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公开(公告)号：KR101838245B1
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：KR1020150154656
申请日：2015-11-04
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본기재의모드잠금펄스와잡음펄스의선택적펄스생성장치는, 광을출력하는레이저다이오드와, 펄스의편광을조절하여모드잠금펄스또는잡음펄스를생성하는편광조절부를포함하는공진기, 및상기공진기의출력단에광학적으로연결되고상기편광조절부에전기적으로연결되어, 상기공진기로부터출력되는광을분산시켜감지하고, 상기공진기로부터출력되는광을분할하여간섭시켜간섭신호발생여부를감지하여, 상기모드잠금펄스또는상기잡음펄스가생성됨이확인될때, 상기편광조절부의작동을정지시키도록제어신호를전달하는신호감지제어기를포함한다.
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公开(公告)号：KR101641207B1
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020160017042
申请日：2016-02-15
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은비침투성과초소수성을갖는폴리이미드필름및 그제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판(100)에기설정된크기에따라나노패턴의마스터몰드(Master Mold)를가공하는제 1 단계(S100), 상기제 1 단계(S100)에의해가공된마스터몰드상에원자층증착법(ALD, Atomic Layer Deposition)을통한희생층(200)을증착하는제 2 단계(S200), 상기제 2 단계(S200)에의해증착된희생층(200) 상에폴리머층(300)을코팅하는제 3 단계(S300), 폴리머층(300) 하부의희생층(200) 및기판(100)을식각하는제 4 단계(S400) 및상기제 4 단계(S400)에의해희생층(200) 및기판(100)이식각된폴리머층(300) 표면에원자층증착법을통한원자층(400)을코팅하는제 5 단계(S500)로이루어지는것을특징으로하는비침투성과초소수성을갖는폴리이미드필름제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及具有不渗透性和超疏水性的聚酰亚胺膜及其制造方法。 更具体地说，本发明涉及一种具有不渗透性和超疏水性的聚酰亚胺薄膜的制造方法，其特征在于，包括：第一工序（S100），按照规定的尺寸加工纳米图案的母模 基板（100）; 在由第一步骤（S100）处理的母模上沉积通过原子层沉积（ALD）技术的牺牲层（200）的第二步骤（S200）; 在由第二步骤（S200）沉积的牺牲层上涂覆聚合物层（300）的第三步骤（S300）; 在所述聚合物层（300）的下侧蚀刻所述牺牲层（200）和所述基板（100）的第四步骤（S400）。 以及通过第四步骤（S400）在其上蚀刻有牺牲层（200）和基板（100）的聚合物层（300）的表面上涂覆原子层（400）的第五步骤（S500）。
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公开(公告)号：KR1020150137684A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：KR1020140065974
申请日：2014-05-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/78 , H01L21/268
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/78
Abstract: 본발명은캐리어웨이퍼에본딩된디바이스웨이퍼를디본딩하기위한웨이퍼의디본딩장치및 방법에관한것으로, 더욱상세하게는레이저를이용하여디본딩공정을수행하여디바이스웨이퍼의손상을방지하고, 디본딩공정시간을단축시킨레이저를이용한웨이퍼의디본딩장치및 방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于剥离结合到载体晶片的器件晶片的晶片脱粘器件及其方法，更具体地，涉及使用激光器的晶片脱粘器件，其减少了脱粘处理时间并防止器件晶片 通过使用激光进行静电处理而损坏的方法及其方法。
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公开(公告)号：KR101551770B1
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：KR1020140172217
申请日：2014-12-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 특성평가법에 관한 것으로, 고정용 지그에 자동초점 모듈을 고정시키고 초기 위치를 조절하는 초기위치 조절 단계(SA10); 상기 자동초점 모듈에 미리 설정된 전류를 인가하고, 상기 자동초점 모듈의 시간에 따른 변위를 측정하는 스텝응답특성 시험 단계(SA20); 및 상기 자동초점 모듈의 스텝응답특성 결과를 기존에 측정된 양품의 스텝응답특성 결과와 비교하여 불량 여부를 판단하는 불량 판단 단계(SA30); 를 포함하여 이루어져, 자동초점 모듈을 분해하지 않고 간편하고 빠르게 접합불량과 같은 불량 원인을 판별해 낼 수 있는 특성평가법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种属性评估方法，其包括将自动聚焦模块固定在固定夹具上的初始位置控制步骤（SA10），并调节初始位置; 将预设电流施加到自动聚焦模块的步进响应特性测试步骤（SA20），以及当经过时测量自动聚焦模块的位移; 以及通过将自动聚焦模块的步骤响应特性结果与之前测量的正常商品的阶跃响应特性结果进行比较来确定缺陷的缺陷确定步骤（SA30），从而简单且快速地确定诸如接触缺陷的缺陷的原因而不拆卸 自动聚焦模块
