公开(公告)号：KR1020160074073A

公开(公告)日：2016-06-28

申请号：KR1020140182862

申请日：2014-12-18

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 김창규 ,  이준우 ,  박상준

IPC: G01Q60/48

CPC classification number: G01Q60/24 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/48 ,  Y10S977/852

Abstract: 일실시예에따른프로브팁 제조방법은, 실리콘재질을포함하는상판및 하판, 및상기상판및 하판사이에접하도록마련되는산화막판을포함하는 SOI(silicon-on-insulator) 기판을제공하는단계; 상기 SOI 기판의상면과하면각각에 1차보호막을증착하는단계; 상기상면에증착된 1차보호막에서프로브팁의기둥부분을남기고상기상면에증착된 1차보호막을제거하는단계; 상기하면에증착된 1차보호막에서지지부부분만남기고상기하면에증착된 1차보호막을제거하는단계; 상기하면의상기 1차보호막이제거된부분의하판을산화막판까지식각하는단계; 상기상면에 2차보호막을증착하는단계; 상기상면에증착된 2차보호막에서외팔보(cantilever) 부분과지지부부분을남기고상기 2차보호막을제거하는단계; 상기상면의상기 2차보호막이제거된부분의상판을식각하는단계; 상기상면의 2차보호막을제거하는단계; 상기상판을일정한깊이까지식각하여실리콘기둥을형성하는단계; 남아있는상기상면의 1차보호막을제거하는단계; 상기실리콘기둥의옆면을포함한상기상면에 3차보호막을증착하는단계; 상기실리콘기둥끝단의테두리부분의 3차보호막을식각하는단계; 상기 3차보호막이식각된틈을통해상기실리콘기둥끝단을뾰족하게식각하는단계; 및남아있는상기보호막들을모두제거하고상기프로브팁을분리하는단계;를포함할수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，探针尖端的制造方法包括：提供绝缘体上硅（SOI）衬底的步骤，该衬底包括上板和含有硅的下板和形成在上和 下板与上板和下板接触; 在SOI衬底的顶表面和下侧的每一个上沉积第一保护膜的步骤; 消除沉积在顶表面上的第一保护膜，同时保留沉积在顶表面上的第一保护膜的探针尖端的柱部分; 除去沉积在SOI衬底的下侧上的第一保护膜，同时保留沉积在下侧上的第一保护膜的支撑单元部分的步骤; 蚀刻下面的第一保护膜的下部的一部分被去除到氧化膜的步骤; 在顶表面上沉积第二保护膜的步骤; 除去沉积在顶表面上的第二保护膜，同时保留第二保护膜的悬臂部分和支撑单元部分的步骤; 蚀刻除去第二保护膜的上板的一部分的步骤; 从上表面除去第二保护膜的步骤; 通过以预定深度蚀刻上板来形成硅柱的步骤; 消除顶表面上剩余的第一保护膜的步骤; 在顶表面上沉积第三保护膜的步骤和硅柱的侧表面; 在所述硅柱的端部的边缘上蚀刻所述第三保护膜的一部分的步骤; 通过蚀刻第三保护膜形成的第三保护膜中的间隙蚀刻硅柱的端部以使其尖锐的步骤; 以及消除剩余的保护膜并分离探针尖端的步骤。 本发明的目的是使用硅板和氧化膜制造探针尖端。

公开(公告)号：KR1020100000940A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：KR1020080060627

申请日：2008-06-26

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 김창규

IPC: G06K7/10

CPC classification number: H04N1/02855 ,  G06K7/10386 ,  H04N1/0834

Abstract: PURPOSE: An optical system for a scanner which directly scans an object with a curved surface is provided to produce a very small scanner by reducing the space light passes through using a light guide plate and a light sensor array. CONSTITUTION: A pattern(11) is formed on one side of a light guide plate(10). A light source is located in one side of the light guide plate. The light source illuminates the light guide plate. An optical sensor array(30) is located on the opposite side of the surface of the pattern. The photo sensor array senses the light. The light is reflected on the surface of the scanned object. The light penetrates the light guide plate. The photo sensor array is formed with a plurality of optical sensor units. The light guide plate is bent against the curved surface of the scanned object.

