公开(公告)号：CN107527786A

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201710739470.3

申请日：2017-08-22

Applicant: 兰州空间技术物理研究所

Inventor： 李得天 ,  王永军 ,  成永军 ,  张虎忠 ,  董猛 ,  郭美如 ,  李艳武 ,  孙健 ,  李刚

IPC: H01J41/06

CPC classification number: H01J41/06

Abstract: 本发明公开了一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规。本发明通过采用阳极栅网顶部端面直接提取电子的方法，增大了发射电子的有效利用率，将碳纳米管阴极电离规的测量下限延伸至10-9Pa的极高真空范围。本发明包括笼状阳极栅网、离子收集极、电级基座以及固定在电级基座上的碳纳米管阴极，所述碳纳米管阴极与笼状阳极栅网的顶部端面相对，电级基座通过设置在基座两端的云母片固定在阳极栅网顶部端面的上方；阳极栅网的顶部端面为网状结构，利用网状结构的阳极栅网的顶部端面直接提取电子。

公开(公告)号：CN103959032B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201280043956.9

申请日：2012-08-02

Applicant: 英飞康有限责任公司

Inventor： B.安德雷奧斯

IPC: G01L21/34 ,  H01J41/06

CPC classification number: G01L21/30 ,  G01L21/34 ,  H01J41/06

Abstract: 一种电离-真空测量单元包括：a)带有用于待测量的真空的测量接口(8)的可抽真空的壳体(10)；b)外部的第一电极和内部的第二电极(3,4)，其以共同地轴线(7)彼此同轴地且相间隔地布置，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与测量接口(8)连通；c)电压源(16)，其与电极(3,4)相连接；d)电流测量器件(17)，用于评估在电极(3,4)之间构造的放电电流；e)至少一个永磁体环(1)，其包围电极(3,4)的同轴组件，带有径向于轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，其中，轭(2)在轴向上在两侧引导远离永磁体环(1)并且在与永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向轴线(7)和第一电极(3)来引导，这样使得轭(2)在两侧、与永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a,b)，永磁体环(1)的场线的至少一部分经由其在测量室(20)内穿过电极(3)地闭合。

公开(公告)号：CN103094049A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201110333503.7

申请日：2011-10-28

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  周段亮 ,  张春海 ,  齐京 ,  陈丕瑾 ,  范守善

IPC: H01J41/02 ,  H01J41/06

CPC classification number: H01J41/06

Abstract: 本发明提供一种电离规，用于测量具有导体外壳的真空系统的真空度，该电离规包括阴极装置、阳极装置和离子收集装置，所述阴极装置与所述离子收集装置设置于所述阳极装置的两侧并与所述阳极装置间隔设置，所述阴极装置进一步包括电子发射体，所述电子发射体延伸向所述阳极装置并与所述阳极装置间隔设置，其特征在于，所述电子发射体包括至少一个碳纳米管线，所述电离规直接设置在待测真空系统的导体外壳中。

公开(公告)号：CN101138066B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200680007372.0

申请日：2006-03-02

Applicant: 因菲康有限公司

Inventor： 丹尼尔·韦齐希 ,  卢多尔夫·格道

IPC: H01J41/06

CPC classification number: G01L21/34 ,  H01J41/06

Abstract: 本发明涉及一种冷阴极压力传感器(10)，其包括：气密壳体(12)；测试气体入口(18)；设置在所述壳体(12)中的阳极(14)和阴极(16、17)；以及朝向所述阴极(16、17)以触发冷阴极放电的辐射源(20)。所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成。所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过制成所述壳体的玻璃照射所述阴极(16、17)。来自所述辐射源(20)的射线的波长大体上处于从大于350nm到小于1400nm的范围内。

公开(公告)号：CN101110335B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200610099424.3

申请日：2006-07-18

Applicant: 日特机械工程株式会社

Inventor： 山田哲弘

IPC: H01J41/06

Abstract: 本发明提供一种锭翼式线圈绕线机，具有：用于夹持铁芯(20)的夹头(12)；具有把线材(35)送出的管嘴(34)的锭翼(23)；把线材(35)熔接到形成在铁芯(20)侧面的端子(20C、20D)上的熔接头(60)。将夹头(12)和锭翼(23)配置在铁芯(20)的一侧，使熔接头(60)与夹头(12)及锭翼(23)相对地配置在铁芯(20)的另一侧，从而在绕线作业和熔接作业时，可以避免锭翼(23)与熔接头(60)的干涉。

公开(公告)号：CN101133308A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200680007086.4

申请日：2006-03-01

Applicant: 英飞康有限责任公司

Inventor： W·克纳普 ,  M·沃斯特

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J41/00 ,  H01J41/02 ,  H01J41/04 ,  H01J41/06 ,  H01J41/08 ,  H01J41/10 ,  H01J19/00 ,  H01J19/02 ,  H01J19/04 ,  H01J19/10

