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公开(公告)号：KR101511089B1
公开(公告)日：2015-04-10
申请号：KR1020130085825
申请日：2013-07-22
Applicant: (주)펨트론
IPC: G06T7/00 , G01N21/956 , G06K9/00
Abstract: 본발명은 AOI 장비의티칭데이터자동생성방법에관한것으로서, (a) 인쇄회로기판의 2차원영상이촬영되어상기인쇄회로기판의전체맵 영상이생성되는단계와; (b) 상기맵 영상에서검사대상영역이설정되는단계와; (c) 상기인쇄회로기판의 2차원영상및 3차원영상이촬영되어, 부품의색상정보및 패턴정보를포함하는상기인쇄회로기판의 2차원정보와부품의높이정보및 사이즈정보를포함하는상기인쇄회로기판의 3차원정보가추출되는단계와; (d) 상기인쇄회로기판의상기 2차원정보와상기 3차원정보에기초하여상기검사대상영역이기판영역과부품영역으로구분하는단계와; (e) 상기부품영역에속한부품에대한부품별 2차원정보와부품별 3차원정보가추출되는단계와; (f) 상기부품별 2차원정보및 상기부품별 3차원정보를이용하여, 기등록된부품티칭라이브러리에서유사부품을검색하는단계와; (g) 상기 (f) 단계에서유사부품이검색된경우, 해당유사부품의티칭데이터를해당부품의티칭데이터로등록하는단계를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 인쇄회로기판의 2차원영상및 3차원영상에서추출된 2차원정보와 3차원정보를이용하여부품영역과기판영역이자동으로분리되어제공됨으로써, 부품의누락을방지하고티칭작업에소요되는시간을현저히줄일수 있게된다.
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公开(公告)号：KR101490359B1
公开(公告)日：2015-02-06
申请号：KR1020130056216
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 표면 형상 측정 장치에 관한 것으로서, 제1 방향으로 격자 패턴이 형성된 복수의 제1 격자부와, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 격자 패턴이 형성된 복수의 제2 격자부가 마련된 격자 플레이트와; 상기 복수의 제1 격자부가 기 설정된 피치 단위로 이동하도록 상기 격자 플레이트를 상기 제1 방향으로 이동시키는 제1 플레이트 이동 유닛과; 상기 복수의 제2 격자부가 기 설정된 피치 단위로 이동하도록 상기 격자 플레이트를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 플레이트 이동 유닛과; 상기 각각의 제1 격자부 및 상기 각각의 제2 격자부로 광을 조사하는 복수의 광원과; 상기 각 광원으로부터 조사되어 상기 각각의 제1 격자부 및 상기 각각의 제2 격자부를 투과하여 측정 대상물로부터 반사된 격자광을 촬상하는 촬상부와; 상기 촬상부에 의해 촬상된 영상에 기초하여 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 격자마다 이동유닛을 별도로 두는데 따른 제조 비용 및 제품 사이즈 증가의 문제점을 해소하면서도 검사 속도를 종래의 표면 형상 측정 장치에 비해 증가시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150011068A
公开(公告)日：2015-01-30
申请号：KR1020130085825
申请日：2013-07-22
Applicant: (주)펨트론
IPC: G06T7/00 , G01N21/956 , G06K9/00
CPC classification number: G06T7/0004 , G06F17/30259 , G06T2207/30141
Abstract: 본 발명은 AOI 장비의 티칭 데이터 자동 생성 방법에 관한 것으로서, (a) 인쇄회로기판의 2차원 영상이 촬영되어 상기 인쇄회로기판의 전체 맵 영상이 생성되는 단계와; (b) 상기 맵 영상에서 검사 대상 영역이 설정되는 단계와; (c) 상기 인쇄회로기판의 2차원 영상 및 3차원 영상이 촬영되어 상기 인쇄회로기판의 2차원 정보 및 3차원 정보가 추출되는 단계와; (d) 상기 인쇄회로기판의 상기 2차원 정보와 상기 3차원 정보에 기초하여 상기 검사 대상 영역이 기판 영역과 부품 영역으로 구분하는 단계와; (e) 상기 부품 영역에 속한 부품에 대한 부품별 2차원 정보와 부품별 3차원 정보가 추출되는 단계와; (f) 상기 부품별 2차원 정보 및 상기 부품별 3차원 정보를 이용하여, 기 등록된 부품 티칭 라이브러리에서 유사 부품을 검색하는 단계와; (g) 상기 (f) 단계에서 유사 부품이 검색된 경우, 해당 유사 부품의 티칭 데이터를 해당 부품의 티칭 데이터로 등록하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 인쇄회로기판의 2차원 영상 및 3차원 영상에서 추출된 2차원 정보와 3차원 정보를 이용하여 부품 영역과 기판 영역이 자동으로 분리되어 제공됨으로써, 부품의 누락을 방지하고 티칭 작업에 소요되는 시간을 현저히 줄일 수 있게 된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种生成自动光学检测（AOI）装置的教学数据的方法。 该方法包括以下步骤：（a）通过拍摄印刷电路板的二维（2D）图像来生成印刷电路板的整个地图图像; （b）在地图图像中设定要检查的目标区域; （c）通过采用印刷电路板的2D和3D图像来提取印刷电路板的2D信息和三维（3D）信息; （d）基于印刷电路板的2D信息和3D信息，将目标区域划分为基板区域和分量区域; （e）提取关于属于所述组件区域的每个组件的2D和3D信息; （f）使用每个组件的2D和3D信息搜索先前注册的组件教学库中的类似组件; 以及（g）在步骤（f）中搜索相关组件时，将相关类似组件的教学数据登记为相关组件的教学数据。 因此，通过使用从印刷电路板的2D和3D图像提取的2D信息和3D信息，分量区域和基板区域彼此自动分离并提供，从而防止部件被省略并显着缩短时间 在教学工作中需要。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140136549A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020130056216
