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公开(公告)号：KR101053836B1
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020090010797
申请日：2009-02-10
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C08L101/10 , B82B3/00 , B82Y40/00
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0883 , B01J2219/0894 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B33/027 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , Y10T117/10 , Y10T117/1008 , Y10T428/2982
Abstract: 플라즈마 퍼짐 현상을 최소화하여 실리콘 나노입자의 입도 및 품질을 향상시킬 수 있는 ICP(Inductive Coupled Plasma)를 이용한 실리콘 나노입자 제조 장치에 관하여 개시한다.
본 발명에 따른 실리콘 나노입자 제조 장치는 외벽에 ICP 코일이 권취되어 있고, 내부에 쿼츠 튜브가 삽입된 쿼츠 리액터를 포함하며, 실리콘 나노입자 형성을 위한 실란 가스 등의 1차가스 및 실리콘 나노입자의 표면반응을 위한 수소, 붕소 화합물 가스 등의 2차가스가 아르곤 가스와 함께 상기 쿼츠 튜브의 내측 및 외측으로 분리 공급되는 것을 특징으로 한다.Abstract translation: 揭示一种使用ICP（感应耦合等离子体）制造硅纳米粒子的装置，其能够使等离子体扩散现象最小化并且改善硅纳米粒子的粒度和质量。
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公开(公告)号：KR100588603B1
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：KR1020050037495
申请日：2005-05-04
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/18 , B82Y40/00
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公开(公告)号：KR101414570B1
公开(公告)日：2014-07-03
申请号：KR1020120081217
申请日：2012-07-25
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/042 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 실리콘 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 (a) 제1 도전형 불순물이 도핑된 실리콘 기판의 전면에, 상기 실리콘 태양전지의 전면전극의 형성 위치에 대응하는 개구부를 가지도록 마스킹 페이스트를 이용하여 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 개구부를 통해 노출된 상기 실리콘 기판의 전면의 제1 영역에 제2 도전형 불순물이 함유된 도핑 페이스트를 프린팅하여 건조하는 단계; (c) 상기 패턴을 제거하는 단계; (d) 상기 실리콘 기판을 제1 열처리하여, 상기 도핑 페이스트에 함유된 제2 도전형 불순물을 상기 제1 영역을 통해 상기 실리콘 기판 내부로 제1 확산시킴으로서 제1 에미터층을 형성하는 단계; 및 (e) 제2 도전형 불순물을 도핑하기 위한 도핑가스 분위기에서 상기 실리콘 기판을 제2 열처리하여, 제2 에미터층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 본 발명은 패턴을 이용하여 증착된 도핑 페이스트의 넓게 퍼지는 현상을 억제함으로써 전면전극과 에미터층 사이의 접촉저항을 일정 수준 이하로 작게 유지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101390241B1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：KR1020120092118
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L51/48
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 본 발명은 기판에 분사된 용액에 회전 원심력과 중력을 부여하여 코팅시키도록 함과 아울러, 용액의 밀도에 따라 회전체의 회전속도를 가변 조절하여 용액을 기판의 표면에 골고루 코팅시키기 위한 기판의 코팅방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명의 코팅장치는, 회전축을 중심으로 회전 운동되는 회전체와, 상기 회전체의 상면에 배치되고 상부가 회전체의 바닥으로부터 이격되게 배치되는 고정대와, 고정대의 상부에 스윙 운동 가능하도록 연결되고 상측에 기판이 안착되는 지지대로 구성된다.-
公开(公告)号：KR1020140031597A
公开(公告)日：2014-03-13
申请号：KR1020120098083
申请日：2012-09-05
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/021 , B01J19/12 , B82B1/00 , B82B3/00
CPC classification number: C01B33/027 , B01J19/087 , B01J2219/0894 , C01P2004/64
Abstract: The present invention locates a first gas inlet close to a plasma reaction unit and a second gas inlet far from the plasma reaction unit, and cross-arranges inlet pipes per injection gas for properly mixing first gas; is capable of performing a uniform plasma reaction between first gas and second gas in a plasma reaction region; is capable of minimizing a plasma spreading phenomenon by increasing the density of plasma in short period of staying time; is capable of easily controlling particle sizes; and improves yield by injecting cooling gas for preventing the formation of particle cohesion among produced particles. [Reference numerals] (AA) First gas; (BB) Second gas
