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公开(公告)号：KR101529235B1
公开(公告)日：2015-06-29
申请号：KR1020130064924
申请日：2013-06-05
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은월등하게개선된마찰특성을나타내면서도높은경도와밀착성을가지는나노구조복합박막, 그제조방법및 저마찰특성부재및 그제조방법의제공을목적으로한다. 본발명의일 관점에의하면, 질화물구성원소로서 Zr 및 Al을포함하는질화물상과하나이상의금속상이혼합된복합구조를가지며, P 및 S 중에서선택된적어도어느하나이상이첨가되고, 결정립의크기가 5nm 내지 30nm의범위에있는박막이며, 상기질화물상은 Zr 질화물의결정구조를가지며, 상기질화물구성원소로서 Cr, Mo, Si, Nb, Hf, Ti, V, Fe 중에서선택되는어느하나이상을더 포함하며, 상기금속상은 Cu 및 Ni 중에서선택되는어느하나이상및 Co, Sn, In, Bi, Zn, Ag 중에서선택되는어느하나이상을포함하는, 저마찰특성을가지는나노구조복합박막이제공된다.
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公开(公告)号：KR1020140022526A
公开(公告)日：2014-02-25
申请号：KR1020120088613
申请日：2012-08-13
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: The present invention relates to a nitrified product and a nitriding method by using plasma for replacing a nitiridation process of a bushing product with a nitridation process and a sulphurizing nitridation process processed in a clean plasma environment comprising: a pre-heating step for heating a specimen by charging the specimen to an inside of a furnace, and raising the temperature inside a furnace to a pre-heating process temperature in a vacuum atmosphere; a sputtering step for maintaining the pressure inside the furnace to a sputtering process pressure, and for ion etching a surface of the specimen while inserting Ar and H2 into an inside of the furnace; a soft nitriding step for maintaining pressure inside the furnace to a soft nitriding process pressure, and for inserting N2, H2, and carbon gas, and for forming a compound layer and a hardened layer on a surface of the specimen while applying a current to a screen net equipped in the specimen and an outside of the specimen; a sulfnitriding step for forming a sulfnitriding layer above a compound layer by inserting H2S after lowering the temperature inside a furnace to a sulfnitriding process temperature; and a cooling step for cooling the specimen by inserting N2 into an inside of a furnace. According to the configuration, a process can be simplified; work expenses can be saved through an environment-friendly process; whole product manufacturing costs can be reduced by replacing an expensive MoS2 process; and a problem of a post-process which is processed after salt bath nitriding can be solved by minimizing deformation after a plasma process. [Reference numerals] (AA) Sulfnitriding layer; (BB) Compound layer; (CC) Hardened layer; (DD) Specimen
Abstract translation: 本发明涉及一种通过使用等离子体来替代在清洁等离子体环境中加工的氮化工艺和硫化氮化工艺的套管产品的氮化过程的硝化产物和氮化方法，包括：用于加热样品的预热步骤 通过将试样装入炉内，将炉内的温度提高到真空气氛中的预热处理温度; 用于将炉内的压力维持在溅射工艺压力下的溅射步骤，以及用于在将Ar和H 2插入炉内的同时离子蚀刻样品的表面; 用于将炉内的压力维持在柔软的氮化处理压力上的软氮化步骤，以及用于插入N 2，H 2和碳气，以及在试样的表面上形成化合物层和硬化层，同时向 试样上装有筛网，试样外面; 一种用于通过在将炉内的温度降低到硫氮化处理温度之后通过插入H 2 S在化合物层上方形成硫氮化层的硫氮化步骤; 以及冷却步骤，用于通过将N2插入炉内而冷却试样。 根据该结构，能够简化处理。 可以通过环保过程节省工作费用; 通过更换昂贵的MoS2工艺可以降低整个产品制造成本; 并且可以通过使等离子体处理后的变形最小化来解决在盐浴氮化后处理的后处理的问题。 （附图标记）（AA）磺化氮化层; （BB）化合物层; （CC）硬化层; （DD）标本
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公开(公告)号：KR101350509B1
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：KR1020120049355
申请日：2012-05-09
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 코팅층이 적용되는 분야에 따라 기판과 코팅층 사이에 해당 부품에서 요구되는 중간층의 밀착력을 확보하도록 한 MoN-Cu 코팅층 제조방법 및 그 MoN-Cu 코팅층에 관한 것이다.