Abstract translation: 目的：提供一种用于直接扫描具有曲面的物体的扫描仪的光学系统，以通过减少通过导光板和光传感器阵列的空间光来产生非常小的扫描仪。 构成：在导光板（10）的一侧形成有图案（11）。 光源位于导光板的一侧。 光源照亮导光板。 光学传感器阵列（30）位于图案表面的相对侧上。 光传感器阵列感测光。 光被扫描对象的表面反射。 光穿过导光板。 光传感器阵列形成有多个光学传感器单元。 导光板相对于被扫描物体的弯曲表面弯曲。

公开(公告)号：KR100489801B1

公开(公告)日：2005-05-16

申请号：KR1020020078443

申请日：2002-12-10

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최창억 ,  이명래 ,  김창규 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G02B5/0833 ,  G02B6/29361 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395

Abstract: 본 발명은 패브리-패럿 구조의 능동형 파장가변 광 필터에 관한 것이다. 본 발명은, 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 하부 거울과, 상기 하부 거울과 소정 거리 이격되어 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 상부 거울과, 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울을 반도체 기판에 연결하여 지지하기 위한 연결 수단 및 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울 사이의 간극을 정전력으로 제어하기 위한 전극패드를 포함하는 파장가변 광 필터 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 실리콘막 및 산화막의 다층 구조로 이루어진 상부 및 하부 거울을 정전력에 의하여 미소하게 구동함으로써 입사광에 대한 투과광 파장을 선택적으로 송출할 수가 있다.

公开(公告)号：KR1020040042989A

公开(公告)日：2004-05-22

申请号：KR1020020070965

申请日：2002-11-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G02B6/352 ,  G02B6/266 ,  G02B6/29358 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3594

Abstract: PURPOSE: A variable attenuator capable of controlling a wavelength dependency is provided to overcome the alignment problem as well as to remove the insertion loss generated during the integration of the wavelength selection filter and the optical attenuator. CONSTITUTION: A variable attenuator capable of controlling a wavelength dependency includes at least two reflecting mirrors(13,14) and a plurality of driving units(15,16). The reflecting mirrors(13,14) are installed in the middle of the optical waveguide or the optical fiber(11,12) and are arranged in parallel to each other with inclining at a predetermined angle with respect to an optical axis. And, each of the plurality of driving units(15,16) is connected to the reflecting mirrors(13,14) and is capable of rotatably driving the reflecting mirrors(13,14) with respect to the vertical or horizontal axis.

Abstract translation: 目的：提供一种能够控制波长依赖性的可变衰减器，以克服对准问题，并消除在波长选择滤波器和光衰减器的积分期间产生的插入损耗。 构成：能够控制波长依赖性的可变衰减器包括至少两个反射镜（13,14）和多个驱动单元（15,16）。 反射镜（13,14）安装在光波导或光纤（11,12）的中间，并且相对于光轴以预定角度倾斜地彼此平行地布置。 并且，多个驱动单元（15,16）中的每一个连接到反射镜（13,14），并且能够相对于垂直轴或水平轴可旋转地驱动反射镜（13,14）。

