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    一种基于全反射界面FP腔结构的光谱仪
    21.
    发明公开
    一种基于全反射界面FP腔结构的光谱仪 有权 转让

    公开(公告)号：CN106153195A

    公开(公告)日：2016-11-23

    申请号：CN201610518065.4

    申请日：2016-06-28

    Applicant: 亘冠智能技术(杭州)有限公司

    Inventor： 何赛灵 ,  何金龙

    IPC: G01J3/42

    CPC classification number: G01J3/42 ,  G01J2003/425

    Abstract: 本发明公开了一种基于全反射界面FP腔结构的光谱仪。本发明包括光学FP共振腔结构、高灵敏光电传感器、角位移平台、角位移传感器和驱动控制器；驱动控制器通过导线与高灵敏光电传感器、角位移平台、角位移传感器相连接；光学FP共振腔结构包括三层高折射率介质光学层和两层低折射率介质层，利用在三层高折射率介质光学层中嵌入两层低折射率介质层，形成全反射界面的光学高Q值的光学FP共振腔结构，其中三层高折射率介质置于中间位置的是高折射率介质层，两边位置的是高折射率介质层。本发明是一种结构简单、小尺寸、成本低、分辨率极高、测量范围宽的小型光谱仪。

    KONFOKALES SPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUR BILDGEBUNG IN EINEM KONFOKALEN SPEKTROMETER
    25.
    发明申请
    KONFOKALES SPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUR BILDGEBUNG IN EINEM KONFOKALEN SPEKTROMETER 审中-公开
    共焦光谱仪和方法成像共焦光谱仪

    公开(公告)号：WO2013045250A1

    公开(公告)日：2013-04-04

    申请号：PCT/EP2012/067421

    申请日：2012-09-06

    Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT ,  SCHICK, Anton

    Inventor： SCHICK, Anton

    IPC: G01J3/28 ,  G02B21/00

    CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01J3/10 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/42 ,  G01J2003/425

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein konfokales Spektrometer, mit einer breitbandigen Lichtquelle, einer vor der Lichtquelle angeordneten ersten Blendenvorrichtung mit einem ersten Spaltraster einer Hauptspaltrichtung, welche dazu ausgelegt ist, ein spaltförmiges Muster der Lichtquelle zu erzeugen, einer ersten Abbildungsoptik, welche dazu ausgelegt ist, das spaltförmige Muster der Lichtquelle auf ein abzubildendes Objekt zu fokussieren, und einem Detektorsystem, welches eine Detektoreinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, das von dem Objekt reflektierte Licht zum Erzeugen eines spektral aufgelösten Bildes des Objekts zu erfassen, eine zweite Abbildungsoptik, welche dazu ausgelegt ist, das reflektierte Licht auf die Detektoreinrichtung zu fokussieren, und ein Dispersionselement aufweist, welches vor der zweiten Abbildungsoptik angeordnet ist, und welches dazu ausgelegt ist, das von dem Objekt reflektierte Licht entlang einer Dispersionsachse senkrecht zu der optischen Achse der zweiten Abbildungsoptik spektral zu dispergieren.

    Abstract translation: 本发明涉及一种共焦光谱仪的宽带光源，与适于产生光源，第一成像光学系统，其适合于狭缝状的狭缝状图案的主划分方向的第一间隙格栅布置在所述光源的第一面罩装置的前 聚焦光源的图案，以对象物进行成像，并且要被检测，其包含适合于从物体反射的光以产生物体的光谱分辨的图像的检测器装置的检测器系统，其适于将所述第二成像光学系统 到的反射光聚焦到所述检测器的装置，以及具有分散元件，其被布置在所述第二成像光学系统的前方，并且其适于，从物体反射的沿着分散轴的光垂直于所述第二图像的光轴 ungsoptik分散光谱。

    NOISE CANCELLATION IN FOURIER TRANSFORM SPECTROPHOTOMETRY
    26.
    发明申请
    NOISE CANCELLATION IN FOURIER TRANSFORM SPECTROPHOTOMETRY 审中-公开
    在FOURIER变换光谱测定中的噪声消除

    公开(公告)号：WO2009029446A1

    公开(公告)日：2009-03-05

    申请号：PCT/US2008/073659

    申请日：2008-08-20

    Applicant: THE CURATORS OF THE UNIVERSITY OF MISSOURI ,  LARSEN, David, W. ,  XU, Zhi

    Inventor： LARSEN, David, W. ,  XU, Zhi

    IPC: G01J3/42

    CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/42 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/425 ,  G01N21/274 ,  G01N21/31 ,  G01N2021/3137 ,  G01N2201/0227 ,  G01N2201/127

    Abstract: Increasing signal to noise ratio in optical spectra obtained by spectrophotometers. An interferometer introduces interference effects into a source light beam. A dual beam configuration splits the source beam having the interference effects into a reference beam and a sample beam. The reference beam interacts with a reference substance and is detected by a reference detector. The sample beam interacts with a sample substance and is detected by a sample detector. An optical spectra of the sample is based on the difference between the detected reference beam and the detected sample beam.

    Abstract translation: 通过分光光度计获得的光谱增加信噪比。 干涉仪将干扰效应引入源光束。 双光束配置将具有干涉效应的源光束分解成参考光束和样本光束。 参考光束与参考物质相互作用，并由参考检测器检测。 样品束与样品物质相互作用，并由样品检测器检测。 样品的光谱基于检测到的参考光束和检测到的样品光束之间的差异。

    SYSTEM AND METHOD FOR INTERFEROMETRIC BASED SPECTROMETRY AND COMPACT SPECTROMETER USING SAME
    27.
    发明申请
    SYSTEM AND METHOD FOR INTERFEROMETRIC BASED SPECTROMETRY AND COMPACT SPECTROMETER USING SAME 审中-公开
    基于干涉计量法和紧凑型光谱仪的系统和方法

    公开(公告)号：WO2017149543A1

    公开(公告)日：2017-09-08

    申请号：PCT/IL2017/050266

    申请日：2017-03-02

    Applicant: CI SYSTEMS (ISRAEL) LTD.