이를 위해, 스틸재로 이루어진 기판과, 상기 기판에 코팅되는 MoN-Cu층 간의 밀착성 향상을 위해, MoN-Cu층을 코팅하기 이전에 상기 기판의 표면에 Mo-Cu 합금타겟을 이용하여 중간층을 스퍼터링 코팅하는 중간층 코팅단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, Mo-Cu 중간층 또는 Ti 중간층 코팅을 통해 높은 밀착력을 갖는 MoN-Cu 코팅층을 제조함으로써, 높은 경도와 밀착력, 그리고 우수한 마찰특성을 요하는 다양한 부품에 적용 가능한 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020130104646A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020120026308
申请日：2012-03-14
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing thin films including fluorine and the thin films are provided to improve corrosion and wear resistance by controlling property of the thin films. CONSTITUTION: A method for manicuring thin films including fluorine comprises following steps. A surface of a material (10) in a chamber is activated, and pre-processed by inputting reaction gas for removing foreign matters left. A middle layer (20) is coated on the surface of the material by injecting the reaction gas including Si in order to stick to the inner part of the chamber. A DLC layer (30) of the middle layer is coated by injecting hydrocarbon gas into the chamber. A fluorine layer (40) is coated on the DLC layer by injecting fluorination gas in order to improve corrosion and wear resistance of the chamber.
Abstract translation: 目的：提供一种制造薄膜的方法，包括氟和薄膜，以通过控制薄膜的性能来改善耐蚀性和耐磨性。 构成：包括氟的薄膜修整方法包括以下步骤。 室内的材料（10）的表面被激活，并通过输入用于除去留下的异物的反应气体进行预处理。 通过注入包含Si的反应气体以粘附到室的内部，将中间层（20）涂覆在材料的表面上。 通过将烃气体注入室中来涂覆中间层的DLC层（30）。 氟层（40）通过注入氟化气体涂覆在DLC层上，以改善室的耐腐蚀性和耐磨性。
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公开(公告)号：KR101136093B1
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020100005962
申请日：2010-01-22
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 비철금속으로 이루어진 모재의 표면결함을 낮추고 피로강도 및 표면경도를 향상시킬 수 있는 표면합금층을 갖는 비철금속재 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 이를 위해, 비철금속으로 이루어진 모재를 마련하는 모재마련단계; 상기 모재 보다 낮은 경도로 이루어진 아연재의 구형쇼트볼을 제공하는 볼제공단계; 상기 구형쇼트볼을 모재의 표면을 향해 0.1~0.4㎫의 압력으로 분사하는 분사단계; 상기 구형쇼트볼이 모재의 표면입자와 결합되면서 물리적구조가 변화되어 모재의 표면으로부터 미세결정립구조의 표면합금층을 형성하는 합금화단계;를 포함하여 표면합금층을 갖는 비철금속재를 제조하는 것이다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120029893A
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020100092008
申请日：2010-09-17
Abstract: PURPOSE: A dual laser beam driving device capable of angle and distance regulation is provided to keep the irradiation angle and distance of laser beams by simultaneously rotating and linearly moving laser beam units installed on both sides of a specimen. CONSTITUTION: A dual laser beam driving device comprises a base plate(10), a lifting unit, first and second levers(30a,30b), transfer dies(40), and a transfer guide unit. The lifting unit comprises a first lift block(20a) and a second lift block(20b) installed to ascend and descend in front of the base plate. The first and second levers are installed and allowed to rotate on both sides of the first and second lift blocks. The transfer dies are pivotally installed on the ends of the first and second levers and the bottom of the base plate. The transfer guide unit comprises laser beam units(50) which are installed to move right and left along in the longitudinal directions of the transfer dies.