公开(公告)号：KR100533535B1

公开(公告)日：2005-12-06

申请号：KR1020030079987

申请日：2003-11-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29395

Abstract: 본 발명은 미소기전집적시스템(MEMS: Micro-Electro-Mechanical System) 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 광축이 정렬된 두 개의 광섬유 혹은 광 도파로, 상기 광섬유 혹은 광 도파로 앞단에서 빛을 모아주는 두 개의 렌즈, 하나의 기판에 형성된 두 개 혹은 그 이상의 반사경, 적어도 하나의 상기 반사경을 지지하는 열구동체를 포함하며, 전류의 흐름에 따른 열구동체의 열팽창에 의해 상기 반사경이 구동된다. 반사경들이 하나의 기판에 모두 형성되므로 서로 다른 기판에 형성된 반사경을 조립하는 구조에 비하여 제작 과정이 간단하고 초기 공진 파장을 정밀하게 조절할 수 있으며, 열구동체에 직접 전류를 흘려 열팽창시키므로 적은 소모 전력으로 구동이 가능하다. 또한, 반사경을 움직이는 데 정전력을 이용하지 않으므로 반사경들 사이의 고착 현상이 일어나지 않아 정전구동에 의한 파장가변 필터에 비하여 더 넓은 범위의 파장가변이 가능하며, 평면 형태의 반사경이 서로 평행하게 배열되므로 광정렬이 쉽고 선폭이 일정하며 삽입 손실이 적다.

公开(公告)号：KR100490754B1

公开(公告)日：2005-05-24

申请号：KR1020020070965

申请日：2002-11-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G02B6/352 ,  G02B6/266 ,  G02B6/29358 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3594

Abstract: 특정 파장을 선택하여 투과시키는 파장 가변 광 필터 기능과 광 투과량을 연속적으로 조절하는 광 감쇠기 기능을 갖는 본 발명의 가변 광 감쇠기는 광도파로 또는 광섬유의 중간에 설치되며, 광축에 기 설정된 각도로 서로 평행하게 배열된 적어도 두 개 이상의 반사경과, 각각의 반사경들에 연결되어 반사경들을 광축에 평행 및 수직한 방향으로 전후진 구동 혹은 상기 광축에 수직 및 수평한 축을 중심으로 회전 구동시키는 구동부들을 포함한다.
본 발명의 가변 광 감쇠기는 파장 가변 광 필터 기능과 광 감쇠기 기능을 동시에 갖기 때문에 종래의 파장 선택 필터와 광 감쇠기를 별도로 집적함으로써 발생하는 삽입손실과 광 정렬상의 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 본 발명은 하나의 소자로 파장 가변 광 필터 기능과 광 투과량을 연속적으로 조절하는 광 감쇠기 기능을 구현함으로써, 광 감쇠기를 사용하는 시스템을 소형화시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020040050586A

公开(公告)日：2004-06-16

申请号：KR1020020078443

申请日：2002-12-10

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최창억 ,  이명래 ,  김창규 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G02B5/0833 ,  G02B6/29361 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395

Abstract: PURPOSE: A variable wavelength optical filter and its fabrication method are provided, which have a Fabry-Perot structure using a mirror of high reflectivity stacked with a silicon film and an oxide film. CONSTITUTION: A bottom mirror(180) is formed by stacking silicon film and oxide film in sequence and a silicon film is stacked on the uppermost layer. A top mirror(182) is separated from the bottom mirror and is formed by stacking silicon films and oxide films in sequence, and a silicon film is stacked on the uppermost layer. A connection unit(155) connects the bottom mirror and the top mirror to a semiconductor substrate(100). And electrode pads(140,142) control a gap between the bottom mirror and the top mirror with electrostatic force.

Abstract translation: 目的：提供一种可变波长光学滤波器及其制造方法，其具有使用层叠有硅膜和氧化物膜的高反射率的镜面的法布里 - 珀罗结构。 构成：依次层叠硅膜和氧化膜形成底镜（180），在最上层层叠硅膜。 顶镜（182）与底镜分离，依次层叠硅膜和氧化膜形成，在最上层层叠硅膜。 连接单元（155）将底部反射镜和顶部反射镜连接到半导体衬底（100）。 并且电极焊盘（140,142）利用静电力来控制底部反射镜和顶部反射镜之间的间隙。

