公开(公告)号：KR101286565B1

公开(公告)日：2013-07-22

申请号：KR1020110143445

申请日：2011-12-27

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 장영수 ,  강병하 ,  이성우 ,  임홍재

IPC: B60P3/20 ,  F25D11/04

Abstract: 본 발명에 따른 발효식품용 냉장컨테이너는, 냉동 사이클을 이루어 컨테이너 본체 내부로 냉기를 공급하는 냉기 공급 유닛과, 상기 컨테이너 본체의 내벽을 따라 구비되고 상기 냉기 공급 유닛의 냉매 중 일부가 유입되어 증발하는 냉각 코일을 포함함으로써, 상기 냉기 공급 유닛으로부터 차가운 공기가 공급됨과 아울러 상기 냉각 코일에 의해 상기 컨테이너 본체의 내벽이 냉각될 수 있기 때문에, 상기 컨테이너 본체 내부 전체를 균일한 온도로 유지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR101095984B1

公开(公告)日：2011-12-19

申请号：KR1020100082904

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  양경선 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  G01N35/10

Abstract: PURPOSE: An automatic sample exchange apparatus for a scanning electron microscope is provided to reduce switching time by being rotated in a state in which a sample is put and to accurately fix the location center of a sample. CONSTITUTION: A sample is put on a rotation sample holder device(20) and rotated. A slide holder transfer device(30) slides the rotation sample holder device to a specific location. A multi controlling element(40) revolves the rotation sample holder device. The multi controlling element adjusts a slide section of the slide holder transfer device and fixes the lens center axis of a sample holder. An actuator drives a step motor(60). The step motor transfers the slide holder transfer device. A step motor controlling part controls the step motor. A voltage adjusting part adjusts voltage which is provided to the actuator.

Abstract translation: 目的：提供一种用于扫描电子显微镜的自动样品更换装置，通过在样品放置的状态下旋转以减少切换时间并精确地固定样品的位置中心。 构成：将样品放在旋转样品架（20）上并旋转。 滑动架传送装置（30）将旋转样品架装置滑动到特定位置。 多重控制元件（40）围绕旋转样品保持器装置旋转。 多重控制元件调整滑动架传送装置的滑动部分并固定样品架的透镜中心轴。 致动器驱动步进电机（60）。 步进电机传送滑块保持架传送装置。 步进电机控制部分控制步进电机。 电压调节部分调节提供给致动器的电压。

公开(公告)号：KR101025288B1

公开(公告)日：2011-03-29

申请号：KR1020090011637

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  김승재 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 전자빔 리소그래피 장치의 나노 스테이지에 관한 것으로서, 진공챔버에 출입가능하게 설치되는 한편 스테이지를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키는 스테이지유닛과, 스테이지 측으로 전자빔을 주사하는 전자주사유닛을 포함하는 전자빔 리소그래피 장치에 있어서, 상기 스테이지유닛의 스테이지 상에는 시료가 구비되는 나노 스테이지가 설치되고, 상기 나노 스테이지는 미세 이동되어 시료를 디플렉션 왜곡이 가장 작은 영역으로 이동시키기 위한 압전소자로 구성된 것을 특징으로 하여, 시료를 나노 스테이지의 미세 이동을 통해 디플렉션 왜곡이 가장 작은 영역으로 이동하여 미소패턴을 연속적으로 생성할 수 있도록 한다.
전자빔, 리소그래피, 나노 스테이지, 압전소자