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公开(公告)号：KR1020090089684A
公开(公告)日：2009-08-24
申请号：KR1020080014984
申请日：2008-02-19
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01S5/14
CPC classification number: G01B9/02004 , G01B9/02002 , G01B2290/70
Abstract: An absolute distance measuring method using an optical frequency generator and a measuring system thereof are provided to measure the length precisely by measuring the absolute distance. An optical frequency generating module(100) includes an external cavity laser diode(101), a femtosecond laser(102), a polarization beam splitter(103), a polarizer(104), an optical filter(105), and avalanche photo diode(106), and a phase locked loop(107). The external cavity laser diode generates the laser of the short wavelength and the variable range of the wavelength is 765 to 781 nm. The femtosecond laser generates the laser pulse with a multi wavelength. The polarization beam splitter transmits or reflects the laser of the multi wavelength and the short wavelength according to the polarization direction.
Abstract translation: 提供使用光频发生器及其测量系统的绝对距离测量方法，通过测量绝对距离来精确测量长度。 光学频率发生模块（100）包括外腔激光二极管（101），飞秒激光器（102），偏振分束器（103），偏振器（104），滤光器（105）和雪崩光电二极管 （106）和锁相环（107）。 外腔激光二极管产生短波长的激光，波长可变范围为765〜781nm。 飞秒激光产生具有多波长的激光脉冲。 偏振分束器根据偏振方向透射或反射多波长和短波长的激光。
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公开(公告)号：KR1020080051969A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020060123856
申请日：2006-12-07
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01B11/2441 , G02B21/002 , G02B21/0076 , G02B21/025 , G02B27/22
Abstract: A white-light scanning interferometer for large-sized three-dimensional profile measurement using macro lenses and a method for measuring a three-dimensional profile are provided to change the most suitable visual region for the size of an object to be measured by using the zoom function of a macro lens. A light source(100) radiates white light. A light splitter(110) divides the white light into measuring light and reference light in order to irradiate the white light on a measuring surface and a reference surface. A macro lens(140) receives an interference pattern by using the reference light reflected from the measuring surface and the reference surface. An image acquisition unit(150) acquires the received interference pattern of the macro lens. The shape of the measuring surface is measured by using the interference pattern of the image acquisition unit.
Abstract translation: 提供用于使用微距镜头进行大尺寸三维轮廓测量的白光扫描干涉仪和用于测量三维轮廓的方法，以通过使用变焦来改变要测量的物体的尺寸的最合适的视觉区域 微距镜头的功能。 光源（100）照射白光。 光分路器（110）将白光分为测量光和参考光，以将白光照射在测量表面和参考表面上。 微距镜头（140）通过使用从测量表面和参考表面反射的参考光来接收干涉图案。 图像获取单元（150）获取所接收到的微距镜头的干涉图案。 通过使用图像获取单元的干涉图案来测量测量表面的形状。
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公开(公告)号：KR100675566B1
公开(公告)日：2007-01-30
申请号：KR1020040113902
申请日：2004-12-28
Applicant: 코닝정밀소재 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.
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公开(公告)号：KR100593783B1
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020040065700
申请日：2004-08-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B9/02
Abstract: 본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함으로써 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있으며, 기준면으로 인해 생성되는 오차를 없애기 위해 단일모드 광섬유에서 조사되는 구면파를 직접 기준파면으로 사용함으로써 시스템 오차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 측정을 위한 공간위상천이 장치가 구비되며, 실시간으로 측정대상 물체의 임의 형상을 측정할 수 있다.
간섭계, 광섬유, 공간위상천이,Abstract translation: 本发明涉及一种干涉仪对振动，因此能够测量对象的振动可靠地测量该移动物体的通过通常存在于参考波阵面，并且为了该测量的波前，单模的形状，以消除由所述基准表面中产生的错误 通过直接使用从光纤照射的球面波作为参考波阵面，可以使系统误差最小化。 因此，本发明的装置配备有用于精确测量的空间相移装置，并且可以实时测量待测物体的任意形状。
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公开(公告)号：KR100468155B1
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：KR1020020036184
申请日：2002-06-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N21/45
CPC classification number: G01B9/02003 , G01B2290/70
Abstract: In the method and a device for detecting the phase of a moving object using a heterodyne interferometer, a heterogeneous mode helium-neon laser is used as a direct light source to increase a measuring speed, a measuring resolution, and minimize the loss of the light source. Signals, which have only a frequency difference between reference signals or measured signals and arbitrary signals, are extracted from signals which are obtained by multiplying the arbitrary frequency signals by the reference or measured signals. After frequencies of the reference and measured signals are converted, a phase difference of the extracted signals and displacement of the moving object is measured. The system includes a laser light source, an optical interferometer, a frequency converter, and a phase measurer. The light source uses output light, emitted from the laser generator, which is stabilized in frequency, and has two frequencies which are at right angles to each other and linearly polarized.
