중성빔을 이용하는 기판 처리 장치 및 방법
    32.
    发明公开
    중성빔을 이용하는 기판 처리 장치 및 방법 有权
    使用中性光束的基板处理装置及其方法

    公开(公告)号:KR1020090056476A

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:KR1020070123631

    申请日:2007-11-30

    Abstract: A substrate processing apparatus using neutralized beam and method thereof are provided to apply the predetermined voltage in the substrate support and to prevent the damage of the substrate to be treated due to the remaining non-neutralized ion. The ion source generator(110) forms ion source. The ion extracting apparatus(120) extracts ions from the ion source and accelerates them. The ion neutralizer(140) neutralizes the extracted and accelerated ions by the neutral beam. The substrate power supply device(160) supplies the power to the substrate support and blocks that the remaining neutralized ions reaches the processed substrate. The ion source generator forms the plasma as the ion source.

    Abstract translation: 提供使用中和束的基板处理装置及其方法,以将预定电压施加到基板支撑件中,并且防止由于剩余的未中和离子而导致的待处理基板的损坏。 离子源发生器(110)形成离子源。 离子提取装置(120)从离子源中提取离子并加速它们。 离子中和器(140)通过中性光束中和提取和加速的离子。 基板供电装置(160)向基板支撑件供电,并阻止剩余的中和离子到达处理的基板。 离子源发生器形成等离子体作为离子源。

    영상 음향 시스템 및 그 제어 방법

    公开(公告)号:KR102220522B1

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:KR1020190146783

    申请日:2019-11-15

    Abstract: 영상음향시스템이개시된다. 영상음향시스템은, 상단이개방되며, 내부에수납공간이마련된하우징, 하우징의내부에설치되어하우징상단을통해노출가능하도록동작하는영상음향장치및, 영상음향장치를하우징상단을통해노출시키거나하우징내부에수납시킬수 있는승강장치를포함한다. 이경우영상음향장치는, 디스플레이, 디스플레이의적어도일 측에구비된스피커및, 제1 이벤트에따라디스플레이가하우징내부에수납된상태에서미디어아트컨텐츠를출력하는제1 모드로동작하고, 제2 이벤트에따라디스플레이일부가하우징상단을통해외부로노출된상태에서스피커를통해음향컨텐츠를출력하는제2 모드로동작하고, 제3 이벤트에따라디스플레이전체가하우징상단을통해외부로노출된상태에서영상컨텐츠를출력하는제3 모드로동작하도록제어하는프로세서를포함한다.

    영상 음향 시스템 및 그 제어 방법

    公开(公告)号:KR102176503B1

    公开(公告)日:2020-11-09

    申请号:KR20190146851

    申请日:2019-11-15

    Abstract: 영상음향시스템이개시된다. 영상음향시스템은, 상단이개방되며, 내부에수납공간이마련된하우징, 하우징의내부에설치되어하우징상단을통해노출가능하도록동작하는영상음향장치및, 영상음향장치를하우징상단을통해노출시키거나하우징내부에수납시킬수 있는승강장치를포함한다. 이경우영상음향장치는, 디스플레이, 디스플레이의적어도일 측에구비된스피커및, 제1 이벤트에따라디스플레이가하우징내부에수납된상태에서미디어아트컨텐츠를출력하는제1 모드로동작하고, 제2 이벤트에따라디스플레이일부가하우징상단을통해외부로노출된상태에서스피커를통해음향컨텐츠를출력하는제2 모드로동작하고, 제3 이벤트에따라디스플레이전체가하우징상단을통해외부로노출된상태에서영상컨텐츠를출력하는제3 모드로동작하도록제어하는프로세서를포함한다.

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