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    질화붕소 나노튜브의 제조 방법
    5.
    发明授权
    질화붕소 나노튜브의 제조 방법 有权
    制造氮化硼纳米管的方法

    公开(公告)号：KR101842062B1

    公开(公告)日：2018-03-26

    申请号：KR1020160099101

    申请日：2016-08-03

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 김명종 ,  조현진 ,  안석훈 ,  장세규 ,  김수민 ,  손동익 ,  김준희 ,  서태훈

    IPC: C01B21/064 ,  C23C16/34 ,  C23C16/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/30 ,  B82Y30/00

    CPC classification number: C01B21/064 ,  B01J19/121 ,  B01J23/745 ,  B01J37/347 ,  B01J2219/12

    Abstract: 붕소-금속촉매복합체를반응챔버에주입하는단계; 반응챔버에질소전구체를주입하는단계; 붕소-금속촉매복합체에이산화탄소레이저또는자유전자레이저를조사하여기체상태의붕소-금속촉매복합체의분해생성물을생성하는단계; 및기체상태의붕소-금속촉매복합체의분해생성물과상기질소전구체가반응하여질화붕소나노튜브를형성하는단계; 를포함하는질화붕소나노튜브의제조방법이제공된다.

    Abstract translation: 将硼 - 金属催化剂配合物注入反应室中; 将氮前体注入反应室; 通过用二氧化碳激光器或自由电子激光照射硼 - 金属催化剂络合物来产生气态硼 - 金属催化剂络合物的分解产物; 并且气态硼 - 金属催化剂络合物与氮前体的分解产物反应形成氮化硼纳米管; 一种制造氮化硼纳米管的方法，包括以下步骤：

    탄소가 포함된 액체상의 전구체를 이용한 연속 롤투롤 방식의 고품질 그래핀 제조방법과 그 제조장치
    6.
    发明授权
    탄소가 포함된 액체상의 전구체를 이용한 연속 롤투롤 방식의 고품질 그래핀 제조방법과 그 제조장치 有权
    基于连续辊到辊工艺的基于液体前体的合成和转移高品质石墨烯的方法及其装置

    公开(公告)号：KR101701369B1

    公开(公告)日：2017-02-01

    申请号：KR1020150012858

    申请日：2015-01-27

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 김명종 ,  조현진 ,  이동수

    IPC: C01B31/04 ,  B41M5/03 ,  B41M5/10

    Abstract: 본발명은탄소를포함하는액체상의전구체를활용하여, 밀폐된반응챔버(Reactive Chamber)의내부기체와외부기체를분리할뿐만아니라전구체에서기화된탄소가포함된가스가화학적기상증착법에서사용되는빛, 열, 플라즈마, 극초단파, 유도가열법, 고주파유도결합플라즈마등의높은에너지를이용하여연속적으로공급되는다양한금속촉매표면위에얇은그래핀을제조하고, 여러가지원하는기판에연속으로전사가가능한롤투롤전사장치및 이를이용한고품질그래핀제조방법에관한것이다. 보다구체적으로는 (a) 그래핀제조를위한탄소원(Carbon source)으로탄소가포함된액체상의전구체(Liquid precursor)를이용하여반응챔버(Reactive Chamber)의내부환경과외부환경이구획되도록하는반응챔버밀폐단계; (b) 금속촉매를공급롤(Roll) 장치를이용하여상기탄소가포함된액체상의전구체를통하여밀폐된상기반응챔버(Reactive Chamber)의내부로연속공급되도록하는금속촉매공급단계; (c) 상기반응챔버(Reactive chamber) 내부에서상기금속촉매와빛(Light), 열(Heat), 플라즈마(Plasma), 극초단파(Microwave), 유도가열법(Induction heating), 고주파유도결합플라즈마(inductively coupled plasma) 중의어느하나이상의에너지원(Energy Source)을이용하여상기액체상의전구체로부터금속촉매위에그래핀을제조하는그래핀제조단계; (d) 회수롤(Roll) 장치를이용하여밀폐된상기반응챔버(Reactive Chamber)로부터제조된그래핀을연속공정을통해외부로이송하는그래핀이송단계;를포함하는것을특징으로하는탄소가포함된액체상의전구체를챔버이용한연속롤투롤방식의그래핀제조방법및 그제조장치에대한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及卷对卷转录装置，以及使用该方法的高品质石墨烯的制造方法。 卷对卷转录装置使用包含碳的液体前体，并且在封闭的反应室中分离内部气体和外部气体。 此外，卷对卷转录装置在连续接收的各种金属催化剂的表面上制造薄的石墨烯，并且连续地对各种类型的期望的基材进行转录。 高品质石墨烯的制造方法包括：（a）反应室密封步骤; （b）金属催化剂供给步骤; （c）石墨烯制造步骤; 和（d）石墨烯转移步骤。