Abstract translation: 目的：提供角度和距离调节的双激光束驱动装置，通过同时旋转和线性移动安装在样品两侧的激光束单元来保持激光束的照射角度和距离。 构成：双激光束驱动装置包括基板（10），提升单元，第一和第二杠杆（30a，30b），转移模具（40）和转移引导单元。 提升单元包括第一提升块（20a）和安装成在基板前方上升和下降的第二提升块（20b）。 第一和第二杠杆被安装并允许在第一和第二提升块的两侧旋转。 转移模具可枢转地安装在第一和第二杠杆的端部和底板的底部上。 传送引导单元包括激光束单元（50），其被安装成沿着传送管芯的纵向方向左右移动。
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公开(公告)号：KR101626391B1
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：KR1020150044255
申请日：2015-03-30
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/677
Abstract: 본발명은진공열처리공정중 시험편을장입하여한 번의진공열처리작업으로복수개의진행열처리결과를얻을수 있어공정비용절감과생산성을향상시킬수 있는챔버의시험편장입장치및 기판처리장치에관한것으로서, 가공환경을형성할수 있는챔버의일부분에설치되고, 일측에적어도하나의시험편을임시로수용할수 있는시험편수용부가형성되며, 타측에상기시험편의토출구가형성되는몸체; 및상기몸체의토출구를통해서상기시험편이토출되어가공환경이형성된상기챔버의내부로장입될수 있도록상기시험편수용부에수용된적어도하나의시험편을선택적으로이송시키는시험편이송장치;를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种插入试验片的装置和基板处理装置，其能够通过一次真空热处理工作获得多次进行的热处理结果，从而提高生产率并降低工艺成本， 在真空热处理过程中。 该装置包括：安装在可形成处理环境的室的一部分中的主体，并且具有能够临时存储形成在一侧的至少一个测试片和测试的排出孔的测试片存储部件 一块，形成在另一边; 以及试片传送装置，选择性地传送存储在试片存储部中的试片，使得试片通过本体孔插入到形成有加工环境的室内。
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公开(公告)号：KR1020160047703A
公开(公告)日：2016-05-03
申请号：KR1020140143908
申请日：2014-10-23
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은비정질형성능을가지면서도열적안정성이비정질에비해현저하게우수한결정질합금의제조방법및 이를위한비정질합금의열처리방법을제공하는것을목적으로한다. 비정질형성능을가지는금속원소를포함하는비정질합금또는나노결정질합금을상기비정질합금또는나노결정질합금의유리천이온도(Tg) 이상결정화개시온도(Tx) 이하의온도범위에서소정의시간동안유지하면서가압함으로써제 1 차수축하는단계; 및상기복수개의비정질합금또는나노결정질합금을상기비정질합금또는나노결정질합금의용융온도(Tm)의 0.7 배내지 0.9 배의온도범위에서소정의시간동안유지하면서가압함으로써제 2 차수축하는단계;를포함하는, 결정질합금의제조방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种具有与非晶合金相比具有非晶态合金的热稳定性非常优异的结晶合金的制造方法，同时具有这种非晶合金的玻璃形成能力和热处理方法。 本发明提供了结晶合金的制造方法，其包括以下步骤：通过在保持非晶态合金的同时加压非晶合金或纳米晶体合金，主要收缩包含具有玻璃形成能力的金属元素的非晶合金或纳米晶体合金，或 在非晶合金或纳米晶体合金的玻璃化转变温度（Tg）或更高但结晶起始温度或更低的温度范围内的预定时间段的纳米晶体合金，以及二次收缩多个非晶合金或 通过对非晶合金或纳米晶体合金进行加压，同时将非晶态合金或纳米晶体合金保持在非晶合金或纳米晶体的熔化温度（Tm）的0.7〜0.9倍的温度范围内， 合金预定时间 IOD。
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公开(公告)号：KR101517146B1
公开(公告)日：2015-05-12
申请号：KR1020130064922
申请日：2013-06-05
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 월등하게 개선된 마찰특성을 나타내면서도 높은 경도와 밀착성을 가지는 나노구조 복합박막, 그 제조방법 및 저마찰 특성 부재 및 그 제조방법의 제공을 목적으로 한다. 본 발명의 일 관점에 의하면, 질화물 구성원소로서 Zr 및 Al을 포함하는 질화물상과 Cu 및 Ni 중에서 선택된 어느 하나 이상, P 및 S 중에서 선택된 적어도 하나 이상, 및 잔부가 Zr으로 이루어진 스퍼터링 타겟을 이용하여, 결정립의 크기가 5nm 내지 30nm의 범위에 있는 저마찰 특성을 가지는 나노구조 복합박막이 제공된다.
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公开(公告)号：KR101501068B1
公开(公告)日：2015-03-17
申请号：KR1020130065460
申请日：2013-06-07
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 종래의 비정질 합금보다 Zr 함량이 높고, 상용 금속원소들로만 이루어져 공업적, 경제적 활용성이 우수하고 실용화가 용이한 고내식 특성의 Zr기 비정질 합금 조성물의 제공을 목적으로 한다. 본 발명의 일 관점에 의하면, Zr이 67원자% 내지 78원자%, Al 및 Co 중에서 선택된 어느 하나 이상이 4원자% 내지 13원자%, Cu 및 Ni 중에서 선택된 어느 하나 이상이 15원자% 내지 24원자%로 이루어지고, 비정질 형성능이 0.5mm 이상인, Zr기 비정질 합금조성물이 제공된다.
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