CPC classification number: G01L21/32 ,  G01L21/12 ,  H01J1/3042 ,  H01J41/04

Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

公开(公告)号：CN114364960B

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN201980100548.4

申请日：2019-09-20

Applicant: 英福康有限公司

Inventor： S·凯瑟尔 ,  B·安德烈奥斯

IPC: G01L21/34 ,  H01J41/06 ,  H01J27/14

Abstract: 真空密封的电气馈通装置（10），包括：‑电绝缘的绝缘体元件（2），所述绝缘体元件具有通孔（23），具有与所述通孔邻接的第一边界面（21）并且具有同样与所述通孔邻接的、与所述第一边界面相对的第二边界面（22），和‑导电的导体元件（1），所述导体元件延伸穿过所述通孔（23）并且所述导体元件沿着所述导体元件（1）的周边线以真空密封的方式与所述绝缘体元件（2）连接，其中所述绝缘体元件（2）对于光学波长范围中的电磁辐射（25）是可透射的，以及其中所述第一（21）和/或所述第二（22）边界面构成为曲面，尤其构成为凸形或凹形面。此外，本发明涉及一种具有真空密封的电气馈通装置的真空压力传感器和一种用于测量电磁辐射的辐射强度的方法。

公开(公告)号：CN114424039A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN201980100546.5

申请日：2019-09-20

Applicant: 英福康有限公司

Inventor： C·斯特里策尔 ,  U·瓦奇利 ,  S·凯瑟尔 ,  C·里施 ,  B·安德烈奥斯 ,  M·维德尔

IPC: G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J41/06

Abstract: 一种用于确定真空系统中的压力的方法，其中所述方法包括以下步骤：a）在样品室中产生（101）等离子体，所述样品室与所述真空系统流体动态连接并且与第一电极和第二电极电接触；b）测量（102）在所述第一电极和所述第二电极之间流过所述等离子体的电流的电流强度；c）测量（103）从所述等离子体发射的第一波长范围的电磁辐射的第一辐射强度，其中所述第一波长范围包含第一化学元素的第一等离子体物质的至少一个第一发射线；d）测量（104）从所述等离子体发射的第二波长范围的电磁辐射的第二辐射强度，其中所述第二波长范围包含所述第一化学元素的第一等离子体物质的第二发射线或所述第一化学元素的第二等离子体物质的第二发射线，以及其中所述第二发射线位于所述第一波长范围外；以及e）根据所测量的电流强度、所测量的第一辐射强度和所测量的第二辐射强度确定（105）所述真空系统中的压力。

公开(公告)号：CN110192265B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201780083316.3

申请日：2017-12-07

Applicant: 万机仪器公司

Inventor： G·A·布鲁克 ,  T·C·斯文尼

IPC: H01J41/06

Abstract: 一种冷阴极电离计(CCIG)包括延伸的阳极、沿着所述阳极的一段围绕所述阳极的阴极以及支承所述阳极的馈通绝缘体。所述阴极在所述阳极周围形成放电空间，使得能够在所述阳极与所述阴极之间形成等离子体以及所产生的流入所述阴极的离子电流。所述CCIG还包括磁体，所述磁体施加贯穿所述放电空间的磁场，以延长自由电子路径来维持所述等离子体。屏蔽件与所述绝缘体电隔离并且将所述绝缘体屏蔽以免受所述等离子体的电子的影响。所述屏蔽件可以安装至所述阴极并且围绕所述阳极并与所述阳极隔开。电控制器在所述阳极与所述阴极之间施加电压以在所述阳极与所述阴极之间利用等离子体放电产生电离，所述控制器基于测得的流向所述阴极的离子电流来确定压力。

公开(公告)号：CN109075010B

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN201780027137.8

申请日：2017-04-27

Applicant: 万机仪器公司

Inventor： T·C·斯文尼 ,  C·L·珀西 ,  D·W·马里昂 ,  B·J·凯利

IPC: H01J41/06 ,  G01L21/34

Abstract: 冷阴极电离真空计和测量压力的方法。一种冷阴极电离真空计包括多个阴极，在所述多个阴极与阳极之间具有不同间距。所述多个阴极允许在较宽的压力范围内的压力测量。具有较大的间距的第一阴极可以根据汤森放电来提供电流；而具有较小的间距的第二阴极可以根据在较高的压力下的汤森放电以及在更高的压力下的帕邢定律放电这两者来提供电流。在第二阴极上的特征构造可以支持帕邢定律放电。阴极和电源的回程之间的大电阻使得能够控制输出曲线以扩大具有精确响应的压力范围并且避免输出最小值。可以基于来自各个阴极的电流根据贯穿宽压力测量范围的阴极的输出来获得压力测量值。所述多个阴极亦可提供避免在各个阴极的电流输出中发现的中断处的测量值。