公开(公告)号：KR101413683B1

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：KR1020120097121

申请日：2012-09-03

Applicant: (주)펨트론

Inventor： 조철훈 ,  유길연 ,  안태원 ,  백양선

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 모드 전환 전자빔 조사장치는 내부에 시료가 안착되는 공간이 마련되고, 공간과 연통되는 구조를 가진 컬럼이 설치된 챔버; 챔버의 공간과 연통가능하게 챔버의 일측에 설치된 밸브본체와, 밸브본체의 내부에 설치된 개폐밸브가 구비된 밸브부; 제 2 공기관에 의해 밸브본체에 연결되어, 챔버의 내부압력이 고진공압력이 되도록 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 1 펌프; 제 3 공기관에 의해 밸브본체에 연결되고 제 4 공기관에 의해 제 1 펌프에 연결되어, 챔버의 내부압력이 저진공압력이 되도록 챔버 내부의 공기를 흡입하는 제 2 펌프; 및 밸브본체와 컬럼을 연결하는 제 1 공기관, 제 2 공기관, 제 3 공기관과, 제 1 펌프와 제 2 펌프를 연결하는 제 4 공기관이 구비된 관부를 포함하고, 개폐밸브는 제 1 펌프와 제 2 펌프의 작동시, 제 3 공기관을 폐쇄하고 제 2 공기관을 개방토록 작동되어, 챔버와 컬럼 내의 공기가 제 2 공기관을 경유하여 제 1 펌프로 흡입된 후 제 4 공기관을 경유하여 제 2 펌프로 흡입되는 제 1 흐름경로를 따라 유동되도록 하고, 제 2 펌프의 작동시, 제 3 공기관을 개방하고 제 2 공기관을 폐쇄토록 작동되어, 챔버 내의 공기가 제 3 공기관을 경유하여 제 2 펌프로 흡입되는 제 2 흐름경로를 따라 유동되도록 하는 것이 바람직하다.

公开(公告)号：KR1020110120684A

公开(公告)日：2011-11-04

申请号：KR1020100040210

申请日：2010-04-29

Applicant: (주)펨트론

Inventor： 김영대 ,  유길연 ,  안태원

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/302

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/28

Abstract: PURPOSE: A scanning electron microscope and a control method thereof are provided to eliminate noise by focusing electronics which is accelerated by an electron gun module to a sample. CONSTITUTION: An electron gun module(10) accelerates electronics. The electron gun module is arranged on the upper side of the inside of housing. An electromagnetic lens module(20) focuses the electronics which is accelerated by the electron gun module to a sample. A detector module(30) detects a secondary electron which is generated from the sample. A controller(40) successively gets measurement data. The controller controls the electron gun module, the electromagnetic lens module, and the detector module and creates a measurement image about the sample.

Abstract translation: 目的：提供扫描电子显微镜及其控制方法以通过将由电子枪模块加速的电子器件聚焦到样品来消除噪声。 构成：电子枪模块（10）加速电子学。 电子枪模块设置在壳体内侧的上侧。 电磁透镜模块（20）将由电子枪模块加速的电子器件聚焦到样品上。 检测器模块（30）检测从样品产生的二次电子。 控制器（40）连续获得测量数据。 控制器控制电子枪模块，电磁透镜模块和检测器模块，并创建关于样品的测量图像。

公开(公告)号：KR1020130115516A

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：KR1020120037870

申请日：2012-04-12

Applicant: (주)펨트론

Inventor： 조철훈 ,  유길연 ,  김재순 ,  안태원

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  F16K31/1225 ,  F16K51/02 ,  G01N23/2251

Abstract: PURPOSE: An electron beam irradiator having a vacuum valve and a method for controlling the vacuum valve are provided to simplify the structure of a vacuum generation part by providing a first and a second vacuum pressure to a chamber through a single valve structure. CONSTITUTION: A chamber (120) is installed on a base frame (110). A vacuum generation part (130) is connected to the chamber. The vacuum generation part provides a first vacuum pressure or a second vacuum pressure to the chamber. A vacuum valve part (140) is connected between the chamber and the vacuum generation part. The vacuum valve part selectively provides the first vacuum pressure or the second vacuum pressure to the chamber.

