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31.계단형 구조를 구현할 수 있는 패터닝 방법 및 이를 이용한 불휘발성 메모리 소자의 제조 방법 无效
Title translation: 形成非常类型结构的方法和使用该方法制造非易失性存储器件的方法公开(公告)号:KR1020110111809A
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:KR1020100031073
申请日:2010-04-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01L27/11578 , H01L21/033 , H01L21/0337 , H01L27/11548 , H01L27/11551 , H01L27/11556 , H01L27/11575 , H01L21/28141 , H01L27/0688
Abstract: 본 발명은 계단형 구조를 구현할 수 있는 패터닝 방법 및 이를 이용한 불휘발성 메모리 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 다수개의 박막을 플레이트 형태로 적층하고, 상기 다수개의 박막 중 최상층의 박막 상에 마스크를 형성하고, 상기 마스크를 이용한 에칭으로 상기 최상층의 박막을 패터닝하고, 상기 마스크를 순차 확대하고, 그리고 상기 순차 확대된 마스크를 이용한 에칭으로 나머지 박막들을 순차 패터닝하는 것을 포함하여, 상기 다수개의 박막을 상기 플레이트 형태에서 계단 형태로 형성하는 패터닝 방법을 이용하여 계단형 구조를 가진 컨트롤 게이트를 포함하는 불휘발성 메모리 소자를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020090056476A
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:KR1020070123631
申请日:2007-11-30
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01J37/30 , H01J2237/0041 , H01J2237/04756 , H01J2237/20 , H01J2237/31
Abstract: A substrate processing apparatus using neutralized beam and method thereof are provided to apply the predetermined voltage in the substrate support and to prevent the damage of the substrate to be treated due to the remaining non-neutralized ion. The ion source generator(110) forms ion source. The ion extracting apparatus(120) extracts ions from the ion source and accelerates them. The ion neutralizer(140) neutralizes the extracted and accelerated ions by the neutral beam. The substrate power supply device(160) supplies the power to the substrate support and blocks that the remaining neutralized ions reaches the processed substrate. The ion source generator forms the plasma as the ion source.
Abstract translation: 提供使用中和束的基板处理装置及其方法,以将预定电压施加到基板支撑件中,并且防止由于剩余的未中和离子而导致的待处理基板的损坏。 离子源发生器(110)形成离子源。 离子提取装置(120)从离子源中提取离子并加速它们。 离子中和器(140)通过中性光束中和提取和加速的离子。 基板供电装置(160)向基板支撑件供电,并阻止剩余的中和离子到达处理的基板。 离子源发生器形成等离子体作为离子源。
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公开(公告)号:KR102232529B1
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:KR1020180057196
申请日:2018-05-18
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사 , 삼성전자주식회사
IPC: H01M50/409 , H01M10/052
Abstract: 본기재는, 다공성기재및 상기다공성기재상에형성된접착층을포함하고, 상기접착층은코어및 상기코어를둘러싸는쉘을포함하는코어-쉘구조의입자형바인더를포함하며, 상기코어는 30℃이하의유리전이온도를가지는제1 중합체를포함하고, 상기쉘은 40℃이상의유리전이온도를가지는제2 중합체를포함하며, 상기입자형바인더의직경은 50 내지 500 nm인리튬이차전지용분리막, 및이를포함하는리튬이차전지를제공한다.
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公开(公告)号:KR102220522B1
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:KR1020190146783
申请日:2019-11-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 영상음향시스템이개시된다. 영상음향시스템은, 상단이개방되며, 내부에수납공간이마련된하우징, 하우징의내부에설치되어하우징상단을통해노출가능하도록동작하는영상음향장치및, 영상음향장치를하우징상단을통해노출시키거나하우징내부에수납시킬수 있는승강장치를포함한다. 이경우영상음향장치는, 디스플레이, 디스플레이의적어도일 측에구비된스피커및, 제1 이벤트에따라디스플레이가하우징내부에수납된상태에서미디어아트컨텐츠를출력하는제1 모드로동작하고, 제2 이벤트에따라디스플레이일부가하우징상단을통해외부로노출된상태에서스피커를통해음향컨텐츠를출력하는제2 모드로동작하고, 제3 이벤트에따라디스플레이전체가하우징상단을통해외부로노출된상태에서영상컨텐츠를출력하는제3 모드로동작하도록제어하는프로세서를포함한다.
