公开(公告)号：CN101110335B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200610099424.3

申请日：2006-07-18

Applicant: 日特机械工程株式会社

Inventor： 山田哲弘

IPC: H01J41/06

Abstract: 本发明提供一种锭翼式线圈绕线机，具有：用于夹持铁芯(20)的夹头(12)；具有把线材(35)送出的管嘴(34)的锭翼(23)；把线材(35)熔接到形成在铁芯(20)侧面的端子(20C、20D)上的熔接头(60)。将夹头(12)和锭翼(23)配置在铁芯(20)的一侧，使熔接头(60)与夹头(12)及锭翼(23)相对地配置在铁芯(20)的另一侧，从而在绕线作业和熔接作业时，可以避免锭翼(23)与熔接头(60)的干涉。

公开(公告)号：CN100555552C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200410050977.0

申请日：2004-07-30

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  魏洋 ,  盛雷梅 ,  刘亮 ,  胡昭复 ,  郭彩林 ,  陈丕瑾 ,  范守善

IPC: H01J41/00 ,  G01L21/00

CPC classification number: G01N27/62

Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一阴极单元，一阳极，一屏蔽极，一离子引出极，一反射极和一收集极；该屏蔽极一端与该阴极单元相对应，该屏蔽极另一端与该离子引出极相对应；该离子引出极中心开设一离子引出孔；该反射极为曲面结构，该曲面围住屏蔽极靠近离子引出极的一侧；该收集极设置于该反射极曲面结构底部，并指向离子引出孔；该阳极固定于屏蔽极中间内部。本发明真空规管结合鞍场规和分离规的优点，具有体积小、功耗小、结构简单和灵敏度高的优点。

公开(公告)号：CN100426440C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200410027020.4

申请日：2004-04-21

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  盛雷梅 ,  魏洋 ,  刘亮 ,  齐京 ,  范守善

IPC: H01J3/02 ,  H01J41/00 ,  G01L21/34

CPC classification number: G01L21/34

Abstract: 一种用于超高真空和极高真空量测的冷阴极电子枪，其包括一栅极和一设置于该栅极下方的阴极，其特征在于在该栅极上方平行设置一屏蔽极。本发明还提供一种使用上述冷阴极电子枪的真空规管，其包括一外壳、一收集极、一阳极和一冷阴极电子枪；该冷阴极电子枪和该收集极相对该阳极同轴对称放置；该外壳开口一端与待测器件相接，其特征在于该冷阴极电子枪包括一栅极、一平行设置于该栅极上方的屏蔽极和一设置于该栅极下方的阴极。本发明采用冷阴极电子枪的真空规管具有阴极体积小、功耗小、灵敏度高和降低吸放气率的优点。

公开(公告)号：CN101133308A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200680007086.4

申请日：2006-03-01

Applicant: 英飞康有限责任公司

Inventor： W·克纳普 ,  M·沃斯特

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J41/00 ,  H01J41/02 ,  H01J41/04 ,  H01J41/06 ,  H01J41/08 ,  H01J41/10 ,  H01J19/00 ,  H01J19/02 ,  H01J19/04 ,  H01J19/10

CPC classification number: G01L21/32 ,  G01L21/12 ,  H01J1/3042 ,  H01J41/04

Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

公开(公告)号：CN1791962A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200480013925.4

申请日：2004-05-18

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 清野和之 ,  岛田佳之

IPC: H01J41/12 ,  H01J29/94 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J41/12

Abstract: 一种溅射离子泵，包括：金属泵壳(51)，该泵壳含有互相相对放置的阴极(52)和阳极(53)和位于阴极和泵壳内表面之间的永磁体(57)。在将阳极、阴极和磁性材料安排到泵壳中以后，从泵壳外部将泵壳磁化，从而形成永磁体。

公开(公告)号：CN119982456A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510166847.5

申请日：2025-02-14

Applicant: 中国科学院近代物理研究所

Inventor： 李长春 ,  蒙峻 ,  杨伟顺 ,  魏宁斐 ,  姚鹏 ,  罗成 ,  蔺晓建 ,  万亚鹏 ,  马向利 ,  刘建龙 ,  焦纪强 ,  柴振 ,  谢文君 ,  朱小荣