公开(公告)号：KR100595999B1

公开(公告)日：2006-07-07

申请号：KR1020030094749

申请日：2003-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B2006/12109

Abstract: 본 발명은 파브리-페로 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 하부 반사경, 하부 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 상부 반사경, 하부 반사경 상부에 위치되며 양측 종단부가 스페이서를 통해 하부 반사경에 고정된 구동체, 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들, 구동체의 중앙부와 상부 반사경을 연결하는 막대구조체, 막대구조체 양측의 하부 반사경에 스페이서를 통해 각각 고정된 고정수단들, 막대구조체와 고정수단들을 연결하며 회전축 역할을 하는 탄성체들을 포함한다. 열팽창이나 전자기력, 혹은 외부의 힘에 의해 구동체의 휨이 발생되면, 탄성체를 회전축으로 지렛대 역할을 하는 막대구조체의 반대편에 연결된 반사경이 구동된다. 따라서 파장가변 범위가 기존보다 넓고 낮은 전력으로 구동할 수 있다. 또한, 두 반사경이 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 양방향 구동이 가능하며, 구동체와 반사경이 분리되어 있어 전류에 의한 빛의 흡수 및 굴절률 변화가 최소화된다.
파장가변 필터, 반사경, 고정수단, 구동체, 지렛대

公开(公告)号：KR1020040097460A

公开(公告)日：2004-11-18

申请号：KR1020030029763

申请日：2003-05-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  최창억 ,  전치훈

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/32

Abstract: PURPOSE: A variable wavelength filter for performing a bidirectional driving operation by using electromagnetic force is provided to change direction of electromagnetic force according to the current direction by using a plurality of permanent magnets or a plurality of electromagnets. CONSTITUTION: Two optical fibers or two optical waveguides(11,12) are arrayed by optical axes thereof. A plurality of lenses(21,22) for receiving and transmitting beams are installed between the optical fibers or the optical waveguides. A plurality of reflectors(31,32) are installed at opposite sides of a pneumatic layer between the lenses. A plurality of elastic members(41,42) are used for supporting the reflectors. A plurality of spacers(71,72) are used for maintaining a gap between the reflectors. A conductive pattern(51) is used for applying the current to the reflectors and the elastic members. A plurality of electrode parts(61,62) are connected to both ends of the conductive pattern. A plurality of permanent magnets or a plurality of electromagnets(81,82) are used for forming the magnetic field to the horizontal direction to the reflectors.

Abstract translation: 目的：提供一种通过使用电磁力进行双向驱动操作的可变波长滤波器，通过使用多个永久磁铁或多个电磁铁来改变与电流方向相对应的电磁力的方向。 构成：两个光纤或两个光波导（11,12）由其光轴排列。 用于接收和发射光束的多个透镜（21,22）安装在光纤或光波导之间。 多个反射器（31,32）安装在透镜之间的气动层的相对侧。 多个弹性构件（41,42）用于支撑反射器。 多个间隔件（71,72）用于保持反射器之间的间隙。 导电图案（51）用于将电流施加到反射器和弹性部件。 多个电极部分（61,62）连接到导电图案的两端。 使用多个永磁体或多个电磁体（81,82）来形成与反射器的水平方向的磁场。

公开(公告)号：KR100489810B1

公开(公告)日：2005-05-17

申请号：KR1020030029763

申请日：2003-05-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  최창억 ,  전치훈

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/32

Abstract: 본 발명은 외부 자기장에 대해 수직 방향으로 흐르는 전류의 방향에 따라 전자기력의 방향이 바뀌는 원리를 이용하여 두 반사경 사이의 거리가 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 구동되도록 한 파장가변 필터에 관한 것이다. 본 발명의 파장가변 필터는 한쪽 방향으로만 구동되는 기존의 파장가변 필터와 동일한 기계적 구조 및 파장가변 범위을 필요로 하는 경우에는 필터 구동에 필요한 힘을 절반으로 낮추고 고착현상이 발생할 가능성을 줄일 수 있으며, 같은 구동력으로 동일한 파장가변 범위를 구현하는 경우에는 공진 주파수를 높게 하여 소자의 구동 시간을 줄일 수 있다. 또한 정전기력으로 구동되는 구조에 비하여 낮은 전압으로 구동이 가능하다.