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    Integrierte optoelektronische Vorrichtung mit Wellenleiter und Herstellungsverfahren derselben
    22.
    发明专利
    Integrierte optoelektronische Vorrichtung mit Wellenleiter und Herstellungsverfahren derselben 未知

    公开(公告)号：DE112013003336T5

    公开(公告)日：2015-04-02

    申请号：DE112013003336

    申请日：2013-07-02

    Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

    Inventor： PAGANI ALBERTO ,  MOTTA ALESSANDRO ,  LOI SARA

    IPC: G02B6/12 ,  G02B6/43

    Abstract: Eine integrierte optoelektronische Vorrichtung, die von einer ersten Oberfläche (S1) und einer zweiten Oberfläche (S2) begrenzt ist und Folgendes aufweist: einen Körper (2) aus Halbleitermaterial, in dessen Innerem mindestens eine optoelektronische Komponente gebildet ist, die aus einem Detektor (30) und einem Emitter (130) ausgewählt ist; sowie einen optischen Pfad (OP), der zumindest teilweise vom geführten Typ ist und sich zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche erstreckt, wobei der optische Pfad den Körper durchläuft. Die optoelektronische Komponente ist durch den optischen Pfad mit einem ersten Bereich eines freien Raums und einem zweiten Bereich eines freien Raums optisch gekoppelt, die über bzw. unter der ersten und der zweiten Oberfläche angeordnet sind.

    METHOD FOR AN IMPROVED CHECKING OF REPEATABILITY AND REPRODUCIBILITY OF A MEASURING CHAIN, IN PARTICULAR FOR THE QUALITY CONTROL BY MEANS OF THE SEMICONDUCTOR DEVICE TESTING
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    发明专利
    METHOD FOR AN IMPROVED CHECKING OF REPEATABILITY AND REPRODUCIBILITY OF A MEASURING CHAIN, IN PARTICULAR FOR THE QUALITY CONTROL BY MEANS OF THE SEMICONDUCTOR DEVICE TESTING 未知

    公开(公告)号：SG196768A1

    公开(公告)日：2014-02-13

    申请号：SG2013086244

    申请日：2008-10-22

    Applicant: ST MICROELECTRONICS GRENOBLE ,  ST MICROELECTRONICS SRL

    Inventor： TENUCCI SERGIO ,  PAGANI ALBERTO ,  SPINETTA MARCO ,  RANCHOUX BERNARD

    Abstract: - 26 -METHOD FOR AN IMPROVED CHECKING OF REPEATABILITY ANDREPRODUCIBILITY OF A MEASURING CHAIN, IN PARTICULAR FOR THEQUALITY CONTROL BY MEANS OF THE SEMICONDUCTOR DEVICETESTINGThe invention relates to a method for an improved checking ofrepeatability and reproducibility of a measuring chain, in particular for thequality control by means of the semiconductor device testing, wherein testing10steps are provided for multiple and different devices to be subjected tomeasurement through a measuring system comprising at least oneconcatenation of measuring units between a testing apparatus (ATE) and eachdevice to be subjected to measurement. Advantageously, the method comprisesthe following steps: checking repeatability and reproducibility of each type of15unit that forms part of the measuring chain of the concatenation; then makinga correlation between the various measuring chains as a whole to checkrepeatability and reproducibility, using a corresponding device subjected tomeasurement.20Fig. 7METHOD FOR AN IMPROVED CHECKING OF REPEATABILITY AND REPRODUCIBILITY OF AMEASURING CHAIN, IN PARTICULAR FOR THE QUALITY CONTROL BY MEANS OF THE The invention relates to amethod for an improved checking of repeatability and reproducibility of ameasuring chain, in particular for the 10 quality control by means of thesemiconductor device testing, wherein testing steps are provided for multipleand different devices to be subjected to measurement through a measuringsystem comprising at least one concatenation of measuring units between atesting apparatus (ATE) and each device to be subjected to measurement.Advantageously, the method comprises 15 the following steps: checkingrepeatability and reproducibility of each type of unit that forms part of themeasuring chain of the concatenation; then making a correlation between thevarious measuring chains as a whole to check repeatability andreproducibility, using a corresponding device subjected to measurement. 20Fig. 7

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