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公开(公告)号：CN101147223A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200680009284.4
申请日：2006-03-07
Applicant: 德尔福芒斯公司
Inventor： 奥利弗·米莱特
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H59/0009 , H01H2001/0063
Abstract: 一种RF MEMS开关，其包括由衬底(1)承载的可以在第一位置(断开状态/图1)和第二位置(接通状态)的两个位置之间受驱动的微机械开关装置，以及用于驱动开关装置的位置的驱动装置。微机械开关装置包括由支撑装置(3)自由地支撑的，在驱动装置(7)的动作下可弯曲的，以及可以在其弯曲运动过程中相对于支撑装置(3)自由地滑动的挠性膜(6)。
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公开(公告)号：CN1613154A
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN02826974.8
申请日：2002-11-08
Inventor： 达纳·R·德吕斯
CPC classification number: B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
Abstract: 根据一个实施例，提供一种悬挂在基板上方的可移动MEMS部件。该部件可包括结构层，该结构层具有与基板分开一定间隙的可移动电极。该部件还可包括至少一个支座凸块，该支座凸块固定到结构层上并延伸到所述间隙中，当该部件移动时用于防止可移动电极与导电材料接触。
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公开(公告)号：CN103858199B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201180073766.7
申请日：2011-09-30
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0072 , B81B3/0097 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , H01G5/16 , H01H59/0009
Abstract: 形成具有翘曲被抑制的可动部的电气设备。在形成在衬底上的第一种子层上并与第一空间区域相邻的位置，通过镀敷形成至少一个第二金属材料的台座部和相向电极，利用第一牺牲层填埋第一空间区域，利用相同的抗蚀图案，通过连续镀敷，形成从第一牺牲层上延伸至台座部的表面的一部分的金属材料的第二牺牲层以及在第二牺牲层上的具有与第二金属材料相同的组分、热膨胀系数的第三金属材料的下部结构体，露出未形成有第二牺牲层的台座部表面，在台座部、下部结构体上，通过镀敷形成与第二金属材料、第三金属材料具有相同的组分、热膨胀系数的第四金属材料的上部结构体，去除第一牺牲层、第二牺牲层，制成具有可动部的电气设备。
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公开(公告)号：CN102674235B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210061957.8
申请日：2012-03-09
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 斋藤友博
CPC classification number: H01G5/18 , B81B2201/018 , B81B2201/0221 , B81B2203/0109 , B81C1/00611 , B81C2201/0126
Abstract: 本发明涉及MEMS及其制造方法。该MEMS包括：设置在基板上的第1电极；第1辅助构造体，与上述第1电极相邻地设置在上述基板上，处于电浮置状态；和第2电极，设置在上述第1电极和上述第1辅助构造体的上方，被向上述第1电极的方向驱动。
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公开(公告)号：CN102712461B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201080051006.1
申请日：2010-09-21
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2207/053 , B81C2201/0167
Abstract: 提供了一种非易失性纳米机电系统器件，包括：悬臂结构，该悬臂结构包括具有初始形状的横梁，该横梁在其一端处由支撑底座支撑；以及横梁偏转器，该横梁偏转器包括相变材料(PCM)，该PCM在与横梁的材料无滑动的状况下布置在横梁的一部分上，该PCM采用非晶相或结晶相之一，并且当采用该结晶相时，使横梁从初始形状偏转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102185517B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201010573402.2
申请日：2010-11-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/007 , B81B2201/018 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0172 , H02N1/006
Abstract: 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
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公开(公告)号：CN103663347A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310390589.6
申请日：2013-08-30
Applicant: 美国博通公司
Inventor： 艾哈迈德礼萨·罗福加兰
CPC classification number: H01H29/004 , B81B3/0032 , B81B2201/018 , H01G5/0132 , H01H1/0036 , H01H2029/008
Abstract: 本发明涉及响应压力的液态微电子机械系统组件，其包括板材，通道框架，柔性通道面。液体微滴，以及一个或多个导电元件。所述通道框架在所述板材内，并且匹配于所述柔性通道面，以便在所述板材内形成通道。所述液体微滴被包含在所述通道内。当压力被施加至所述柔性面时，所述液体微滴相对于一个或多个导电元件的形状被改变，从而改变所述液态MEMS组件的操作特性。
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公开(公告)号：CN103547335A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201380000402.5
申请日：2013-03-20
Applicant: 华为终端有限公司
IPC: A99Z99/00
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B3/001 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , H01G5/16 , H01H59/0009
Abstract: 本发明实施例提供一种电容式开关、信号收发装置及制造方法。该电容式开关包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在衬底上的共面波导，该共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，第一导体上设有绝缘介质层，绝缘介质层上设有导电层；第一导电悬臂通过第一固定端与第二导体连接，第二导电悬臂通过第二固定端与第三导体连接，当所述电容式开关通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。本实施例提供的电容式开关，通过采用悬臂的分离结构释放电容式开关中金属膜桥产生的应力，确保信号的传输质量。
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公开(公告)号：CN102834347A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201080066397.4
申请日：2010-04-23
Applicant: 埃普科斯股份有限公司
CPC classification number: B81C1/00142 , B81B2201/018 , B81B2201/0257
Abstract: 公开了一种MEMS器件，其包括微机加工的块本体（BB）以及固定到块本体的膜（MM）。优选地从平坦的金属片用激光切割膜并且将膜接合到块本体。
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公开(公告)号：CN102185517A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010573402.2
申请日：2010-11-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/007 , B81B2201/018 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0172 , H02N1/006
Abstract: 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
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