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公开(公告)号：KR101229786B1
公开(公告)日：2013-02-05
申请号：KR1020110084000
申请日：2011-08-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70408 , G03F7/2006 , G03F7/2008 , H01L21/0275
Abstract: PURPOSE: A hetero-dyne interference lithography device, a method for forming a fine pattern using the same, a wafer, and a semiconductor device are provided to mass-produce the fine pattern by simultaneously forming a nanopattern and a micropattern. CONSTITUTION: A multi laser source(100) generates a laser beam. The laser beam has a different wavelength. A polarization beam splitter(200) reflects and projects the laser beam. A spatial beam splitter(300) splits an optical path of the laser beam. A beam expander(400) expands the inverted laser beam. [Reference numerals] (100) Multi laser source
Abstract translation: 目的：提供异晶体干涉光刻设备，使用其制造精细图案的方法，晶片和半导体器件，以通过同时形成纳米图案和微图案大量生产精细图案。 构成：多激光源（100）产生激光束。 激光束具有不同的波长。 偏振分束器（200）反射并投影激光束。 空间分束器（300）分裂激光束的光路。 光束扩展器（400）扩展反转的激光束。 （附图标记）（100）多重激光源
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公开(公告)号：KR101204307B1
公开(公告)日：2012-11-23
申请号：KR1020100102632
申请日：2010-10-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/02
Abstract: 레이저를 이용한 미세 구리배선 제작방법 및 레이저를 이용한 미세 구리배선 제조장치 및 그 제작방법으로 제조된 미세 구리배선에 대한 것이다. 보다 상세하게는 레이저를 이용한 미세 구리배선 제작방법에 있어서, 산화구리로 구성된 CuO 나노 파티클과 환원제를 배합하여 구리잉크를 제조하는 단계; 구리잉크를 기판에 코팅시켜 코팅층을 형성하는 단계; 기판에 코팅된 코팅층에 레이저 광을 주사하여 레이저가 주사된 부분의 코팅층이 구리로 환원 및 소결되는 단계; 및 레이저가 주사되지 않은 코팅층을 제거하여 미세 구리배선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 미세 구리배선 제작방법 그리고, 미세 구리배선을 제조하기 위한 장치에 있어서, 상면이 평평한 기판이 설치되는 기판설치부; 산화구리로 구성된 CuO 나노 파티클과 환원제를 혼합하여 배합된 구리잉크를 기판 상면에 코팅하여 코팅층을 형성시키는 코팅수단; 미세 폭을 갖는 레이저 광을 발생시키고, 기판 상면에 코팅된 코팅층에 레이저 광을 조사하여 레이저가 조사된 코팅층 부분을 구리로 환원 및 소결시키는 레이저 주사수단; 레이저 주사수단을 기판과 소정간격을 유지하여 이동시키는 이동수단; 및 레이저가 주사되지 않는 코팅층을 제거하기 위한 제거수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 미세 구리배선 제조장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101563619B1
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：KR1020140138948
申请日：2014-10-15
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L51/56 , H01L39/2429 , H01L51/0003
Abstract: 본발명은표면에너지가조정된블레이드코팅장치및 방법에관한것으로더욱상세하게는블레이드의표면에존재하는코팅균일도에악영향을미치는요소를제거함으로써, 코팅면을균일하게형성가능한표면에너지가조정된블레이드코팅장치및 방법에관한것이다. 본발명에따르면블레이드의표면에존재하는코팅균일도에악영향을미치는요소를제거하여균일한코팅면을형성할수 있으며, 코팅면이균일하게형성됨에따라블레이드코팅방법으로높은효율의유기발광소자를제조할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于表面能量调节的叶片涂层的装置和方法，更具体地说，涉及一种用于表面能量调节的叶片涂层的装置，其可以通过去除不利地影响表面上的涂层均匀性的元素来均匀地形成涂层表面 的叶片及其方法。 根据本发明，除去对叶片表面的涂布均匀性产生不利影响的元素，以使涂层表面均匀地形成，并且作为涂布表面均匀地形成，可以制造高效率的有机发光元件 通过刮刀涂布的方法。
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公开(公告)号：KR101484771B1
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：KR1020130091221
申请日：2013-07-31
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H05K1/0274 , H05K1/0393 , H05K1/097 , H05K3/1283 , H05K3/245 , H05K3/282 , H05K2201/026 , H05K2201/10128 , H05K2203/0113 , H05K2203/1115 , H05K2203/1131 , H05K2203/121
