Abstract:
The present invention relates to an apparatus for depositing an atomic layer. The apparatus can uniformly deposit the atomic layer on nanoparticles by generating turbulence. According to an embodiment of the present invention, the apparatus for depositing an atomic layer may include a chamber on which a plurality of fuzzy gas inlets, arranged on different horizontal locations, are formed; a pump which transfers fluid existing in the chamber; a water valve which is located between the chamber and the pump and can adjust a flux of the fluid; a flux adjusting part which adjusts influx time and the flux of fuzzy gas entering into the fuzzy gas inlets; and a controlling part which controls the pump, the valve, and the flux adjusting part.
Abstract:
The present invention relates to an apparatus for uniform atomic layer deposition (ALD) on powder using multi-directional and sequential supply of a source. According to an embodiment of the present invention, the apparatus may include: a reactor having a plurality of precursor supplying holes formed thereon; and a controlling part which controls the precursor supplying hole to be sequentially opened and closed.
Abstract:
PURPOSE: An apparatus for depositing a thin film atomic layer is provided to simplify a configuration by using one purge gas tank which supplies a purge gas. CONSTITUTION: A plurality of gas line connector modules (400) supply each source gas. The gas line connector modules are connected to a purge gas tank and a reaction chamber. The purge gas tank supplies a purge gas. A main moving pipe (410) moves to the reaction chamber. A source gas tank (430) generates the source gas.
Abstract:
본 발명은 원자층 박막 증착 장치에 관한 것으로, 소스 가스를 생성할 수 있는 복수 개의 가스 라인 커넥터 모듈과 퍼지 가스를 공급하는 하나의 퍼지 가스 탱크를 이용하여 소스 가스 및 퍼지 가스를 교대로 공급할 수 있도록 함으로써, 소스 가스 공급을 위한 별도의 전달 가스 관련 구성이 불필요하여 전체 구성을 단순화 소형화할 수 있고, 이에 따라 제조 설치가 용이하고 비용이 절감되며 유지 관리가 용이하고, 또한 동일한 형태의 복수 개 가스 라인 커넥터 모듈을 서로 직렬 또는 병렬 연결하여 사용할 수 있어 설치 작업이 매우 용이하고, 특정 소스 가스를 추가 공급하거나 제거하고자 하는 경우, 전체 설비에 대한 변경 없이 단순히 가스 라인 커넥터 모듈을 추가 연결하거나 제거하는 방식으로 용이하게 설치 변경할 수 있는 원자층 박막 증착 장치를 제공한다.