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公开(公告)号:KR1020210063827A
公开(公告)日:2021-06-02
申请号:KR1020190152396
申请日:2019-11-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B32/184 , C01B32/194 , B01J19/08
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公开(公告)号:KR102250518B1
公开(公告)日:2021-05-12
申请号:KR1020190094452
申请日:2019-08-02
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B21/064 , B01J19/12
Abstract: 본명세서에서는, 반응챔버; 반응챔버내에위치한타겟; 상기타겟상에붕소전구체또는붕소-금속촉매복합전구체를공급하는연속주입장치; 및상기타겟의일 부분에에너지를조사하여질화붕소나노튜브를생성하는에너지공급장치;를포함하는것을특징으로하는, 질화붕소나노튜브연속제조장치가제공된다.
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公开(公告)号:KR102040083B1
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:KR1020180106679
申请日:2018-09-06
Applicant: 숭실대학교산학협력단 , 한국과학기술연구원
IPC: C08F299/06 , C08F220/34 , C08F220/38 , C08L53/00 , C08J5/18
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公开(公告)号:KR101851171B1
公开(公告)日:2018-04-24
申请号:KR1020160094336
申请日:2016-07-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B32B37/24 , C23C16/26 , C23C16/02 , C23C16/56 , C23C14/08 , C23C14/06 , C23C16/52 , B32B9/00 , B32B9/04
Abstract: 그래핀계배리어필름의제조방법으로서, 금속촉매층상에제1 화학기상증착공정을수행하여예비그래핀층을형성하는단계; 해당예비그래핀층에제2 화학기상증착공정을수행하여해당예비그래핀층을그래핀층으로변환시키는단계; 해당그래핀층상에고분자보호막을형성하는단계; 해당그래핀층의일면으로부터금속촉매층을제거하는단계; 및해당금속촉매층이제거된그래핀층을대상기판에전사시켜그래핀계배리어필름을형성하는단계; 를포함하는그래핀계배리어필름의제조방법이제공된다.
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公开(公告)号:KR101842062B1
公开(公告)日:2018-03-26
申请号:KR1020160099101
申请日:2016-08-03
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B21/064 , B01J19/121 , B01J23/745 , B01J37/347 , B01J2219/12
Abstract: 붕소-금속촉매복합체를반응챔버에주입하는단계; 반응챔버에질소전구체를주입하는단계; 붕소-금속촉매복합체에이산화탄소레이저또는자유전자레이저를조사하여기체상태의붕소-금속촉매복합체의분해생성물을생성하는단계; 및기체상태의붕소-금속촉매복합체의분해생성물과상기질소전구체가반응하여질화붕소나노튜브를형성하는단계; 를포함하는질화붕소나노튜브의제조방법이제공된다.
Abstract translation: 将硼 - 金属催化剂配合物注入反应室中; 将氮前体注入反应室; 通过用二氧化碳激光器或自由电子激光照射硼 - 金属催化剂络合物来产生气态硼 - 金属催化剂络合物的分解产物; 并且气态硼 - 金属催化剂络合物与氮前体的分解产物反应形成氮化硼纳米管; 一种制造氮化硼纳米管的方法,包括以下步骤:
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公开(公告)号:KR101732943B1
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:KR1020150090746
申请日:2015-06-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C09K11/06 , H01L51/50 , H01L21/285 , H01L21/205 , H01L51/56
Abstract: 본발명은이차원전이금속디칼코겐화합물을발광층으로하는발광소자및 그제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는대면적 CVD 방법으로이차원전이금속디칼코겐화합물이고분자절연체의샌드위치구조로적층되어발광특성을발휘하도록이루어진발광소자와그 제조방법에관한것이다.
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