Abstract: 본 발명은 저온공정을 통해 와이어 단위구조체의 결합을 강화시켜 저저항화를 이루는 동시에, 폴리머 기판에 적용이 용이하며, 헤이즈 현상과, 은 나노와이어층의 접착력 저하와, 표면 거칠기 및 시간에 따른 저항 변화 등을 개선할 수 있도록 하는 은 나노와이어를 이용한 전극소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 기판상에 은 나노와이어층(220)을 형성하는 제1단계(S110)와, 상기 은 나노와이어층(220)의 상부에 유기금속(OM; ORGANO METAL) 화합물(230) 용액을 코팅시키는 제2단계(S120)와, 상기 유기금속 화합물(230)이 코팅된 상기 은 나노와이어층(220)의 상부에 빛을 조사하여, 와이어 단위구조체(225)가 이루는 각각의 교차부(C)에서 발생되는 표면 플라즈몬에 의한 국부적인 열에너지에 의해 상기 교차부(C)의 결합을 강화시키는 제3단계(S130) 및 상기 플라즈몬에 의해 처리된 은 나노와이어층(220)의 상부에 솔젤용액(SOL-GEL; 250)을 도포하여 표면을 처리하는 제4단계(S140)를 포함하는 은 나노와이어를 이용한 전극소자의 제조 방법 및 이를 통한 전극소자를 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及使用银纳米线的电极元件及其制造方法，其能够通过在低温工艺中增强线单元结构之间的耦合而降低电阻，从而有助于应用于聚合物基板，改善雾度现象 降低银纳米线层的粘合强度，提高表面粗糙度，降低电阻变化的功能。 为此，本发明提供一种使用银纳米线制造电极元件的方法，其包括：在基板上形成银纳米线层（220）的第一步骤（S110） 在银纳米线层（220）上涂布有机金属（OM）化合物溶液（230）的第二步骤（S120）; 第三步骤（S130），其通过由于表面等离子体激元在线单元结构（225）之间的交叉部分（C）发射的局部热能，通过将光辐射到银的上部来增强每个交叉部分（C）中的耦合 涂覆有OM化合物溶液（230）的纳米线层（220）; 以及通过在由等离子体激元处理的银纳米线层（220）上涂覆SOL-GEL溶液（250）来处理表面的第四步骤（S140）。 本发明还提供了通过其制造的电极元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130074815A
公开(公告)日：2013-07-05
申请号：KR1020110137944
申请日：2011-12-20
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L51/5072 , H01L51/0003 , H01L51/0037 , H01L51/0039 , H01L51/0042 , H01L51/0043 , H01L51/0085 , H01L51/0087 , H01L51/5092 , H01L51/56 , H05B33/10 , H05B33/26 , H01L2251/5369
Abstract: PURPOSE: An organic light emitting device performing all solution processes is provided to obtain sufficient luminous efficiency without an energy loss between layers by applying a self-assembled monolayer between a cathode and an electron transport layer as a surface reforming layer. CONSTITUTION: An anode (120) is formed on a substrate (110). A hole transport layer (130) is formed on the anode. A light emitting layer (140) is formed on the hole transport layer. An electron transport layer (150) including ZnO nanoparticles is formed on the light emitting layer. A surface reforming layer (160) is formed on the electron transport layer to form a self-assembled monolayer. A cathode (170) is formed on the surface reforming layer. [Reference numerals] (110) Substrate; (120) Anode; (130) Hole transport layer; (140) Light emitting layer; (150) Electron transport layer; (160) Surface reforming layer; (170) Cathode
Abstract translation: 目的：提供执行所有溶液处理的有机发光器件，以通过在阴极和电子传输层之间施加自组装单层作为表面重整层来获得足够的发光效率而不会在层之间产生能量损失。 构成：阳极（120）形成在基板（110）上。 在阳极上形成空穴传输层（130）。 在空穴传输层上形成发光层（140）。 在发光层上形成包含ZnO纳米颗粒的电子传输层（150）。 在电子传输层上形成表面重整层（160）以形成自组装单层。 在表面改性层上形成阴极（170）。 （附图标记）（110）基板; （120）阳极; （130）空穴传输层; （140）发光层; （150）电子传输层; （160）表面改性层; （170）阴极
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公开(公告)号：KR101181307B1
公开(公告)日：2012-09-11
申请号：KR1020110011502
申请日：2011-02-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/0622 , G01N21/00 , H05K3/00
Abstract: 본 발명의 플라즈마 형성시간 측정방법은, 기판상에 소수성 코팅층을 형성하는 단계; 상기 소수성 코팅층 상에 측정대상물질을 박막 증착하는 단계; 레이저를, 상기 기판의, 상기 소수성 코팅층이 형성된 면과 반대쪽의 면에 주사하는 단계; 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 큰지 같은지를 확인하는 단계;
상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 큰 경우에는, 상기 레이저의 펄스 폭을 점차 줄여가면서, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기와 같게 되는 시점을 포착하고, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기와 같은 경우에는, 상기 레이저의 펄스 폭을 점차 늘여가면서, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 크게 되는 시점을 포착하는 단계; 및 상기 포착된 시점에서의 펄스폭을 상기 레이저에 의한 플라즈마 형성시간으로 구하는 단계;를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020120041055A