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: The present invention relates to an apparatus for measuring a surface profile which comprises: a lattice plate equipped with a plurality of first lattice parts wherein lattice pattern is formed in a first direction, and a plurality of second lattice parts wherein lattice pattern is formed in a second direction which is perpendicular to the first direction; a first plate moving unit which moves the lattice plate in the first direction so that the multiple first lattice parts are moved by a preset pitch unit; a second plate moving unit which moves the lattice plate in the second direction so that the multiple second lattice parts are moved by a preset pitch unit; multiple light sources which radiate light to each of the first lattice parts and each of the second lattice parts; a photographing unit photographing lattice-shaped light which is reflected by an object to be measured by penetrating each of the first lattice parts and each of the second lattice parts as radiated from each light source; and a control unit measuring a surface profile of the object to be measured based on the image photographed by the photographing unit. Accordingly, problems regarding manufacture costs caused by additionally having a moving unit per lattice and increased size of a product are alleviated, and testing speed can also be increased in comparison with the existing apparatus for measuring a surface profile.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量表面轮廓的装置，其特征在于，包括：格子板，其配备有多个第一格子部分，其中在第一方向上形成格子图案;以及多个第二格子部分，其中格子图案形成在 垂直于第一方向的第二方向; 第一板移动单元，其使所述格子板沿所述第一方向移动，使得所述多个第一格子部分以预设的间距单位移动; 第二板移动单元，其使格栅板沿第二方向移动，使得多个第二格子部分以预设的间距单位移动; 多个光源向每个第一格子部分和每个第二格子部分辐射光; 拍摄单元拍摄通过穿透从每个光源照射的每个第一格子部分和每个第二格子部分被待测物体反射的格子状光; 以及控制单元，其基于由拍摄单元拍摄的图像来测量被测量物体的表面轮廓。 因此，与现有的用于测量表面轮廓的装置相比，减少了由每个格子额外具有移动单元和增加的产品尺寸引起的制造成本的问题，并且也可以提高测试速度。
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公开(公告)号：KR101361616B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020120037870
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치 및 진공밸브부의 제어방법에 관한 것이며, 상세하게는 단일의 밸브 구조를 통해 챔버 내부 압력이 진공압력이 되도록 챔버 내부로 제 1 또는 제 2 진공압력을 제공하는 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치 및 진공밸브부의 제어방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치는 기초프레임에 설치된 챔버; 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버로 제 1 진공압력을 제공하는 제 1 펌프유닛과, 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버로 제 2 진공압력을 제공하는 제 2 펌프유닛이 구비된 진공발생부; 및 상기 챔버와 상기 진공발생부 사이에 연결되며, 상기 진공발생부의 제 1 진공압력 또는 제 2 진공압력을 선택적으로 상기 챔버로 제공하는 진공밸브부를 포함하고, 상기 진공밸브부는 상부가 폐쇄된 형상을 가지며 하부가 상기 제 2 펌프유닛에 연결된 구조를 가지며, 상기 제 1 펌프유닛과 연결되는 제 1 유입구와, 상기 제 1 유입구의 상부에 위치되고 상기 2 펌프유닛과 연결되는 제 2 유입구와, 상기 제 1 유입구의 하부에 위치되고 상기 챔버와 연결되는 하우징배출구가 구비된 실린더하우징; 및 상기 실린더하우징의 내부에 설치되어, 상기 실린더하우징 내부를 왕복운동하는 피스톤유닛을 구비하고, 상기 제 1 유입구, 상기 제 2 유입구, 또는 상기 하우징배출구는 상기 피스톤유닛에 의해 개폐되는 것이 바람직하다.-
公开(公告)号：KR101327356B1
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：KR1020120034693
申请日：2012-04-04
