Method of removing a sacrificial portion of a functional micro device by etching with xenon difluoride

    公开(公告)号:GB2391384A

    公开(公告)日:2004-02-04

    申请号:GB0217172

    申请日:2002-07-24

    Abstract: A method of removing a sacrificial portion of a functional micro device involves forming a functional film (23) on a silicon wafer (20), forming a protective layer (25) on the functional film (23), etching the functional film (23) to open a portion of the silicon wafer (20), and etching the silicon wafer (20) by introducing XeF2 gas sublimed from a solid state into the opened portion of the silicon wafer (20). The protective film (25) may be silicon dioxide, photoresist or metal. The functional film (23) may be a micro acceleration sensor, a micro infrared sensor, a micro optical sensor or a micro-piezoelectric cantilever. When used as a piezoelectric film, the PZT film (23) may be sandwiched between a lower electrode (22) of Ti and Pt and an upper electrode (24) of Pt.

    Dispositif d'interface de récupération d’énergie, système et procédé

    公开(公告)号:FR3090241A1

    公开(公告)日:2020-06-19

    申请号:FR1872922

    申请日:2018-12-14

    Abstract: Dispositif d'interface de récupération d’énergie, système et procédé L'invention se rapporte à une interface 100 de récupération d'énergie multi-entrées, système et procédé. L'interface comprend un interrupteur 5 commun commandé en largeur d'impulsion, et plusieurs circuits de conversion d’énergie, comprenant chacun un élément magnétique 7 connecté en entrée et en sortie. Chaque élément magnétique se magnétise en phase fermée, par un courant d'entrée traversant une diode de découplage 8 et est bloqué en sortie par une diode roue-libre 9 ; et se démagnétise en phase ouverte, pour alimenter la sortie, par un courant de sortie qui traverse la diode roue-libre 9 et est bloqué en entrée par la diode de découplage 8. Les différentes voies sont ainsi indépendantes et présentent des inductances différentes optimisées chacune en fonction de la source utilisée. La commande est réalisée de préférence pour obtenir un régime de conduction discontinue, fournissant ainsi une indépendance entre les impédances d'entrée et les paramètres électriques extérieurs. Figure pour l’abrégé : Fig.1

    PROCEDE DE PILOTAGE D'UNE ALIMENTATION ELECTRIQUE AUTONOME PAR TRANSDUCTEUR PIEZOELECTRIQUE, CIRCUIT D'ALIMENTATION ET DISPOSITIF AINSI ALIMENTE

    公开(公告)号:FR3072830A1

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:FR1759869

    申请日:2017-10-19

    Abstract: L'invention propose un procédé de pilotage d'un circuit de récolte d'énergie électrique produite par un transducteur piézoélectrique (11), formant un résonateur piézoélectrique sous l'effet de vibrations issues d'une source d'excitation mécanique. Ce circuit produit une tension de sortie (Vout) continue par l'intermédiaire d'un convertisseur DC-DC (123) fonctionnant par PWM, qui est piloté par un signal (S148) commandant son rapport de cycle avec une valeur actuelle (Δn). Ce procédé comprend: un processus d'estimation (51, 52) incluant les opérations suivantes, pendant le fonctionnement du circuit de récolte : - détection du signal de tension piézo (Vp), - évaluation (512) de l'amplitude d'une harmonique dudit signal piézo, d'un rang au moins un, et par exemple de rang trois, - estimation (526) d'une nouvelle résistance équivalente (Rn + 1) à produire par le convertisseur, et d'un nouveau rapport de cycle (Δn+1) à commander pour le convertisseur ; un processus (53) d'adaptation d'impédance par application au convertisseur d'un nouveau signal de consigne pour commander le nouveau rapport de cycle et produire la nouvelle résistance ; un processus de fonctionnement nominal (54), avec une valeur (Δn+1) constante du signal de pilotage du convertisseur.

    METHOD FOR PROVIDING AND RECOGNIZING TRANSMISSION MODE IN DIGITAL BROADCASTING

    公开(公告)号:CA2818930C

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CA2818930

    申请日:2011-01-18

    Abstract: The present invention relates to a method for selecting an appropriate mode when performing a new broadcast, such as a 3D stereo broadcast, a UHDTV broadcast, and a multi-view broadcast, among others, while maintaining compatibility with existing broadcasting channels in an MPEG-2-TS format for transmitting and receiving digital TV, and to a method for recognizing a descriptor. To this end, the present invention suggests providing the descriptor which is related to synthesizing left and right images using the type of stream, existence of the descriptor, and a frame-compatible mode flag.

    METODO Y APARATO DE CODEC DE DATOS PARA RADIODIFUSION DE TRES DIMENSIONES.

    公开(公告)号:MX2012011322A

    公开(公告)日:2013-01-29

    申请号:MX2012011322

    申请日:2010-11-26

    Abstract: La presente invención se refiere a un método de modulación de datos y un sistema de modulación para la radiodifusión 3D, y de manera más específica, se refiere a un método y sistema capaz de soportar el servicio de radiodifusión convencional 20 mientras se proporciona un servicio de radiodifusión 3D. El método de servicio de radiodifusión de tres dimensiones de acuerdo con la presente invención comprende las etapas de: generar un encabezado que comprende la información sobre si los datos 3D están presentes y los tipos de códec de imagen izquierda e imagen derecha, y un cuadro de datos que comprende una franja de imagen derecha y una franja de imagen izquierda; y transmitir el cuadro de datos generados de este modo.

    Multilayered helical antenna for mobile telecommunication units.

    公开(公告)号:HK1026072A1

    公开(公告)日:2000-12-01

    申请号:HK00105266

    申请日:2000-08-22

    Abstract: A multilayered helical antenna for mobile communication units includes a first dielectric sheet, a plurality of second dielectric sheets, a plurality of second and third dielectric sheets. All of the second dielectric sheets, except one, have a starting hole and an ending hole, with the exception having the starting hole only. Each of the second dielectric sheet is provided with a partially opened circular metallic pattern. Each of the third dielectric sheets has a via hole. Each of the dielectric sheets has a through-hole at a center thereof in order to allow a whip antenna to be slid upward and downward along a center axis of a helical antenna which is formed by stacking the dielectric sheets in a predetermined order. The via holes are filled with the same conducting material as the partially opened circular metallic patterns to thereby vertically connect the partially opened circular metallic patterns on the second dielectric sheets through the corresponding starting holes and ending holes, thereby forming a spiral capable of transmitting and receiving horizontal and vertical polarizations.

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