Abstract translation: 本发明定位靠近等离子体反应单元的第一气体入口和远离等离子体反应单元的第二气体入口，并且每个注入气体交叉排列入口管，以适当混合第一气体; 能够在等离子体反应区域中在第一气体和第二气体之间进行均匀的等离子体反应; 能够通过在短时间内增加等离子体的密度来最小化等离子体扩散现象; 能够容易地控制粒径; 并通过注入冷却气体来提高产率，以防止生成的颗粒之间的颗粒凝聚力的形成。 （附图标记）（AA）第一气体; （BB）第二气体
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101269608B1
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：KR1020110028388
申请日：2011-03-29
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/054 , H01L31/0445 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 박막 태양전지용 후면반사막에 관한 것으로, 기판의 반대쪽에서 빛이 입사하는 하판(substrate)형 박막 태양전지용 후면반사막으로서, 상기 기판 위에 형성된 알루미늄층을 포함하여 구성되고, 상기 알루미늄층에는 Si, O, Cu 및 Pt 중에서 선택된 적어도 하나이상의 물질이 도핑되며; 상기 도핑된 알루미늄층은 도핑된 불순물에 의해 수직방향의 결정성장이 강화되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 후면반사막의 조도를 향상시킴으로써, 후면반사막에서의 가시광 및 장파장 영역의 산란 반사도를 높일 수 있으며, 최종적으로 박막 태양전지의 광포획도를 높여서 변환효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 종래에 후면반사막의 재료로 사용되던 고가 재료인 은의 사용량을 줄임으로써, 전체 박막 태양전지의 제조비용을 낮출 수 있는 효과가 있다.
나아가, 종래의 후면반사막에 비하여 낮은 제조온도에서도 표면조도를 높일 수 있으며, 얇은 두께로도 종래에 비하여 유사 또는 뛰어난 반사효율을 나타낸다.-
公开(公告)号：KR1020120139952A
公开(公告)日：2012-12-28
申请号：KR1020110059512
申请日：2011-06-20
Applicant: 한국에너지기술연구원
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A container for collecting and storing silicon nanoparticles and an apparatus and method for depositing a silicion nanoparticle thin film using the same are provided to efficiently deposit nanoparticles on a substrate using carrier gas without an additional nanoparticle transfer unit. CONSTITUTION: A first inflow line(11) is connected to one side of a container(10). The nanoparticles are inputted to a first inflow line by carrier gas. A second inflow line(16) is connected to the other side of the container. The inputted nanoparticles are discharged to the outside through the second inflow line. A filter screen(13) is formed in the container. A discharge line(14) is connected to the container to discharge carrier gas passing through the filter screen to the outside. [Reference numerals] (AA) Carrier gas; (BB) Collected nanoparticles
Abstract translation: 目的：提供一种用于收集和储存硅纳米颗粒的容器以及使用该容器沉积硅胶纳米颗粒薄膜的装置和方法，以便在没有另外的纳米颗粒转移单元的情况下使用载气有效地将纳米颗粒沉积在基底上。 构成：第一流入管线（11）连接到容器（10）的一侧。 纳米颗粒通过载气输入到第一流入管线。 第二流入管线（16）连接到容器的另一侧。 输入的纳米颗粒通过第二流入管线排出到外部。 过滤网（13）形成在容器中。 排出管（14）与容器连接，将通过过滤网的载气排出到外部。 （附图标记）（AA）载气; （BB）收集的纳米颗粒
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公开(公告)号：KR1020120126485A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：KR1020110044317
申请日：2011-05-12
Applicant: 한국에너지기술연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for deposition of a silicone-based nano-particle thin film are provided to effectively deposit nano-particles on a substrate without a separate nano-particle transfer unit because the nano-particles are injected into a deposition chamber by the pressure difference between the deposition chamber and a nano-particle container. CONSTITUTION: An apparatus for deposition of a silicone-based nano-particle thin film comprises a nano-particle container(100) and a deposition chamber(200). Silicon-based nano-particles are led by carrier gas and collected in the nano-particle container. The nano-particles in the nano-particle container are injected into the deposition chamber by the pressure difference between the nano-particle container and the deposition chamber and deposited on a substrate(S) placed in the deposition chamber. A first inlet line(102) is provided between the nano-particle container and the deposition chamber. A flow controller is provided in the first inlet line. [Reference numerals] (AA) Nano particles + gas; (BB) Reaction gas; (CC) Nano particles
