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    자기조립 단분자막의 표면 개질을 이용한 패턴의 전사 방법
    31.
    发明公开
    자기조립 단분자막의 표면 개질을 이용한 패턴의 전사 방법 无效
    使用自组装单色机进行修改的图案传输方法

    公开(公告)号：KR1020140099409A

    公开(公告)日：2014-08-12

    申请号：KR1020130012071

    申请日：2013-02-01

    Applicant: 국민대학교산학협력단

    Inventor： 이재갑 ,  이영규 ,  정대균

    IPC: H01L21/027

    CPC classification number: H01L21/0273 ,  H01L21/02252 ,  H01L21/02315

    Abstract: The present application relates to a method for transferring a solvent pattern which comprises the steps of: forming a hydrophilic self-assembling monolayer having hydrophilicity to a substrate; obtaining a patterned mold; forming a hydrophilic solvent pattern on a surface of the patterned mold by applying a hydrophilic solvent to the patterned mold; and transferring the hydrophilic solvent pattern of the mold to the substrate by enabling the mold having the hydrophilic solvent pattern to come into contact with the substrate in which the hydrophilic self-assembling monolayer is formed.

    Abstract translation: 本申请涉及一种转移溶剂图案的方法，包括以下步骤：形成亲水性亲水性的单层至基材; 获得图案模具; 通过向图案化的模具施加亲水性溶剂，在图案化模具的表面上形成亲水性溶剂图案; 并且通过使具有亲水性溶剂图案的模具与形成有亲水性自组装单层的基材接触，将模具的亲水性溶剂图案转印到基材上。

    반도체소자 및 그 형성 방법
    32.
    发明公开
    반도체소자 및 그 형성 방법 有权
    半导体器件及其形成方法

    公开(公告)号：KR1020130030478A

    公开(公告)日：2013-03-27

    申请号：KR1020110093980

    申请日：2011-09-19

    Applicant: 국민대학교산학협력단

    Inventor： 이재갑 ,  이치영 ,  한정석

    IPC: H01L21/28 ,  H01L21/768

    Abstract: PURPOSE: A semiconductor device and a forming method thereof are provided to improve reliability by forming a diffusion preventing layer using a self-assembled monolayer. CONSTITUTION: A self-assembled monolayer(110) is formed on a semiconductor substrate and is made of a mixture. The mixture includes thiol group in one side thereof and one of carboxyl group, carbonyl group, and hydroxyl group in the other side thereof. A metal layer(120) is formed on the self-assembled monolayer.

    Abstract translation: 目的：提供半导体器件及其形成方法，以通过使用自组装单层形成扩散防止层来提高可靠性。 构成：在半导体衬底上形成自组装单层（110）并由混合物制成。 该混合物在其一侧包含硫醇基团，另一侧包含羧基，羰基和羟基中的一个。 金属层（120）形成在自组装单层上。

    레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법 및 레이저 화학기상 증착 장치
    38.
    发明授权
    레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법 및 레이저 화학기상 증착 장치 有权
    激光化学气相沉积钴膜的形成和激光化学气相沉积

    公开(公告)号：KR101839212B1

    公开(公告)日：2018-03-16

    申请号：KR1020160087176

    申请日：2016-07-08

    Applicant: 국민대학교산학협력단

    Inventor： 이재갑 ,  정대균 ,  정경훈 ,  이지원

    IPC: C23C16/48 ,  C23C16/16 ,  C23C16/448 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458

    Abstract: 레이저화학기상증착법을사용한코발트막형성방법을제공한다. 본발명에따른코발트막형성방법은기판상에 Co(CO)가스및 캐리어가스를공급하는단계및 기판상에공급된 Co(CO)가스에레이저빔을가하여상기 Co(CO)가스의열분해및/또는광분해통해기판상에코발트막을증착하는단계를포함할수 있다. 본발명에따르면, 특정증착조건에서의레이저화학기상증착공정을통하여우수한전기전도도와순도를가지는 Co(코발트) 박막을증착할수 있다. 또한, 직접적인묘사(writing)가가능한레이저화학기상증착법을통하여보다간단한선택적패턴형성이가능하도록한다. 나아가, 고해상도디스플레이패널에적용이가능한좁은선 폭과낮은비저항을갖는디스플레이패널의수리공정을제공할수 있다.

    Abstract translation: 提供了一种使用激光化学气相沉积形成钴膜的方法。 根据本发明的形成钴膜的方法包括以下步骤：将Co（CO）气体和载气提供到基板上，并且将激光束施加到提供在基板上的Co（CO）气体以分解和/ 或通过光解在基底上沉积钴膜。 根据本发明，可以在特定的沉积条件下通过激光化学气相沉积工艺沉积具有优异的导电性和纯度的Co（钴）薄膜。 另外，可以通过激光化学气相沉积来实现更简单的选择性图案形成，这允许直接书写。 此外，可以提供适用于高分辨率显示面板的具有窄线宽和低电阻率的显示面板的修复过程。

    격벽을 구비하는 섬광체 패널, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방사선 검출기
    40.
    发明授权
    격벽을 구비하는 섬광체 패널, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 방사선 검출기 有权
    一种具有障壁的闪烁体面板及其制造方法，以及包括该闪烁体面板的放射线检测器

    公开(公告)号：KR101814930B1

    公开(公告)日：2018-01-04

    申请号：KR1020160101261

    申请日：2016-08-09

    Applicant: 국민대학교산학협력단

    Inventor： 이재갑 ,  소회섭

    IPC: G01T1/00 ,  G01T1/20 ,  G01T1/10

    CPC classification number: G01T1/003 ,  G01T1/10 ,  G01T1/20

    Abstract: 격벽을구비하는섬광체패널을제공한다. 본발명에따른섬광체패널은섬광체기판, 상기섬광체기판의일면상에배치되어, 다수의셀 영역들을정의하는격벽및 상기셀 영역들에충진된섬광체를구비하는섬광체셀을포함할수 있다. 본발명에따르면, 격벽에의한셀 구조를가지는섬광체패널을통하여, 섬광체분체에서발생하는가시광의산란을감소시켜해상도가향상된방사선검출기를제공할수 있다. 또한, 상기격벽의높이를조절함으로써, 해상도가향상되면서도, 민감도를높여발광효율이증가된방사선검출기를제공할수 있다.

    Abstract translation: 提供了具有障壁的闪烁体面板。 根据本发明可以包含具有一个闪烁体填充所述隔壁和被放置在闪烁器衬底的一侧的单元面积的闪烁体单元闪烁器面板，所述闪烁体基板并限定多个小区区域。 根据本发明，可以通过减少闪烁体粉末中产生的可见光通过分隔壁上的具有一单元结构的闪烁体面板的散射，提供具有提高的分辨率的辐射探测器。 另外，通过调整障壁的高度，可以提高灵敏度并提高发光效率，同时提高分辨率。

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