Abstract translation: 在使用外差干涉仪检测移动物体的相位的方法和装置中，使用异质模式氦氖激光器作为直接光源以增加测量速度，测量分辨率并使光损失最小化 资源。 从任意频率信号乘以参考信号或测量信号获得的信号中提取参考信号或测量信号与任意信号之间仅具有频率差的信号。 在转换参考信号和测量信号的频率之后，测量提取信号的相位差和运动物体的位移。 该系统包括激光光源，光学干涉仪，变频器和相位测量仪。 光源使用从激光发生器发射的输出光，其频率稳定，并且具有两个彼此成直角并且线偏振的频率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040055014A
公开(公告)日：2004-06-26
申请号：KR1020020081578
申请日：2002-12-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B11/25
Abstract: PURPOSE: A three-dimensional shape measuring unit using multi-channel phase-shifting Moire technique is provided to simultaneously gather plural Moire fringes and to obtain all measurement information about a predetermined surface of a three-dimensional shape by employing a hologram as a beam splitter. CONSTITUTION: A three-dimensional shape measuring unit using multi-channel phase-shifting Moire technique includes a projection system, an imaging system, a Moire fringe obtaining part, and a central processing part. The projection system projects lattice patterns on an object. The imaging system is formed such that the lattice pattern is image-formed on the basis of a reference lattice. The Moire fringe obtaining part obtains Moire fringes derived from interference of changed lattice patterns and the reference lattice patter.
Abstract translation: 目的：提供使用多通道相移莫尔技术的三维形状测量单元，以同时收集多个莫尔条纹，并通过使用全息图作为分束器获得关于三维形状的预定表面的所有测量信息 。 构成：使用多通道相移莫尔技术的三维形状测量单元包括投影系统，成像系统，莫尔条纹获得部分和中央处理部分。 投影系统投射物体上的格子图案。 成像系统形成为使得基于参考点阵的图案形成格子图案。 莫尔条纹获得部分获得由改变的格子图案和参考网格图案的干涉导出的莫尔条纹。
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公开(公告)号：KR100422378B1
公开(公告)日：2004-03-11
申请号：KR1020020002305
申请日：2002-01-15
IPC: G02B27/02
Abstract: PURPOSE: A Fizeau interferometer using an oblique section fiber light source is provided to improve the reliability of measuring results by removing beam splitting elements from a measuring wavefront. CONSTITUTION: A Fizeau interferometer includes a single mode fiber(12), a laser generator(11) for outputting beams to the single mode fiber, a collimator for converting the light of the laser generator to the parallel light, a reference plate(17) for transmitting and reflecting the parallel light to a target(18) in order to generate a reference wavefront, and a CCD camera(14) for detecting an interference fringe of the reference wavefront. The Fizeau interferometer further includes an oblique section fiber light source which is coupled to the single mode fiber. A beam split coating layer is formed on an oblique section of the oblique section fiber light source.
Abstract translation: 目的：提供使用斜截面光纤光源的斐索干涉仪，通过从测量波前去除分束元件来提高测量结果的可靠性。 本发明提供了一种Fizeau干涉仪，包括单模光纤（12），用于向单模光纤输出光束的激光发生器（11），用于将激光发生器的光转换为平行光的准直器，基准板（17） 用于将平行光传输和反射到目标（18）以便产生参考波阵面，以及CCD相机（14），用于检测参考波阵面的干涉条纹。 斐索干涉仪还包括耦合到单模光纤的斜截面光纤光源。 在斜截面光纤光源的斜截面上形成分束涂层。
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28.发明授权
公开(公告)号：KR100290086B1
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1019990009808
申请日：1999-03-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/0675 , G01B9/02057 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B9/0209 , G01N21/45
Abstract: 본발명은두께형상측정및 굴절률측정방법및 그기록매체에관한것이며, 특히백색광주사간섭법을이용하여반도체및 관련산업분야에서제작되는패턴을가지거나또는패턴이없는투명한유전체박막(transparent dielectric thin-film)의두께형상(thickness profile)을삼차원적으로측정하거나굴절률을측정할수 있도록하는백색광주사간섭법을이용한투명한박막층의 3차원두께형상측정및 굴절률측정방법및 그기록매체를제공하는데그 목적이있다. 또한, 본발명에따르면, 백색광주사간섭법에있어서, 간섭신호를획득하여푸리에변환을수행하여위상그래프를산출하는제 1 단계; 측정물에대한모델링및 이를통한수학적위상그래프를산출하는제 2 단계; 및상기제 1 및제 2 단계에서구한위상값을이용하여오차함수를설정하여설정된오차함수에최적화기법을적용하여형상및 두께값을측정하는제 3 단계를포함하여이루어진두께형상측정방법이제공된다.
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