IPC: F04B41/06 ,  F04B37/14 ,  F04B37/04 ,  H01J41/12

Abstract: 本发明涉及粒子加速器技术领域，尤其涉及一种紧凑型复合真空泵，本发明实施例提供的紧凑型复合真空泵包括溅射离子泵和钛丝组件，溅射离子泵包括泵壳，具有空腔及与空腔连通的第一接口和第二接口，第一接口用于连接待抽真空腔体；钛丝组件与泵壳的第二接口连接，钛丝组件的钛丝通过升华在空腔内沉积形成具有吸附作用的第一钛膜，本发明实施例提供的紧凑型复合真空泵在保证可以获得极高真空的同时有效减少对安装空间的占用，方便其他元件的排布。

公开(公告)号：CN119487297A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202380050391.5

申请日：2023-07-28

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： 亚历山德罗·费拉拉 ,  米凯莱·穆拉

IPC: F04B37/02 ,  F04B37/14 ,  H01J41/12

Abstract: 一种卡扣式吸气剂泵组件，其中，第一部件、吸气剂子组件(10；20；30；40)与第二部件牢固但可逆地联接，从而保持吸气剂加热器(50)和封闭式线缆模块(57；67)，并且这两个部件的这种组装通过插入和旋拧到包括匹配的插头‑插座型连接件的支承件中而容易地安装。

公开(公告)号：CN119400681A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202411979785.1

申请日：2024-12-31

Applicant: 有研工程技术研究院有限公司

Inventor： 王鹏伟 ,  路桂隆 ,  李洋 ,  郭德宇 ,  游孟园 ,  吴华亭 ,  张文宇 ,  高钦钦 ,  徐晓强 ,  刘坤 ,  熊玉华 ,  刘晓鹏 ,  杨剑

IPC: H01J41/12

Abstract: 本发明属于离子泵技术领域，具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵，磁铁组件包括至少一组磁铁对，所述一组磁铁对包括两个磁铁，所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上，所述两个磁铁之间形成磁场；本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部，缩短了磁隙，因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度，使得离子泵整体结构紧凑小巧，可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵，抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接，在需要维护和检修时，更加方便拆卸和安装，使用更加方便，可以适应不同场合的使用需求。

公开(公告)号：CN118541544A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202380017116.3

申请日：2023-01-16

Applicant: 托卡马克能量有限公司

Inventor： 胡安·贝纳亚斯 ,  薇薇安·李 ,  罗伯特·班贝尔 ,  帕特里克·布丁 ,  加桑·安塔尔 ,  西蒙·汉克斯 ,  康斯坦丁·莫什库诺夫

IPC: F04B37/02 ,  F04B37/04 ,  G21B1/05 ,  G21B1/17 ,  H01J41/12

Abstract: 一种在处于部分真空的腔室中操作蒸发泵系统(100)的方法包括以下步骤：加热吸气剂源(102)以形成吸气剂蒸气；将所述吸气剂蒸气沉积到布置在所述腔室内的第一目标表面(106)上以形成吸气剂层(107)；和在所述腔室内提供更新的目标表面，并且所述吸气剂蒸气可以沉积到所述更新的目标表面上。在最后一步中，所述更新的目标表面通过以下步骤提供：(i)从所述第一目标表面(106)至少部分地移除所述吸气剂层(107)和存在于所述吸气剂层(107)内的任何化学吸附的产物和/或物理吸附的产物，在所述腔室内执行所述步骤；和/或(ii)在所述腔室内布置第二目标表面，其中，所述吸气剂源(102)包括锂。

公开(公告)号：CN117457469A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311456089.8

申请日：2023-11-03

Applicant: 山东微波电真空技术有限公司 ,  济钢防务技术有限公司

Inventor： 高闿阅 ,  张欣玲 ,  刘昊 ,  史永康 ,  李淑娟 ,  陈书超

IPC: H01J41/12

Abstract: 本发明公开了一种抽气性能可调的溅射离子泵，涉及电真空技术领域，包括溅射离子泵外壳体，所述溅射离子泵外壳体的顶端通过螺栓固定安装有抽气管，抽气机构，所述抽气机构包括导电板和固定阴极板，所述导电板通过螺栓固定安装在溅射离子泵外壳体的内部底端。本发明通过提供一款抽速、极限真空等抽气性能可调的溅射离子泵，可以减少配套真空泵的使用，实现一泵多用，将不同的阳极环尺寸、极间距离和磁场强度组合在同一个泵壳中，可以实现在不同使用条件下调整选择最优的设计参数，实现最佳的抽气效果，使得溅射离子泵可在不同的真空环境下、不同的真空获得阶段中可以自由调节抽气性能，不仅提高了抽气效率，缩小了设备体积，还降低了使用成本。