DEPOSITION APPARATUS AND METHODS
    21.
    发明公开
    DEPOSITION APPARATUS AND METHODS 审中-公开
    ABSCHEIDUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN

    公开(公告)号:EP2971222A4

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:EP14765262

    申请日:2014-03-14

    Abstract: A deposition apparatus (20) comprising: a chamber (22); a process gas source (62) coupled to the chamber; a vacuum pump (52) coupled to the chamber; at least two electron guns (26); one or more power supplies (30) coupled to the electron guns; a plurality of crucibles (32,33,34) positioned or positionable in an operative position within a field of view of at least one said electron gun; and a part holder (170) having at least one operative position for holding parts spaced above the crucibles by a standoff height H. The standoff height H is adjustable in a range including at least 22 inches.

    Abstract translation: 一种沉积装置(20),包括:腔室(22); 耦合到所述室的处理气体源(62); 联接到腔室的真空泵(52) 至少两个电子枪(26); 耦合到电子枪的一个或多个电源(30) 多个坩埚(32,33,34),位于或可定位在至少一个所述电子枪的视场内的操作位置; 以及具有至少一个操作位置的零件保持器(170),该操作位置用于保持在坩埚上方与隔离高度H隔开的部分。隔离高度H可在包括至少22英寸的范围内调节。

    СПОСІБ (ВАРІАНТИ) І ПРИСТРІЙ ДЛЯ НАНЕСЕННЯ ТЕПЛОЗАХИСНОГО ПОКРИТТЯ

    公开(公告)号:UA113608C2

    公开(公告)日:2017-02-27

    申请号:UAA201202665

    申请日:2012-03-05

    Abstract: Винахідналежитьдогалузіметалургії, асаме - доспособуі пристроюдлянанесеннятеплозахиснихпокриттівнадеталь. Спосібполягаєв тому, щодетальрозміщуютьв камеріосадженнятапершийелектричнийпотенціалподаютьнадеталь. Компонентиматеріалуосадженнярозпилюютьі вгазовійфазііонізують. Першийелектричнийпотенціалмодулюютьтак, щобпритягуватиіонізованікомпонентидодеталі. МодуляціявключаємножинупершихстадійдляППФО - плазмовогопарофазногоосадження. Кожназ першихстадійвключаєсеріюімпульсівнегативногопотенціалу. МодуляціявключаєтакожмножинудругихстадійдляПФО - безплазмовогопарофазногоосадження, якічергуютьсяз першимистадіями. Винахідзабезпечуєпідвищенняякостітаадгезійноїміцностіпокриття, щоосаджуєтьсянадеталь.

    30.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE60038355D1

    公开(公告)日:2008-04-30

    申请号:DE60038355

    申请日:2000-12-20

    Abstract: Methods of producing layered ceramic coatings in which some layers contain porosity are described, as are the coatings produced. The different layers are applied at different temperature conditions by periodically inserting a heat blocking shield between the heat source and either the'evaporation source and/or an external heater. As applied, some of the layers have a Zone I structure and some have a Zone II type structure. Heat treatment may be used to increase the porosity in the Zone I structure layers.

Patent Agency Ranking