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公开(公告)号：CN105752573B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201610002534.7
申请日：2016-01-06
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/137
CPC classification number: B65G1/137 , B65G1/0435 , B65G2207/40 , H01L21/67389 , H01L21/67769
Abstract: 在借助搬送控制装置选择性地执行的多个搬送控制中有第2搬送控制，第2搬送控制将第1物品搬送装置和第2物品搬送装置中的被选择的一个作为对象物品搬送装置，对象物品搬送装置是第1物品搬送装置时使对象物品搬送装置仅在第1路径部分上移动来搬送物品，对象物品搬送装置是第2物品搬送装置时使对象物品搬送装置仅在第2路径部分上移动来搬送物品。物品保管设备具备能自由地切换到设置状态和避让状态的间隔件，在前述设置状态下，间隔件被设置于路径边界部位将前述第1路径部分和前述第2路径部分截断，路径边界部位是移动路径的第1路径部分和第2路径部分的边界部位，在避让状态下，使前述间隔件从路径边界部位避让将该路径边界部位敞开。
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公开(公告)号：CN104253076B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201410287316.3
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明实现一种保管设备，能够以简单的构成，抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。保管设备包括：在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置；向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。保管装置包括气体排出部，将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部。气体排出部包括作为限制气体的流量的节流部起作用的节流开口部，节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107055019A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710073743.5
申请日：2017-02-10
Applicant: 株式会社大福
Abstract: 控制装置以借助第一检测部检测到物品搬运车在第一路径（R1）上行进并进入管理区域（T3）且借助第二检测部（55A）或第三检测部（55B）检测到在选择路径（R2）上存在其他物品搬运车为条件，来执行停止控制，控制装置以借助第一检测部检测到物品搬运车在第一路径（R1）上行进并进入管理区域（T3）且借助第二检测部（55A）或第三检测部（55B）未检测到选择路径（R2）上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行行进控制。
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公开(公告)号：CN103171854B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210563965.2
申请日：2012-12-24
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/137
CPC classification number: H01L21/67769 , A47F10/00 , H01L21/67393
Abstract: 本发明的物品保管设备具备：收纳基板的运送容器的多个收纳部，和向多个收纳部供给惰性气体的惰性气体供给路径。多个收纳部被区分成多个区域。惰性气体供给路径具备：向区域供给惰性气体的区域用供给部分，和将由区域用供给部分供给到区域的惰性气体向该区域中的多个收纳部分支供给的收纳部用供给部分。在物品保管设备上设有：使两个以上的收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。
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公开(公告)号：CN105752573A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610002534.7
申请日：2016-01-06
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/137
CPC classification number: B65G1/137 , B65G1/0435 , B65G2207/40 , H01L21/67389 , H01L21/67769 , B65G1/1373
Abstract: 在借助搬送控制装置选择性地执行的多个搬送控制中有第2搬送控制，第2搬送控制将第1物品搬送装置和第2物品搬送装置中的被选择的一个作为对象物品搬送装置，对象物品搬送装置是第1物品搬送装置时使对象物品搬送装置仅在第1路径部分上移动来搬送物品，对象物品搬送装置是第2物品搬送装置时使对象物品搬送装置仅在第2路径部分上移动来搬送物品。物品保管设备具备能自由地切换到设置状态和避让状态的间隔件，在前述设置状态下，间隔件被设置于路径边界部位将前述第1路径部分和前述第2路径部分截断，路径边界部位是移动路径的第1路径部分和第2路径部分的边界部位，在避让状态下，使前述间隔件从路径边界部位避让将该路径边界部位敞开。
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公开(公告)号：CN104253076A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410287316.3
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
CPC classification number: F24F3/161 , H01L21/67017 , H01L21/67769
Abstract: 本发明实现一种保管设备，能够以简单的构成，抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。保管设备包括：在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置；向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。保管装置包括气体排出部，将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部。气体排出部包括作为限制气体的流量的节流部起作用的节流开口部，节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧。
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公开(公告)号：CN104249899A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410287739.5
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , B65G1/137 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67769 , B65G2201/0297 , H01L21/67389 , H01L21/67393 , Y10T137/6966
Abstract: 本发明提供一种物品保管设备，其结构简单，并且容易进行区域单位中设置的机器的维护作业。在多个区域用供给部分的每一个中设有第一切换阀，在多个收纳部用供给部分的每一个中设有第二切换阀，将多个泄放路径连接到惰性气体供给路径中的第一切换阀（69）设置位置的气体供给方向的下游且第二切换阀设置位置的气体供给方向的上游侧，在多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀。
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