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公开(公告)号：KR102234412B1
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：KR1020190098035A
申请日：2019-08-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: H01M4/8642 , H01M4/8621 , H01M4/9033 , H01M8/12 , Y02E60/50 , Y02P70/50
Abstract: 본 발명은 양극 재료를 포함하는 다공성의 양극 구조체; 및 상기 양극 구조체 외표면에 배치된 보호층; 을 포함하고, 상기 보호층은 아일랜드(island) 형태를 갖는 복수의 보호 입자를 포함하는 연료전지용 양극 및 이의 제조방법을 제공한다.
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公开(公告)号：WO2016186299A1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：PCT/KR2016/001938
申请日：2016-02-26
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/48
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/04 , C23C16/047 , C23C16/4408 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/46
Abstract: 본 발명은, 소스 가스 및 퍼지 가스를 공급하여 기판 표면에 원자층 박막을 증착시키는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치에 있어서, 반응 챔버와, 상기 반응 챔버 내에 배치되고, 일면 상에 기판이 배치되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 상대 가동 가능하게 배치되는 컴비네이션 노즐부와, 상기 기판에 원자층 박막을 형성하기 위한 프리커서 및 산화제를 공급하는 가스 공급부가 구비되고, 상기 컴비네이션 노즐부는, 상기 기판의 일면을 선택적으로 국부 가열시키는 레이저를 조사하는 레이저 코어를 구비하고, 상기 가스 공급부는, 적어도 일부가 상기 레이저 코어에 근접 배치되고 상기 기판의 일면으로 상기 레이저 코어에 의하여 선택적으로 국부 가열되는 영역에 가열된 상기 기판 영역에 흡착되는 프리커서 및 상기 프리커서의 리간드를 제거하는 산화제를 제공하는 것을 특징으로 하는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置，其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上，该装置包括：反应室; 设置在所述反应室内的台，设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元，设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元，其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂，其中所述组合喷嘴单元具有激光芯，所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面，并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻，并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域，其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。
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公开(公告)号：WO2020167005A1
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：PCT/KR2020/002060
申请日：2020-02-13
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: H01M8/1213 , H01M4/86 , H01M4/90 , H01M4/88 , H01M8/1246 , H01M8/124
Abstract: 본 발명의 나노다공구조의 혼합전도 기능층을 포함하는 고체산화물연료전지 및 그 제조방법은 연료극을 지지하는 연료극 지지체; 상기 연료극 지지체 상에 배치된 연료극 촉매층; 상기 연료극 촉매층 상에 배치된 프로톤 전도성의 세라믹 전해질층; 상기 세라믹 전해질층 상에 배치되고, 프로톤 전도체 물질과 산소환원반응 촉매물질이 기 설정된 중량비율로 혼합된 혼합전도물질을 포함하는 나노다공구조의 혼합전도 기능층; 및 상기 혼합전도 기능층 상에 배치된 공기극층을 포함한다.
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公开(公告)号：WO2020171467A1
公开(公告)日：2020-08-27
申请号：PCT/KR2020/001956
申请日：2020-02-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/448
Abstract: 본 발명의 전구체 소스 공급을 위한 금속블록 결합형 히터 어셈블리를 포함하는 증착 장치는 기판을 지지하고 증착공정에 필요한 공간을 제공하는 반응챔버; 전구체 소스를 저장하는 전구체 저장부; 상기 반응챔버에 기화된 전구체 소스를 공급하는 가스 라인부; 및 상기 전구체 저장부 및 상기 가스 라인부를 내측에 수용하여 결합되는 금속블록 및 상기 금속블록을 가열하는 히팅 재킷이 구비되는 히터 어셈블리부를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2020050604A1
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：PCT/KR2019/011364
申请日：2019-09-04
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 양극 재료를 포함하는 다공성의 양극 구조체; 및 상기 양극 구조체 외표면에 배치된 보호층; 을 포함하고, 상기 보호층은 아일랜드(island) 형태를 갖는 복수의 보호 입자를 포함하는 연료전지용 양극 및 이의 제조방법을 제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2018088771A1
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：PCT/KR2017/012523
申请日：2017-11-07
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , G01N23/223
CPC classification number: C23C16/455 , C23C16/52 , G01N23/223
Abstract: X선 형광분석 원자층 증착 장치는, 기판을 지지하며, 공정 공간을 제공하는 반응 챔버, 상기 공정 공간 내의 제1 진공 상태에서, 화학-흡착 공정을 통하여 상기 기판 상에 박막을 형성하기 위하여 공정 가스 공급 라인을 통하여 공급되는 공정 가스를 공급하는 가스 공급 모듈, 상기 공정 공간 내에 상기 제1 진공 상태보다 높은 제2 진공 상태에서, 상기 기판 상에 형성된 박막으로부터 발생한 X선 형광 물질을 분석하여 상기 박막에 관한 정보를 실시간으로 확보할 수 있는 검출 공정을 수행하는 X선 형광 분석 모듈 및 상기 제1 진공 및 제2 진공 상태로 사이에 진공도를 스위칭하는 스위칭 진공 모듈을 포함한다.