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公开(公告)号:KR102176503B1
公开(公告)日:2020-11-09
申请号:KR20190146851
申请日:2019-11-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 영상음향시스템이개시된다. 영상음향시스템은, 상단이개방되며, 내부에수납공간이마련된하우징, 하우징의내부에설치되어하우징상단을통해노출가능하도록동작하는영상음향장치및, 영상음향장치를하우징상단을통해노출시키거나하우징내부에수납시킬수 있는승강장치를포함한다. 이경우영상음향장치는, 디스플레이, 디스플레이의적어도일 측에구비된스피커및, 제1 이벤트에따라디스플레이가하우징내부에수납된상태에서미디어아트컨텐츠를출력하는제1 모드로동작하고, 제2 이벤트에따라디스플레이일부가하우징상단을통해외부로노출된상태에서스피커를통해음향컨텐츠를출력하는제2 모드로동작하고, 제3 이벤트에따라디스플레이전체가하우징상단을통해외부로노출된상태에서영상컨텐츠를출력하는제3 모드로동작하도록제어하는프로세서를포함한다.
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公开(公告)号:KR101965602B1
公开(公告)日:2019-04-04
申请号:KR1020120114864
申请日:2012-10-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115
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公开(公告)号:KR101792681B1
公开(公告)日:2017-11-02
申请号:KR1020150156099
申请日:2015-11-06
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사 , 삼성전자주식회사
IPC: H01M2/16 , H01M10/052
CPC classification number: H01M2/1686 , C08G73/101 , C08G73/1014 , C08G73/1035 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1067 , C08G73/1078 , C08G73/14 , C08K2003/2227 , C09D163/00 , C09D179/08 , H01M2/166 , H01M10/0525 , C08K3/22 , C08L27/16 , C08L27/20
Abstract: 다공성기재, 그리고상기다공성기재의적어도일면에위치하는내열층을포함하고, 상기내열층은가교바인더이고, 상기가교바인더는방향족모이어티를포함하는구조단위와 (메타)아크릴레이트기를가지는중합체로부터유래된이차전지용세퍼레이터및 이를포함하는리튬이차전지에관한것이다.
Abstract translation: 多孔基材,和耐热层,含有其位于所述多孔基材的至少一侧上的耐热层是交联的粘合剂,并且其中所述交联的粘合剂是由具有一组结构单元和含有芳族部分的(甲基)丙烯酸酯的聚合物衍生 并且包括该隔膜的锂二次电池。
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公开(公告)号:KR1020170053495A
公开(公告)日:2017-05-16
申请号:KR1020150156099
申请日:2015-11-06
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사 , 삼성전자주식회사
IPC: H01M2/16 , H01M10/052
CPC classification number: H01M2/1686 , C08G73/101 , C08G73/1014 , C08G73/1035 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1067 , C08G73/1078 , C08G73/14 , C08K2003/2227 , C09D163/00 , C09D179/08 , H01M2/166 , H01M10/0525 , C08K3/22 , C08L27/16 , C08L27/20
Abstract: 다공성기재, 그리고상기다공성기재의적어도일면에위치하는내열층을포함하고, 상기내열층은가교바인더이고, 상기가교바인더는방향족모이어티를포함하는구조단위와 (메타)아크릴레이트기를가지는중합체로부터유래된이차전지용세퍼레이터및 이를포함하는리튬이차전지에관한것이다.
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公开(公告)号:KR1020170011306A
公开(公告)日:2017-02-02
申请号:KR1020150103716
申请日:2015-07-22
Applicant: 삼성전자주식회사 , 삼성에스디아이 주식회사
CPC classification number: G02B5/3016 , B32B37/12 , B32B37/14 , B32B37/182 , B32B2037/1253 , B32B2309/105 , B32B2310/0831 , B32B2457/202 , B32B2551/00 , G02B5/305 , G02B5/3083
Abstract: 폴리올레핀과이색성염료를포함하는편광필름, 상기편광필름의일면에위치하는위상지연층, 그리고상기편광필름과상기위상지연층사이에위치하는경화성접착제를포함하는광학필름및 그제조방법과상기광학필름을포함하는표시장치에관한것이다.
Abstract translation: 光学膜包括偏光膜,其包含聚烯烃和二色性染料,位于偏振膜一侧的相位延迟层和位于偏振膜和相位延迟层之间的可固化粘合剂。 还公开了一种制造该光学膜的方法和一种包括该光学膜的显示装置。
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