公开(公告)日：2012-04-30
申请号：KR1020100102632
申请日：2010-10-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/0231 , H01L21/02282 , H01L21/56 , H01L21/67034 , H01L21/67051
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for manufacturing of a fine copper wiring by using laser and a fine copper wiring manufactured thereby are provided to economically manufacture a fine copper wiring by using a CuO(Copper(II) Oxide) nano particle and a deoxidizing agent. CONSTITUTION: A CuO(Copper(II) Oxide) nano particle and a deoxidizing agent are mixed and a copper ink is manufactured(S10). A coating layer is formed by coating copper ink on a substrate(S20). Laser is irradiated on the coating layer. The coating layer on a part irradiated with the laser is sintered and reduced to copper(S40). The coating layer on which the laser is not irradiate is removed(S50).
Abstract translation: 目的：提供一种通过使用激光制造精细铜布线的方法和装置以及由此制造的细铜布线，以通过使用CuO（氧化铜（II））纳米颗粒和脱氧剂来经济地制造细铜布线 。 构成：将CuO（氧化铜（II））纳米颗粒和脱氧剂混合并制造铜油墨（S10）。 通过在基板上涂布铜墨形成涂层（S20）。 激光照射在涂层上。 用激光照射的部分上的涂层被烧结并且还原成铜（S40）。 除去激光器未被照射的涂层（S50）。
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公开(公告)号：KR1020110084619A
公开(公告)日：2011-07-26
申请号：KR1020100004269
申请日：2010-01-18
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G06K9/00624 , G06F17/30734 , G06K9/3233 , G06K9/6296 , H04N21/4663
Abstract: PURPOSE: An object recognition method within an image and apparatus thereof are provided to recognize an object through an image in case an object is randomly arranged within an image. CONSTITUTION: Knowledgebase is configured based on an object ontology(S11). An interest region is extracted from an image. The object is determined corresponding to an interest area through template matching. The determined object is classified through context reasoning based on spatial relation of the objects.
Abstract translation: 目的：提供一种图像内的对象识别方法及其装置，用于在对象随机排列在图像内的情况下通过图像识别对象。 构成：知识库基于对象本体进行配置（S11）。 从图像中提取兴趣区域。 通过模板匹配确定对应于兴趣区域的对象。 基于对象的空间关系，通过上下文推理对被确定的对象进行分类。
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公开(公告)号：KR1020110033585A
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：KR1020090091135
申请日：2009-09-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: An ink jetting apparatus is provided to evenly spray a desired amount of ink onto a printing roller by controlling the flow rate of a spray nozzle with a valve or pneumatic pressure. CONSTITUTION: An ink jetting apparatus comprises a support frame(100), a moving frame(200), and a spray nozzle(300). The support frame includes support pillars stood on both sides and a support bar which is fixed to the top of the support pillars. The moving frame is connected to the support bar and extended toward a printing roller. The spray nozzle is connected to an end of the moving frame in order to spray ink toward the printing roller.
Abstract translation: 目的：提供一种喷墨设备，通过用阀门或气动压力控制喷嘴的流量，将所需量的油墨均匀地喷射到印刷辊上。 构成：喷墨装置包括支撑框架（100），移动框架（200）和喷嘴（300）。 支撑框架包括位于两侧的支撑柱和固定到支撑柱顶部的支撑杆。 移动框架连接到支撑杆并朝向印刷辊延伸。 喷嘴连接到移动框架的端部，以便向印刷辊喷墨。
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