Abstract translation: 一种X射线荧光原子层沉积设备包括：反应室，用于支撑衬底并提供处理空间;处理空间内的第一真空状态; 气体供应模块，用于供应通过处理气体供应管线供应的处理气体以在所述基板上形成薄膜， 包括切换模块真空切换真空的通过X射线荧光分析模块和所述第一真空和第二真空分析的荧光体之间的相似度，用于执行检测处理，可以获取信息与所述薄膜实时 。
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公开(公告)号：KR1020140107843A
公开(公告)日：2014-09-05
申请号：KR1020130021923
申请日：2013-02-28
Applicant: 현대자동차주식회사 , 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/45576 , C23C16/4417 , C23C16/45544 , C23C16/52
Abstract: The present invention relates to an apparatus for uniform atomic layer deposition (ALD) on powder using multi-directional and sequential supply of a source. According to an embodiment of the present invention, the apparatus may include: a reactor having a plurality of precursor supplying holes formed thereon; and a controlling part which controls the precursor supplying hole to be sequentially opened and closed.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用多向和顺序供应源的粉末上的均匀原子层沉积（ALD）装置。 根据本发明的实施例，该装置可以包括：反应器，其上形成有多个前体供应孔; 以及控制部件，其控制前驱体供给孔依次打开和关闭。
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公开(公告)号：KR1020180009232A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：KR1020160090899
申请日：2016-07-18
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: H01M4/8605 , H01M4/9033 , H01M2008/1293 , Y02E60/525
Abstract: 고체산화물연료전지용캐소드는, 전해질과컨택하는캐소드로서, 전기/이온전도성파티클로이루어진다공성벌크및 상기다공성벌크상에형성되고, 전기/이온전도성파티클들과상기상부전기/이온전도성파티클들의외각을감싸도록구비된표면촉매박막을구비하는산화환원부를포함한다.
Abstract translation: 固体氧化物燃料电池阴极，阴极电解液和接触电/离子的导电性粒子构成的形成在多孔体积和多孔本体，围绕电/离子导电性粒子的外壳和所述上电/离子导电性粒子包裹 它包括具有具有薄膜的氧化还原催化剂的表面的一部分。
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公开(公告)号：KR1020160135049A
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：KR1020150068010
申请日：2015-05-15
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/48
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/04 , C23C16/047 , C23C16/4408 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/46
Abstract: 본발명은, 소스가스및 퍼지가스를공급하여기판표면에원자층박막을증착시키는국부원자층선택박막증착장치에있어서, 반응챔버와, 상기반응챔버내에배치되고, 일면상에기판이배치되는스테이지와, 상기스테이지상부에상기스테이지와상대가동가능하게배치되는컴비네이션노즐부와, 상기기판에원자층박막을형성하기위한프리커서및 산화제를공급하는가스공급부가구비되고, 상기컴비네이션노즐부는, 상기기판의일면을선택적으로국부가열시키는레이저를조사하는레이저코어를구비하고, 상기가스공급부는, 적어도일부가상기레이저코어에근접배치되고상기기판의일면으로상기레이저코어에의하여선택적으로국부가열되는영역에가열된상기기판영역에흡착되는프리커서및 상기프리커서의리간드를제거하는산화제를제공하는것을특징으로하는국부원자층선택박막증착장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置，其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上，该装置包括：反应室; 设置在所述反应室内的台，设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元，设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元，其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂，其中所述组合喷嘴单元具有激光芯，所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面，并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻，并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域，其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。
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公开(公告)号：KR1020160121972A
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020150051899
申请日：2015-04-13
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: F16B33/06 , F16B33/00 , F16B35/04 , C23C16/455
Abstract: 금속스레드화스너는화스너몸체및 상기화스너몸체를전체적으로덮도록형성된세라믹박막을포함한다. 상기세라믹박막은원자층증착공정을통하여형성되며, 상기세라믹박막은 1 내지 50 nm의두께를가질수 있다.
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