Abstract translation: 目的：提供一种用于沉积硅氧烷基纳米颗粒薄膜的装置和方法，以有效地将纳米颗粒沉积在基板上，而不需要单独的纳米颗粒转移单元，因为纳米颗粒通过 沉积室和纳米颗粒容器之间的压力差。 构成：用于沉积硅氧烷基纳米颗粒薄膜的装置包括纳米颗粒容器（100）和沉积室（200）。 硅基纳米颗粒由载气引导并收集在纳米颗粒容器中。 纳米颗粒容器中的纳米颗粒通过纳米颗粒容器和沉积室之间的压差被注入沉积室中，并沉积在沉积室中的衬底（S）上。 第一入口管线（102）设置在纳米颗粒容器和沉积室之间。 在第一入口管线中设置流量控制器。 （标号）（AA）纳米颗粒+气体; （BB）反应气体; （CC）纳米颗粒
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29.发明授权
公开(公告)号：KR101199221B1
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020100090012
申请日：2010-09-14
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0216 , H01L21/20
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L21/02532 , H01L21/02601 , H01L31/03682 , H01L31/1804 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 실리콘계 나노입자 박막 증착방법, 실리콘계 나노입자 박막 및 이를 위한 실리콘계 나노입자 박막 증착장치가 제공된다.
본 발명에 따른 실리콘계 나노입자 박막 증착방법은 실리콘계 나노입자를 합성하는 합성단계; 및 상기 실리콘계 나노입자를 기판에 제 1 증착시키는 증착단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 실리콘계 나노입자 증착 방법 및 장치는, 합성된 실리콘계 나노입자를 또 다른 공정에서 전처리하지 않고, 합성과 동시에 기판에 증착시키므로, 나노입자 오염에 따른 전지효율 저하의 문제를 방지할 수 있다. 또한, 단일 시스템에서 합성과 증착이 진행되므로 경제성이 우수하며, 더 나아가, 나노입자의 속도 및 기판 높이를 조절함으로써 대면적 기판에서 원하는 형태의 나노입자 박막의 증착이 가능하다.-
公开(公告)号：KR1020120036067A
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020100097741
申请日：2010-10-07
Applicant: 한국에너지기술연구원
CPC classification number: Y02E10/50 , E06B7/28 , E05D15/1013 , E06B3/4609 , F21V33/006 , G08B13/08 , H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A window assembly capable of enabling a user to confirm the opening and closing state of a window is provided to rapidly recognize a user that a window is opened and to enable the user to rapidly close the window. CONSTITUTION: A window assembly(100) capable of enabling a user to confirm an opening and closing state comprises a frame member(110), a window frame member(120), a light permeating member, a solar battery(140), a condensing member, a mark member, a luminous member, and a control member. The frame member is installed on the wall of a structure. The window frame member is slidably formed in the frame member. The light permeating member is composed of a transparent material and sends external light to the inside the structure. The solar battery converts solar energy into electric energy. The condensing member stores the converted electric energy. The mark member is arranged on one surface of the light permeating member. The luminous member is electrically connected to the condensing member and emits light. The control member controls the light emitting of the luminous member.
Abstract translation: 目的：提供能够使用户确认窗口的打开和关闭状态的窗口组件，以快速识别用户打开窗口并使用户能够快速关闭窗口。 构成：能够使用户确认打开和关闭状态的窗户组件（100）包括框架构件（110），窗框构件（120），透光构件，太阳能电池（140），冷凝 构件，标记构件，发光构件和控制构件。 框架构件安装在结构的壁上。 窗框构件可滑动地形成在框架构件中。 透光构件由透明材料构成，并将外部光发送到结构内部。 太阳能电池将太阳能转化为电能。 冷凝构件存储转换的电能。 标记构件设置在透光构件的一个表面上。 发光部件与冷凝部件电连接并发光。 控制部件控制发光部件的发光。
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