전기 기계결합계수와 높은 압전상수 및 소결온도를 갖는 마이크로 액추에이터용 무연계 압전 세라믹 박막 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명의 압전 세라믹 박막 제조 방법은 K
2 CO
3 , Na
2 CO
3 , Nb
2 O
5 의 원료 분말을 이용하여 세라믹 표적을 생성하는 단계, 생성한 상기 세라믹 표적을 스퍼터링 챔버에 장착한 후 플라즈마를 이용하여 박막을 형성하는 단계, 형성된 상기 박막을 설정된 산소 압력하에서 후열처리를 수행하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101054468B1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：KR1020090018286
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/00
Abstract: 본 발명에 따른 적외선 발생원은 반도체 기판; 상기 반도체 기판의 상표면 및 하표면에 형성된 저응력막; 상기 반도체 기판의 상표면의 저응력막 중앙부에 형성된 발열부; 상기 반도체 기판의 상표면에 형성되고, 상기 발열부의 상표면의 양단 부분을을 커버하면서 상기 상표면의 중앙부는 노출하며 형성된 제1 및 제2 전극부를 포함하는 적외선 발생원으로서, 상기 반도체 기판의 중앙부에는 캐비티가 형성되고, 상기 캐비티 내에는 상기 저응력막과 접촉하여 형성된 전열 금속부가 형성된 것을 특징적 구성으로 포함한다.
적외선, 열원, 마이크로 히터, 전열 금속부, 열 스트레스-
公开(公告)号：KR101049736B1
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020090052148
申请日：2009-06-12
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 강유전체의 분극률을 높이기 위한 폴링공정을 단순화시켜 공정시간을 감소시키고, 이를 통해 수율 특성을 개선시킬 수 있는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은 복수 개의 단위 감지센서와, 상기 단위 감지센서들 각각의 제1 폴링전극을 공통으로 연결하는 제1 폴링라인과, 상기 단위 감지센서들 각각의 제2 폴링전극을 공통으로 연결하는 제2 폴링라인을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조를 제공한다.
감지센서, 초전, 적외선, 어레이, 반사층, 흡수층, 강유전체Abstract translation: 本发明简化了用于增加铁电体的极化，以减少处理时间，以提供传感器的热电型红外线阵列结构的轮询过程，从而可以提高的产率特性的制造方法，通过该，在本用于此目的 本发明的第二轮询连接的多个单元，其检测传感器和每个所述第一轮询所述第一轮询线，各连接在公共电极作为公共单元传感器中的第二轮询电极的单元传感器 用于检测红外线的线传感器阵列。
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公开(公告)号：KR1020100099781A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020090018286
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/00
CPC classification number: H01L33/64 , H01L33/005 , H05B1/0233
Abstract: PURPOSE: A micro infrared ray generation source and a manufacturing method thereof are provided to prevent the heat stress in the middle of the heater by offering the heat metal part near the middle of the heater. CONSTITUTION: A low strain film(120) is formed on the top surface and the bottom surface of a semiconductor substrate(110). A heater(130) is formed in the middle of the low strain film of the top surface of the semiconductor substrate. First and second electrode parts(140, 140') are formed on the surface of the semiconductor substrate.
Abstract translation: 目的：提供微型红外线产生源及其制造方法，以通过在加热器的中部附近提供加热金属部件来防止加热器中间的热应力。 构成：在半导体衬底（110）的顶表面和底表面上形成低应变膜（120）。 在半导体衬底的顶表面的低应变膜的中间形成有加热器（130）。 第一和第二电极部分（140,140'）形成在半导体衬底的表面上。
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公开(公告)号：KR1020100001548A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：KR1020080061490
申请日：2008-06-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A torque measurement is provided to measure the torque by measuring the change of the magnet force due to the twist of an input shaft and an output shaft. CONSTITUTION: A first magnet ring(140) is fixed to one side of an input shaft(110). A torsion bar(120) transfers the torque of the input shaft to the output shaft. One side of the output shaft(130) is fixed to one side of the torsion bar. The output shaft receives the torque of the torsion bar. A second magnet ring(150) is fixed in one side of the output shaft to face to the first magnet ring. A first magnetic sensor measures the magnetic line variation between the first and second magnet rings due to the twisting of the torsion bar.
Abstract translation: 目的：通过测量由于输入轴和输出轴的扭曲引起的磁力变化来提供扭矩测量。 构成：第一磁体环（140）固定在输入轴（110）的一侧。 扭杆（120）将输入轴的扭矩传递到输出轴。 输出轴（130）的一侧固定在扭力杆的一侧。 输出轴接收扭杆的扭矩。 第二磁环（150）固定在输出轴的一侧以面对第一磁环。 第一磁传感器由于扭杆的扭转而测量第一和第二磁环之间的磁线变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090004281A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068369
申请日：2007-07-06
Abstract: A micro heater including the carbon nanotube is provided to improve the IR heat generation characteristic by forming the carbon nanotube on the top of the heating structure. A heating structure(250) is formed on a substrate. The heat is radiated from the heating structure by using the voltage applied from the outside. A reflector is formed between the lower part of the heating structure and the substrate. The heat emitted from the heating structure is reflected by the reflector. The carbon nanotube is formed on the upper section of heating structure. The voltage is applied to the heating structure through an electrode pad(260).