Abstract translation: 目的：提供具有真空阀的电子束照射器和用于控制真空阀的方法，以通过单个阀结构向腔室提供第一和第二真空压力来简化真空产生部件的结构。 构成：室（120）安装在基架（110）上。 真空产生部分（130）连接到腔室。 真空产生部分向腔室提供第一真空压力或第二真空压力。 真空阀部分（140）连接在腔室和真空产生部件之间。 真空阀部件选择性地向腔室提供第一真空压力或第二真空压力。

公开(公告)号：KR1020110121004A

公开(公告)日：2011-11-07

申请号：KR1020100040395

申请日：2010-04-30

Applicant: (주)펨트론

Inventor： 김영대 ,  유길연 ,  안태원

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/248 ,  H01J37/24

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/242 ,  H01J37/248

Abstract: PURPOSE: The electron gun power supply device of a scanning electron microscope is provided to prevent the dereliction of a current by secluding power source inflow to a filament according to the operation of a protection circuit. CONSTITUTION: An electron gun power supply device is floated in the secondary side of a filament and bias. A current leakage protection circuit(Q6) secludes a voltage input to the primary side of a transformer. A zener diode(D8) senses whether high voltage is generated in the secondary side of the transformer or not. A relay(K1) is switched according to the operation of the zener diode. The transformer diminishes distributed capacity between windings.

Abstract translation: 目的：提供扫描电子显微镜的电子枪供电装置，以防止根据保护电路的工作，将电源流入灯丝的电源淹没。 构成：电子枪电源装置漂浮在灯丝的二次侧和偏压。 电流泄漏保护电路（Q6）将输入到变压器的初级侧的电压分开。 齐纳二极管（D8）感测在变压器次级侧是否产生高电压。 继电器（K1）根据齐纳二极管的工作进行切换。 变压器减小绕组间的分配容量。

公开(公告)号：KR1020140032026A

公开(公告)日：2014-03-14

申请号：KR1020120097121

申请日：2012-09-03

Applicant: (주)펨트론

Inventor： 조철훈 ,  유길연 ,  안태원 ,  백양선

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22

Abstract: An electron beam irradiator for transferring a vacuum mode according to an embodiment of the present invention includes: a chamber having a space in where a sample is mounted and in which a column with a structure that is in communication with the space is installed; a first pump connected to the chamber to suck air in the chamber until the internal pressure in the chamber becomes high vacuum pressure; a second pump connected to the chamber and the first pump to suck air therein until the internal pressure therein becomes low vacuum pressure; and a valve part installed in the chamber and connected to the first pump and the second pump to open and close a first flow path for the air from the chamber to the first pump and a second flow path for the air from the chamber to the second pump.

Abstract translation: 根据本发明的实施例的用于传送真空模式的电子束照射器包括：具有安装样本的空间的腔室，并且其中安装有与该空间连通的结构的列; 连接到所述室以吸入所述室中的空气的第一泵直到所述室中的内部压力变得高真空压力; 连接到所述室的第二泵和所述第一泵以吸入其中的空气，直到其内部压力变得低真空压力; 以及阀部件，其安装在所述腔室中并且连接到所述第一泵和所述第二泵，以打开和关闭用于空气从所述腔室到所述第一泵的第一流路和用于从所述腔室到所述第二泵的空气的第二流动路径 泵。

公开(公告)号：KR101361616B1

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：KR1020120037870

申请日：2012-04-12

Applicant: (주)펨트론

Inventor： 조철훈 ,  유길연 ,  김재순 ,  안태원

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치 및 진공밸브부의 제어방법에 관한 것이며, 상세하게는 단일의 밸브 구조를 통해 챔버 내부 압력이 진공압력이 되도록 챔버 내부로 제 1 또는 제 2 진공압력을 제공하는 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치 및 진공밸브부의 제어방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치는 기초프레임에 설치된 챔버; 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버로 제 1 진공압력을 제공하는 제 1 펌프유닛과, 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버로 제 2 진공압력을 제공하는 제 2 펌프유닛이 구비된 진공발생부; 및 상기 챔버와 상기 진공발생부 사이에 연결되며, 상기 진공발생부의 제 1 진공압력 또는 제 2 진공압력을 선택적으로 상기 챔버로 제공하는 진공밸브부를 포함하고, 상기 진공밸브부는 상부가 폐쇄된 형상을 가지며 하부가 상기 제 2 펌프유닛에 연결된 구조를 가지며, 상기 제 1 펌프유닛과 연결되는 제 1 유입구와, 상기 제 1 유입구의 상부에 위치되고 상기 2 펌프유닛과 연결되는 제 2 유입구와, 상기 제 1 유입구의 하부에 위치되고 상기 챔버와 연결되는 하우징배출구가 구비된 실린더하우징; 및 상기 실린더하우징의 내부에 설치되어, 상기 실린더하우징 내부를 왕복운동하는 피스톤유닛을 구비하고, 상기 제 1 유입구, 상기 제 2 유입구, 또는 상기 하우징배출구는 상기 피스톤유닛에 의해 개폐되는 것이 바람직하다.