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 듀얼 레인 검사 장치에 관한 것으로, 베이스 플레이트와, 제1 방향으로 인입되는 검사 대상물이 상기 제1 방향으로 이송되도록 상기 제1 방향을 따라 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인입부, 제1 검사부 및 제1 인출부를 갖는 제1 검사 레일부와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 검사 레일부에 대향하게 이격 배치되고, 상기 제1 방향으로 인입되는 검사 대상물이 상기 제1 방향으로 이송되도록 상기 제1 방향을 따라 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제2 검사 레일부를 포함하고; 상기 제1 인입부는 상기 제2 방향으로 상호 대향하게 이격 설치되며, 상기 제2 방향으로 상호 독립적으로 이동 가능하게 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인입 레일 프레임 및 제2 인입 레일 프레임과, 상기 제1 인입 레일 프레임 및 상기 제2 인입 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 각각 이동시키는 제1 인입 구동부 및 제2 인입 구동부를 포함하고; 상기 제1 검사부는 상기 베이스 플레이트에 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 설치되는 검사 플레이트와, 상기 검사 플레이트에 고정 설치되는 제1 검사 레일 프레임과, 상기 제2 방향으로 상기 제1 검사 레일 프레임에 대향하게 설치되고, 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 상기 검사 플레이트에 설치되는 제2 검사 레일 프레임과, 상기 검사 플레이트를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 검사 구동부와, 상기 제2 검사 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 검사 구동부를 포함하며; 상기 제1 인출부는 상기 제2 방향으로 각각 독립적으로 상호 접근 및 이격 가능하게 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인출 레일 프레임 및 제2 인출 레일 프레임과, 상기 제1 인출 레일 프레임 및 상기 제2 인출 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 각각 이동시키는 제1 인출 구동부 및 제2 인출 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100810722B1
公开(公告)日：2008-03-07
申请号：KR1020070032742
申请日：2007-04-03
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/24
Abstract: An apparatus for measuring a surface profile and a control method thereof are provided to apply a field of view having different resolution depending on the size and disposition of electronic parts and soldering parts. An apparatus for measuring a surface profile includes a photographing part(20), and a controller(50). The photographing part includes a CCD camera(21), a condensing lens(22), a first actuator(23), and a second actuator(24). The condensing lens is disposed between an object to be measured and the CCD camera. The first actuator moves the CCD camera to adjust the distance between the CCD camera and the object. The second actuator moves the condensing lens to adjust the distance between the condensing lens and the CCD camera. The controller controls the first actuator and the second actuator to adjust the distances to vary resolution of a field of view.
Abstract translation: 提供一种用于测量表面轮廓的装置及其控制方法，以根据电子部件和焊接部件的尺寸和布置应用具有不同分辨率的视场。 用于测量表面轮廓的装置包括拍摄部分（20）和控制器（50）。 拍摄部分包括CCD照相机（21），聚光透镜（22），第一致动器（23）和第二致动器（24）。 聚光透镜设置在待测物体和CCD相机之间。 第一个执行器移动CCD摄像机来调整CCD摄像机和物体之间的距离。 第二个执行器移动聚光透镜来调节聚光透镜和CCD相机之间的距离。 控制器控制第一致动器和第二致动器以调整距离以改变视野的分辨率。
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公开(公告)号：KR100699317B1
公开(公告)日：2007-03-23
申请号：KR1020050008523
申请日：2005-01-31
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 기준 미러와, 상기 광원으로부터의 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 다 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 다 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 다 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 다 파장 범위 내의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
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