    원격 고주파 유도결합 플라즈마를 이용하여 저온에서 성장된 고품질 육방 질화 붕소막과 그 제조방법
    8.
    发明公开
    원격 고주파 유도결합 플라즈마를 이용하여 저온에서 성장된 고품질 육방 질화 붕소막과 그 제조방법 无效
    使用远程高频电感耦合等离子体在低温下生长的高品质六硼化硼薄膜及其制造方法

    公开(公告)号：KR1020170038499A

    公开(公告)日：2017-04-07

    申请号：KR1020150137941

    申请日：2015-09-30

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 김명종 ,  조현진 ,  서태훈 ,  안석훈 ,  김수민 ,  손동익

    IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/205

    Abstract: 본원발명은원격고주파유도결합플라즈마가적용된화학적기상증착방법을이용하여금속촉매표면위에고품질육방질화붕소막 (h-BN, Hexagonal Boron Nitride, White Graphene) 을성장시키는공정기술에대한것으로, 보다구체적으로는금속촉매를가열하여금속촉매표면의그레인크기를증가시키는어닐링단계; 어닐링된 금속촉매를육방질화붕소막제조온도로급속냉각하는금속촉매냉각단계; 육방질화붕소막의전구체를공급하는전구체공급단계; 원격고주파유도결합플라즈마를적용하여금속촉매위에육방질화붕소막을형성하는육방질화붕소막제조단계; 및상기육방질화붕소막을상온으로급속냉각하는육방질화붕소막냉각단계를포함하는것을특징으로하는원격고주파유도결합플라즈마를이용한육방질화붕소막의제조방법에대한것이다. 본원발명은기존의 1,000℃이상의높은온도에서화학기상증착법을적용하여제조되던육방질화붕소막을기존에비하여매우낮은온도인 500 내지 600 ℃에서도고품질로제조할수 있는장점이있다.

    Abstract translation: 本发明作为用于远程感应耦合等离子体的工艺技术是使用化学气相沉积工艺，以在高品质的六方氮化硼膜（的h-BN，六方氮化硼，白石墨烯）生长的金属催化剂的表面，具体而言施加更 加热金属催化剂以增加金属催化剂表面的晶粒尺寸的退火步骤; 将退火后的金属催化剂骤冷至氮化硼硼膜形成温度的金属催化剂冷却工序; 提供硼六叠氮化物膜的前体的前体供应步骤; 通过应用远程高频电感耦合等离子体在金属催化剂上形成六氟化硼膜来制备硼六键氮化硼膜的步骤; 并且本发明涉及使用远程感应耦合等离子体包含六方晶系氮化硼薄膜冷却的六方氮化硼薄膜快速冷却至室温步骤六方氮化硼膜的制造方法。 本发明具有产生六方氮化硼可在温度高于1000℃现有相比于常规优质甚至从500至600℃很低的温度下释放通过应用化学气相沉积工艺制备的膜的优点。

    탄소가 포함된 액체상의 전구체를 이용한 연속 롤투롤 방식의 고품질 그래핀 제조방법과 그 제조장치
    9.
    发明公开
    탄소가 포함된 액체상의 전구체를 이용한 연속 롤투롤 방식의 고품질 그래핀 제조방법과 그 제조장치 有权
    基于流体前驱体的合成方法和基于连续轧制辊轧过程的高品质石墨转移方法及其设备

