Abstract:
Es wird ein Strahlungsmeßgerät (Bolometer) mit einer elektrisch isolierenden Trägerfolie, auf deren einer Seite eine der zu messenden Strahlung auszusetzende, Absorberschicht vorgesehen ist, der gegenüber auf der anderen Seite der Trägerfolie eine hochohmige Widerstandsschicht aufgebracht ist, die Bestandteil einer Widerstandsmeßbrücke ist, beschrieben, bei dem die Absorberschicht in eine seitlich vorstehende mit ihr in thermisch leitendem Kontakt stehende Wärmeleitschicht übergeht und die Wärmeleitschicht gegen die zu messende Strahlung abgeschirmt ist, wobei auch mehrere je eine Absorberschicht tragende Wärmeleitschichten mit Abstand in Reihen nebeneinander angeordnet sein können. Außerdem wird ein Meßsystem mit einem solchen Meßgerät und mit einem zugeordneten, gegen die zu messende Strahlung abgeschirmten Referenzgerät beschrieben, bei dem der Aufbau des Referenzgerätes identisch demjenigen des Meßgerätes entspricht und das . Referenzgerät im gleichen Gehäuse wie das Meßgerät angeordnet sind. Bei einer Ausführungsform sind diese beiden Geräte hintereinander angeordnet, während bei einer Ausführungsform Meß- und Referenzgerät nebeneinander sitzen und diese Anordnung in mehrfacher Weise hintereinander wiederholt ist.
Abstract:
편측에 리드선이 접속되어 있어도, 열 밸런스를 무너뜨리지 않고 측정 대상물의 온도를 고정밀도로 측정 가능한 적외선 센서를 제공한다. 절연성 필름 (2) 과, 절연성 필름의 일방의 면에 형성된 제 1 감열 소자 (3A) 및 제 2 감열 소자 (3B) 와, 절연성 필름의 일방의 면에 형성되고 제 1 감열 소자에 접속된 제 1 배선막 (4A) 및 제 2 감열 소자에 접속된 제 2 배선막 (4B) 과, 제 2 감열 소자에 대향하여 절연성 필름의 타방의 면에 형성된 적외선 반사막 (5) 과, 절연성 필름의 동일한 단부측에 형성되고 대응하는 제 1 배선막 및 제 2 배선막에 접속된 복수의 단자 전극 (6) 과, 절연성 필름의 타방의 면에 형성되고 제 1 배선막과 제 2 배선막 중 단자 전극으로부터의 배선 거리가 긴 쪽의 적어도 일부에 대향하여 절연성 필름보다 열 방산성이 높은 재료로 형성된 열 저항 조정막 (7) 을 구비하고 있다.
Abstract in simplified Chinese:提供一种红外线传感器,即使引线连接於单侧,也不会使热平衡失衡,而可高精度地测定测定对象物之温度。具备:绝缘性膜(2);及第1感热组件(3A)及第2感热组件(3B),设于绝缘性膜一方的面;及与第1感热组件连接之导电性的第1配线膜(4A)及与第2感热组件连接之导电性的第2配线膜(4B),形成于绝缘性膜一方的面;及红外线反射膜(5),与第2感热组件相向,设置于绝缘性膜另一方的面;及复数个端子电极(6),设于绝缘性膜的同一端部侧,与对应之第1配线膜及第2配线膜连接;及热阻调整膜(7),设于绝缘性膜另一方的面,与第1配线膜和第2配线膜当中相距端子电极的配线距离较长者的至少一部分相向,且由热散逸性比绝缘性膜还高的材料所形成。