    Inventor： CABIB, Dario

    IPC: G01J3/45 ,  G02B3/00

    CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/26 ,  G01J3/427 ,  G01J3/4338 ,  G01J3/4531 ,  G01J3/4532 ,  G01J2003/425 ,  G02B27/50

    Abstract: An interference fringe pattern generator form's an interference fringe pattern from the light rays diffused from a region of an object positioned against a background. A planar array of detector pixels is arranged to capture an image of the interference fringe pattern. A storage medium records information indicative of intensity values of the image of the interference fringe pattern captured by a selected group of pixels of the planar array of detector pixels. The information is recorded as a function of the optical path difference values traversed by the diffused light rays through the interference fringe pattern generator for each of the pixels in the selected, group of pixels. A processor determines the spectral characteristics of the object based on the information indicative of the intensity values recorded by the storage medium and the optical path difference values traversed by the diffused light rays.

    Abstract translation: 干涉条纹图案生成器形式是来自从位于背景上的物体的区域扩散的光线的干涉条纹图案。 检测器像素的平面阵列被布置为捕获干涉条纹图案的图像。 存储介质记录指示由检测器像素的平面阵列的选定的一组像素捕获的干涉条纹图案的图像的强度值的信息。 该信息作为所选像素组中每个像素的扩散光线通过干涉条纹图案发生器所穿过的光程差值的函数来记录。 处理器基于指示由存储介质记录的强度值的信息和由漫射光线穿过的光程差值来确定对象的光谱特性。

    OPTICAL METROLOGY WITH REDUCED FOCUS ERROR SENSITIVITY
    28.
    发明申请
    OPTICAL METROLOGY WITH REDUCED FOCUS ERROR SENSITIVITY 审中-公开
    具有减少聚焦误差灵敏度的光学计量学

    公开(公告)号：WO2016133765A1

    公开(公告)日：2016-08-25

    申请号：PCT/US2016/017399

    申请日：2016-02-10

    Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

    Inventor： KRISHNAN, Shankar ,  ZHUANG, Guorong Vera ,  WANG, David Y. ,  LIU, Xuefeng

    IPC: H01L21/66

    CPC classification number: G01N21/255 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/42 ,  G01J2003/425 ,  G01N21/211 ,  G01N21/55 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068

    Abstract: Methods and systems for performing broadband spectroscopic metrology with reduced sensitivity to focus errors are presented herein. Significant reductions in sensitivity to focus position error are achieved by imaging the measurement spot onto the detector such that the direction aligned with the plane of incidence on the wafer surface is oriented perpendicular to the direction of wavelength dispersion on the detector surface. This reduction in focus error sensitivity enables reduced focus accuracy and repeatability requirements, faster focus times, and reduced sensitivity to wavelength errors without compromising measurement accuracy. In a further aspect, the dimension of illumination field projected on the wafer plane in the direction perpendicular to the plane of incidence is adjusted to optimize the resulting measurement accuracy and speed based on the nature of target under measurement.

    Abstract translation: 本文介绍了对聚焦误差灵敏度降低的宽带光谱测量方法和系统。 通过将测量点成像到检测器上来实现对聚焦位置误差的敏感性的显着降低，使得与晶片表面上的入射平面对准的方向定向为垂直于检测器表面上的波长色散的方向。 聚焦误差灵敏度的降低可以降低焦点精度和重复性要求，更快的聚焦时间，降低对波长误差的灵敏度，而不会影响测量精度。 在另一方面，调整在垂直于入射平面的方向上投射在晶片平面上的照明场的尺寸，以根据测量目标的性质优化所得到的测量精度和速度。

    SPECTRAL REFLECTANCE COMPRESSION
    29.
    发明申请
    SPECTRAL REFLECTANCE COMPRESSION 审中-公开
    光谱反射压缩

    公开(公告)号：WO2016122612A1

    公开(公告)日：2016-08-04

    申请号：PCT/US2015/013820

    申请日：2015-01-30

    Applicant: HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.

    Inventor： MOROVIC, Peter ,  MOROVIC, Jan ,  BENEDICTO, Jordi Arnabat

    IPC: G06T9/00

    CPC classification number: H04N19/60 ,  G01J3/42 ,  G01J2003/425 ,  G06T9/00 ,  H04N19/124 ,  H04N19/13 ,  H04N19/162 ,  H04N19/184 ,  H04N19/196 ,  H04N19/91

    Abstract: In some examples, a method for compressing a spectral reflectance dataset may be performed through compression circuitry. The method may include computing a principal component analysis basis for the spectral reflectance dataset; projecting the spectral reflectance dataset onto the principal component analysis basis to obtain a weight matrix; quantizing the weight matrix; performing a Huffman encoding process on the quantized weight matrix to generate a Huffman table and Huffman codes for the quantized weight matrix; and providing compressed spectral reflectance data as the principal component analysis basis, the Huffman table, and the Huffman codes.

    Abstract translation: 在一些示例中，用于压缩光谱反射率数据集的方法可以通过压缩电路来执行。 该方法可以包括计算光谱反射率数据集的主成分分析基础; 将光谱反射率数据集投影到主成分分析基础上以获得权重矩阵; 量化权重矩阵; 对量化权重矩阵执行霍夫曼编码处理，以生成霍夫曼表，并对量化权重矩阵进行霍夫曼码; 并提供压缩光谱反射率数据作为主成分分析基础，霍夫曼表和霍夫曼码。

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