-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112640054A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980054879.9
申请日：2019-07-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , B05D1/36 , B05D1/40 , B05D3/00 , H01L21/027 , H01L21/306
Abstract: 基板处理方法具有第一工序至第六工序。保持基板(第一工序)。开始利用相机进行拍摄，从而生成拍摄图像(第二工序)。开始从第一喷嘴向基板喷出处理液(第三工序)。停止从第一喷嘴喷出处理液，开始从第二喷嘴喷出处理液(第四工序)。基于针对拍摄图像的图像处理，求出从第二喷嘴喷出处理液的开始时刻与从第一喷嘴喷出处理液的停止时刻之间的时间差(第五工序)。在判定为时间差在规定范围外时，以使时间差处于规定范围内的方式调整开始时刻及停止时刻中的至少任一者(第六工序)。
-
公开(公告)号：CN112601617A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201980055179.1
申请日：2019-08-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: B05D3/00 , B05D1/40 , H01L21/027 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种可生成与吐出喷嘴的吐出状态相应的教师数据的教师数据生成方法。生成教师数据的方法，包括：保持步骤、处理液吐出步骤、摄像步骤及教师数据生成步骤。在保持步骤中，将基板大致水平地保持于基板保持机构。在处理液吐出步骤中，自吐出喷嘴向基板的主表面吐出处理液。在摄像步骤中，利用相机在包含处理液吐出步骤的至少一部分期间内，对以包含吐出喷嘴、及处理液吐出步骤中所吐出的处理液的至少一部分的方式被调整的摄像区域进行摄像，取得多个图像数据。在教师数据生成步骤中，针对多个图像数据中的至少一个，将与该图像数据中所映现的处理液吐出状态相应的标签赋予至该图像数据，生成教师数据。
-
公开(公告)号：CN111009477A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201910936715.0
申请日：2019-09-29
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种可对喷出至基板的端部的液柱状的处理液进行拍摄的基板处理方法及基板处理装置。基板处理方法包括：保持工序、旋转工序、上升工序、斜面处理工序、摄像工序以及监视工序。在上升工序中，使包围基板保持部的外周的杯状构件上升，并使杯状构件的上端位于较保持于基板保持部的基板的上表面而言更高的上端位置。在斜面处理工序中，自位于较上端位置而言更低的位置的喷嘴的喷出口向保持于基板保持部的基板的上表面的端部喷出处理液。在摄像工序中，使照相机对作为包含自喷嘴的喷出口喷出的处理液的摄像区域且自基板的上方的摄像位置看到的摄像区域进行拍摄，来取得摄像图像。在监视工序中，基于摄像图像判定处理液的喷出状态。
-
公开(公告)号：CN109872955A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201811470249.3
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种能够定量地判定干燥区域的状态是否正常的判定方法及基板处理装置。在执行干燥处理的装置中，判定干燥处理是否合格，所述干燥处理是在水平地保持着的基板(W)的上表面形成液膜，使被去除液膜的干燥区域逐渐扩大的处理。具体来说，首先，在干燥处理的执行过程中，利用摄像部(70)反复拍摄基板(W)的上表面。接着，基于通过拍摄而获取到的多个拍摄图像，判定干燥区域的状态是否正常。由此，能够基于多个拍摄图像，定量地判定干燥区域的状态是否正常。
-
公开(公告)号：CN109716170A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780057034.6
申请日：2017-06-15
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种检测非供给期间内有无液体落下的技术。在停止向一个以上的喷嘴中的对象喷嘴供给液体的非供给期间，进行将液体从该对象喷嘴的开口落下时的落下路径包含于拍摄视野中而进行拍摄的拍摄工序，以及使用拍摄工序中的拍摄结果来检测有无液体落下的检测工序。由此，能够在停止向对象喷嘴供给液体的非供给期间检测有无液体从该对象喷嘴落下。
-
-
-
-
Search Results
35
records
(took 0.036 seconds)