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101794778B1
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020150188920
申请日：2015-12-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은서로다른반복률주파수를갖는펨토초레이저를각각발생시키는복수의레이저발진기와, 상기각 레이저발진기에각각연결되며각 레이저발진기의레이저광을타겟으로조사시키는복수의레이저간섭계와, 상기타겟에설치되며상기각 레이저간섭계에서나온레이저광을감지하는광 검출기와, 상기광 검출기에연결되며상기광 검출기에서감지된레이저광으로부터상기각 반복률주파수대역성분을분리하여각 주파수대역성분으로부터상기각 레이저간섭계까지의거리를각각산출하는거리산출유닛을포함하는동시다변거리측정시스템및 이를이용한공간좌표측정방법을개시한다.
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公开(公告)号：KR101801274B1
公开(公告)日：2017-11-27
申请号：KR1020150107047
申请日：2015-07-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은완전자동화조립이가능한 LED 융합조명및 그제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는직결체결방식을통해완전자동화조립이가능한 LED 융합조명에있어서, 전면으로빛을출사하는광원들을포함하는 LED 엔진유닛(LED engine unit)(100), 상기 LED 엔진유닛(100)이전면에직결체결방식으로결합설치되는바디프레임(body frame)(200), 상기바디프레임(200)의배면에직결체결방식으로결합설치되어, 상기 LED 엔진유닛(100)과 SMPS(Switching Mode Power Supply)(400)를연결하는 I/F PCB(Interface PCB)(300), 상기 I/F PCB(300)의배면에결합설치되어, 상기 LED 엔진유닛(100)으로전원을공급하는 SMPS(400), 상기 LED 엔진유닛(100)이결합설치된상기바디프레임(200)의전면에결합설치되어, 상기 LED 엔진유닛(100)에의한광원을주사방향으로확산하는확산판(diffuser)(500) 및상기확산판(500)의전면에클립결합방식으로설치되어, 상기확산판(500)과바디프레임(200)을고정시키는차폐판(shield)(600)을포함하여구성되는것을특징으로하는완전자동화조립이가능한 LED 융합조명에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够全自动组装的LED融合照明及其制造方法，更具体地，本发明涉及一种能够通过直接耦合方式全自动组装的LED融合照明， 本体框架200以直接耦合的方式耦合到LED引擎单元100的前表面，以直接耦合到本体框架200的后表面， 耦合到I / F PCB 300并连接到LED引擎单元100和开关模式电源（SMPS）400的I / F PCB（接口PCB）300， SMPS 400连接到与LED引擎单元100连接的主体框架200的前表面，并连接到LED引擎单元100。 漫射板，用于扩散漫射光源 以及安装在扩散板500的前表面上以将扩散板500和主体框架200彼此固定的护罩600， 更具体地涉及能够实现全自动组装的LED聚变照明。
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公开(公告)号：KR1020170078412A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：KR1020150188897
申请日：2015-12-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은펨토초레이저를발생시키는레이저발진기와, 상기레이저발진기에연결되며펨토초레이저를복수의타겟으로조사시키는레이저간섭계와, 상기복수의타겟에각각설치되며상기레이저간섭계에서나온레이저를역반사시키는복수의역반사체와, 상기각 역반사체에구비되며상기각 역반사체로들어온레이저를각 역반사체마다다른주파수대역의광으로필터링하여상기레이저간섭계로보내지도록하는복수의광학필터를포함하고, 상기레이저간섭계는, 상기각 역반사체로부터돌아온레이저광을식별할수 있도록레이저광을각기다른파장대의복수의레이저광으로각각분리시키는광 분리유닛과, 상기광 분리유닛으로부터분리된각 레이저광을각각감지하는복수의광 검출기와, 상기각 광검출기에연결되며상기각 광검출기에서획득한신호를근거로상기각 타겟까지의거리를각각산출하는거리산출부를포함하는것을특징으로하는다수타겟동시거리측정시스템및 이를이용한공간좌표측정방법을개시한다.