    公开(公告)号：KR1020160092344A

    公开(公告)日：2016-08-04

    申请号：KR1020150012858

    申请日：2015-01-27

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 김명종 ,  조현진 ,  이동수

    IPC: C01B31/04 ,  B41M5/03 ,  B41M5/10

    CPC classification number: C01B32/184 ,  B41M5/03 ,  B41M5/10 ,  C01B32/194

    Abstract: 본발명은탄소를포함하는액체상의전구체를활용하여, 밀폐된반응챔버(Reactive Chamber)의내부기체와외부기체를분리할뿐만아니라전구체에서기화된탄소가포함된가스가화학적기상증착법에서사용되는빛, 열, 플라즈마, 극초단파, 유도가열법, 고주파유도결합플라즈마등의높은에너지를이용하여연속적으로공급되는다양한금속촉매표면위에얇은그래핀을제조하고, 여러가지원하는기판에연속으로전사가가능한롤투롤전사장치및 이를이용한고품질그래핀제조방법에관한것이다. 보다구체적으로는 (a) 그래핀제조를위한탄소원(Carbon source)으로탄소가포함된액체상의전구체(Liquid precursor)를이용하여반응챔버(Reactive Chamber)의내부환경과외부환경이구획되도록하는반응챔버밀폐단계; (b) 금속촉매를공급롤(Roll) 장치를이용하여상기탄소가포함된액체상의전구체를통하여밀폐된상기반응챔버(Reactive Chamber)의내부로연속공급되도록하는금속촉매공급단계; (c) 상기반응챔버(Reactive chamber) 내부에서상기금속촉매와빛(Light), 열(Heat), 플라즈마(Plasma), 극초단파(Microwave), 유도가열법(Induction heating), 고주파유도결합플라즈마(inductively coupled plasma) 중의어느하나이상의에너지원(Energy Source)을이용하여상기액체상의전구체로부터금속촉매위에그래핀을제조하는그래핀제조단계; (d) 회수롤(Roll) 장치를이용하여밀폐된상기반응챔버(Reactive Chamber)로부터제조된그래핀을연속공정을통해외부로이송하는그래핀이송단계;를포함하는것을특징으로하는탄소가포함된액체상의전구체를챔버이용한연속롤투롤방식의그래핀제조방법및 그제조장치에대한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及卷对卷转录装置，以及使用该方法的高品质石墨烯的制造方法。 卷对卷转录装置使用包含碳的液体前体，并且在封闭的反应室中分离内部气体和外部气体。 此外，卷对卷转录装置在连续接收的各种金属催化剂的表面上制造薄的石墨烯，并且连续地对各种类型的期望的基材进行转录。 高品质石墨烯的制造方法包括：（a）反应室密封步骤; （b）金属催化剂供给步骤; （c）石墨烯制造步骤; 和（d）石墨烯转移步骤。

    보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법
    10.
    发明授权
    보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법 有权
    来自BORAZINE低聚物前体和高质量六角形硼酸盐的高品质六价硼酸盐的催化合成方法

    公开(公告)号：KR101480817B1

    公开(公告)日：2015-01-13

    申请号：KR1020130113046

    申请日：2013-09-24

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 김명종 ,  박성찬 ,  조현진 ,  배수강 ,  박진형 ,  강정호 ,  강상욱 ,  이창협

    IPC: C01B21/064 ,  B01J23/755

    CPC classification number: C23C16/342 ,  C23C14/34 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1233 ,  C23C18/1241 ,  C23C18/1245 ,  C23C18/1275 ,  C23C18/1283 ,  C23C18/14

    Abstract: 본 발명은 보라진 다량체를 용매에 녹여 질화 붕소 전구체 용액을 제조하고, 이를 금속촉매층의 상층 또는 하층에 코팅한 후 어닐링 하여 고품질의 고결정성 육방 질화 붕소막을 손쉽게 합성할 수 있게 하는, 보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 종래의 CVD 방법에서 문제되던 기체 전구체 제어 및 증기압 제어 등의 문제점을 해결하여 적은 비용으로 간단하게 고품질의 육방 질화 붕소막을 합성할 수 있게 되었으며 또한, 다양한 구조 및 재료에 육방 질화 붕소막을 코팅 할 수 있고, 원하는 면적에 선택적 코팅이 가능하며, 대면적화가 용이하여 복합 재료 및 다양한 재료의 코팅 응용에 용이하다.

    Abstract translation: 本发明涉及通过使用环硼氮烷聚合物作为前体通过金属催化剂效应生长的高质量氮化硼膜，其能够通过以下方式制造氮化硼前体溶液来容易地合成高质量的高结晶六方氮化硼膜： 溶剂，并且在涂覆金属催化剂层的上层或下层之后进行退火，以及其制造方法。 本发明能够通过解决诸如现有CVD方法的问题的诸如气体前体控制，蒸汽压力控制等问题，能够以低成本方便地合成高质量六方氮化硼膜，能够涂覆各种结构和 具有六方氮化硼膜的材料能够选择性地涂覆所需区域，并且通过容易地大规模地方便地应用于复合材料和各种材料的涂层。

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