Abstract translation: 提供了包括碳纳米管的微加热器，以通过在加热结构的顶部形成碳纳米管来提高IR发热特性。 在基板上形成加热结构（250）。 通过使用从外部施加的电压，从加热结构辐射热量。 在加热结构的下部和基板之间形成反射器。 从加热结构发出的热量被反射器反射。 碳纳米管形成在加热结构的上部。 电压通过电极焊盘（260）施加到加热结构。
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公开(公告)号：KR1020090004279A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068367
申请日：2007-07-06
IPC: B81B7/02
Abstract: A micro heater having reflection thin film is provided to improve calorific efficiency by reflecting heat generated from the lower part of a heating structure, and dissipating it to the outside. A micro heater having reflection thin film comprises a heating structure(250), formed on the substrate, in order to dissipate heat using the voltage applied from outside; a reflecting plate formed on the substrate in order to reflect heat emitted from the heating structure; and an electrode pad applying voltage to the heating structure.
Abstract translation: 提供具有反射薄膜的微加热器，通过反射从加热结构的下部产生的热量并将其散发到外部来提高发热效率。 具有反射薄膜的微加热器包括形成在基板上的加热结构（250），以便使用从外部施加的电压来散热; 反射板，形成在基板上，以便反射从加热结构发出的热量; 以及向加热结构施加电压的电极焊盘。
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公开(公告)号：KR1020090004274A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068357
申请日：2007-07-06
IPC: G01N21/3504 , G01N21/35 , G01N21/00
Abstract: A semiconductor type gas sensor and method for manufacturing the same is provided to compact the size of a sensor by mounting structures forming a gas sensor on a single substrate. A semiconductor type gas sensor comprises an infrared light emitting diode(120), an infrared temperature measuring part(130) measuring temperature of the infrared light emitting diode; and at least one or more infrared photo receivers(140) receiving infrared ray emitted from the infrared light emitting diode. The infrared temperature measuring part and the sensing material of the infrared photo receiver is made from identical material.
Abstract translation: 提供一种半导体式气体传感器及其制造方法，用于通过在单个基板上安装形成气体传感器的结构来压缩传感器的尺寸。 半导体型气体传感器包括红外发光二极管（120），测量红外发光二极管的温度的红外测温部（130） 以及接收从红外发光二极管发射的红外线的至少一个或多个红外光电接收器（140）。 红外测温部件和红外光电接收器的传感材料由相同的材料制成。
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公开(公告)号：KR1020080060079A
公开(公告)日：2008-07-01
申请号：KR1020060134175
申请日：2006-12-26
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: A61B1/041 , A61B2560/0242
Abstract: A memory-embedded capsule endoscope is provided to improve convenience of use without a separate information receiver by having a flash memory. At least one lighting unit(210) lights a predetermined part inside a body. At least one image sensor unit(220) obtains image information of the predetermined part lighted by the lighting unit. A signal processing unit(230) controls the image sensor unit and compresses data corresponding to the obtained image information. A storing unit(250) accumulates and stores the compressed data until a capsule endoscope(200) is discharged from the body. A control unit(240) controls the signal processing unit and the storing unit. A power supply unit(260) supplies driving power to the capsule endoscope.
Abstract translation: 提供了一种内存式胶囊型内窥镜，以通过具有闪速存储器来提高使用方便性，而无需单独的信息接收器。 至少一个照明单元（210）照亮身体内部的预定部分。 至少一个图像传感器单元（220）获得由照明单元点亮的预定部分的图像信息。 信号处理单元（230）控制图像传感器单元并压缩与获得的图像信息相对应的数据。 存储单元（250）累积并存储压缩数据，直到胶囊型内窥镜（200）从身体排出。 控制单元（240）控制信号处理单元和存储单元。 电源单元（260）向胶囊型内窥镜供给驱动电力。
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公开(公告)号：KR100722837B1
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020050083448
申请日：2005-09-07
IPC: H01L23/48
CPC classification number: H01L2224/81
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 MEMS 구조물을 전송선로가 형성된 감광제상에 탑제하여 구성하는 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 웨이퍼 레벨 패키지는 MEMS 디바이스에 있어서, 기둥이 형성된 상부기판, 하부기판상에 증착된 씨드층, 상기 씨드층상에 도포된 감광제, 상기 감광제상에 탑제된 MEMS 구조물 및 상기 상부기판과 하부기판을 결합하는 접합수단을 포함한다.
따라서, 본 발명의 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법은 감광제를 이용하여 관통 홀을 제작함으로써 홀의 형상이 수직하며, 벽면조도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 감광제에 전송선로를 형성시키기 위해 일반적인 노광공정 및 전주도금 공정을 이용함으로써 제조 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
웨이퍼레벨패키징, SU-8, 실드캐비티, MEMS
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