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公开(公告)号：KR101567580B1
公开(公告)日：2015-11-12
申请号：KR1020150104835
申请日：2015-07-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/768 , H01L21/027 , H01L21/304
CPC classification number: H05K3/0017 , H01L21/027 , H01L21/304 , H01L21/486 , H01L21/768 , H01L23/145 , H01L23/49866 , H01L23/5384 , H01L23/5387 , H05K1/0326 , H05K1/0346 , H05K1/113 , H05K1/118 , H05K3/007 , H05K3/423 , H05K2201/0154 , H05K2201/09563 , H05K2203/016
Abstract: 본발명은유연접속구조물및 그제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는씨드(Seed)층이증착된실리콘기판에노광공정(Photolithography)을통해일정패턴의 PR(Photoresist)층을형성하는 PR 형성단계(S100), 상기 PR 형성단계(S100)에의해형성된일정패턴공간에도금공정을통해도전물을매립하는도전물매립단계(S200), 상기 PR 형성단계(S100)에서형성된 PR층을제거하는 PR 제거단계(S300), 상기 PR 제거단계(S300)에의해 PR층이제거된실리콘기판상부에폴리머층을코팅하는폴리머코팅단계(S400), 상기폴리머코팅단계(S400)에의해코팅된폴리머층을 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 방법을이용하여평탄화하는평탄화단계(S500), 상기평탄화단계(S500)에의해평탄화한폴리머층상부를패터닝하는상부패터닝단계(S600), 표면세척을통해폴리머층하부의씨드층이증착된실리콘기판을식각하는식각단계(S700) 및상기식각단계(S700)에의해씨드층이증착된실리콘기판이제거된폴리머층하부를패터닝하는하부패터닝단계(S800)로이루어지는것을특징으로하는유연접속구조물의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及柔性连接结构及其制造方法。 该方法包括通过光刻法在沉积有晶种层的硅衬底上形成具有预定图案的光致抗蚀剂（PR）层的PR形成步骤（S100） 通过电镀工艺形成通过PR形成步骤（S100）形成的预定图案空间中的导电材料的导电材料回收步骤（S200）; 通过PR形成步骤（S100）形成的去除PR层的PR去除步骤（S300）; 在所述硅衬底的上部涂覆聚合物层的聚合物涂布步骤（S400），在所述PR去除步骤中除去所述PR层（S300）; 通过使用化学机械抛光（CMP）方法，通过聚合物涂布步骤（S400）涂覆聚合物层的平整步骤（S500）; 通过平坦化工序（S500）将聚合物层的上部图形化的上部图形化步骤（S600）; 通过表面洗涤在聚合物层的下部蚀刻包括种子层的硅衬底的蚀刻步骤（S700）; 以及在蚀刻步骤中去除包括种子层的硅衬底的聚合物层的下部的下部构图步骤（S800）（S700）。
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公开(公告)号：KR1020210059310A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：KR1020190146605
申请日：2019-11-15
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은발열소자를이용한극초단레이저펄스생성장치에관한것으로, 일실시예에따르면, 능동광섬유로이루어진이득매질; 상기이득매질의제1 단부와제2 단부를연결하여광경로를형성하는광섬유; 상기이득매질의제2 단부측으로펌프광을제공하는펌프광원; 상기광경로중 상기이득매질의제1 단부측에설치되는광차폐기; 상기광경로에설치되며하나의편광상태의광만통과시키는편광필터; 및상기광섬유에인접하게배치되며각각하나이상의발열소자로이루어진복수개의발열모듈및 복수개발열모듈의각 발열소자에전원을인가하는전원부를포함하는모드잠금부;를포함하는극초단레이저펄스생성장치를개시한다.
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