원자층 증착 장치
    31.
    发明公开
    원자층 증착 장치 有权
    原子层沉积装置

    公开(公告)号:KR1020140108096A

    公开(公告)日:2014-09-05

    申请号:KR1020130132081

    申请日:2013-11-01

    Abstract: The present invention relates to an apparatus for depositing an atomic layer. The apparatus can uniformly deposit the atomic layer on nanoparticles by generating turbulence. According to an embodiment of the present invention, the apparatus for depositing an atomic layer may include a chamber on which a plurality of fuzzy gas inlets, arranged on different horizontal locations, are formed; a pump which transfers fluid existing in the chamber; a water valve which is located between the chamber and the pump and can adjust a flux of the fluid; a flux adjusting part which adjusts influx time and the flux of fuzzy gas entering into the fuzzy gas inlets; and a controlling part which controls the pump, the valve, and the flux adjusting part.

    Abstract translation: 本发明涉及沉积原子层的装置。 该装置可以通过产生湍流将原子层均匀地沉积在纳米颗粒上。 根据本发明的一个实施例,用于沉积原子层的装置可以包括:在其上形成布置在不同水平位置上的多个模糊气体入口的腔室; 传送存在于腔室中的流体的泵; 位于腔室和泵之间并可调节流体通量的水阀; 调节进入模糊气体入口的模糊气体的流入时间和通量的通量调节部; 以及控制泵,阀和通量调节部的控制部。

    원자층 박막 증착 장치
    33.
    发明公开
    원자층 박막 증착 장치 有权
    原子层沉积系统

    公开(公告)号:KR1020130106674A

    公开(公告)日:2013-09-30

    申请号:KR1020120028399

    申请日:2012-03-20

    Inventor: 심준형

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for depositing a thin film atomic layer is provided to simplify a configuration by using one purge gas tank which supplies a purge gas. CONSTITUTION: A plurality of gas line connector modules (400) supply each source gas. The gas line connector modules are connected to a purge gas tank and a reaction chamber. The purge gas tank supplies a purge gas. A main moving pipe (410) moves to the reaction chamber. A source gas tank (430) generates the source gas.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于沉积薄膜原子层的装置,以通过使用一个提供净化气体的吹扫气罐简化配置。 构成:多个气体管线连接器模块(400)供应每个源气体。 气体管线连接器模块连接到吹扫气罐和反应室。 吹扫气罐提供净化气体。 主移动管(410)移动到反应室。 源气体罐(430)产生源气体。

    프로톤 전도성 산화물 연료전지 및 이의 제조방법
    38.
    发明公开
    프로톤 전도성 산화물 연료전지 및 이의 제조방법 有权
    原子陶瓷燃料电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150134873A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:KR1020140062250

    申请日:2014-05-23

    Abstract: 본발명은프로톤전도성산화물연료전지및 이의제조방법에관한것으로, 연료극지지체소재로저렴하고, 화학적안정성및 전자전도성이우수한이종물질을선정하고, 상기연료극지지체상에이온전도성및 전자전도성이우수한프로톤전도성산화물및 금속촉매를포함하는중간층을도입함으로써구성층간발생할수 있는계면결함을방지하여단전지의장기안정성을확보하고, 내부저항을감소시켜연료전지의성능을향상시킨다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种质子传导性氧化物燃料电池及其制造方法。 本发明的质子传导性氧化物燃料电池使用具有优异的化学稳定性和电子传导性以及作为阳极支撑体中使用的材料的成本效益的异种材料。 本发明的燃料电池还在阳极支撑体上形成由金属催化剂和质子传导性氧化物构成的中间层,其具有优异的离子和电子传导性,从而防止在所述层内发生的界面缺陷。 此外,燃料电池显示出端电池的长期稳定性,并通过降低内阻来提高燃料电池的性能。

    원자층 박막 증착 장치
    39.
    发明授权
    원자층 박막 증착 장치 有权
    原子层沉积系统

    公开(公告)号:KR101366385B1

    公开(公告)日:2014-02-25

    申请号:KR1020120028399

    申请日:2012-03-20

    Inventor: 심준형

    Abstract: 본 발명은 원자층 박막 증착 장치에 관한 것으로, 소스 가스를 생성할 수 있는 복수 개의 가스 라인 커넥터 모듈과 퍼지 가스를 공급하는 하나의 퍼지 가스 탱크를 이용하여 소스 가스 및 퍼지 가스를 교대로 공급할 수 있도록 함으로써, 소스 가스 공급을 위한 별도의 전달 가스 관련 구성이 불필요하여 전체 구성을 단순화 소형화할 수 있고, 이에 따라 제조 설치가 용이하고 비용이 절감되며 유지 관리가 용이하고, 또한 동일한 형태의 복수 개 가스 라인 커넥터 모듈을 서로 직렬 또는 병렬 연결하여 사용할 수 있어 설치 작업이 매우 용이하고, 특정 소스 가스를 추가 공급하거나 제거하고자 하는 경우, 전체 설비에 대한 변경 없이 단순히 가스 라인 커넥터 모듈을 추가 연결하거나 제거하는 방식으로 용이하게 설치 변경할 수 있는 원자층 박막 증착 장치를 제공한다.

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