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公开(公告)号：KR101562020B1
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：KR1020100015841
申请日：2010-02-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01L27/11529 , H01L27/11526 , H01L27/11573 , H01L28/20
Abstract: 반도체소자및 그제조방법이제공된다. 이방법에따르면, 기판상에패턴을형성하고, 패턴상에캡핑유전막을형성하고, 상기캡핑유전막에질소를공급하는질화공정을수행하여확산베리어막이형성된다.
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公开(公告)号：KR1020110113725A
公开(公告)日：2011-10-18
申请号：KR1020110100904
申请日：2011-10-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H05B37/0272 , H04Q9/00 , Y02B20/44
Abstract: 본 발명은 무선 통신 특히 지그비 통신에 의해 조명을 무선으로 제어할 수 있는 무선 조명 제어 장치에 관한 것으로, 사전에 설정된 네트워크 정보를 갖고, 사전에 설정된 통신 방식으로 제어되어 광을 방출하는 적어도 하나의 조명 모듈과, 상기 적어도 하나의 조명 모듈로부터 사전에 설정된 통신 방식으로 상기 네트워크 정보를 전달받아 무선 네트워크를 형성하여 상기 적어도 하나의 조명 모듈의 동작을 제어하는 제어 모듈과, 상기 제어 모듈과 상기 통신 방식으로 상기 무선 네트워크를 형성하고, 상기 제어 모듈의 동작을 설정하는 설정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 조명 제어 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR101781621B1
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：KR1020100127580
申请日：2010-12-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01L45/06 , H01L27/1021 , H01L27/2409 , H01L27/2472 , H01L45/04 , H01L45/14 , H01L45/141 , H01L45/142 , H01L45/143 , H01L45/144 , H01L45/148 , H01L45/1616 , H01L45/1625 , H01L45/1641 , H01L45/1658 , H01L45/1683
Abstract: 본발명의기술적사상에따른상변화메모리소자의제조방법은상기기판상에상기하부전극의일부영역을노출시키는컨택홀을포함하는절연막을형성한다. 이어서, 상기컨택홀을채우는상변화물질패턴을형성한다. 다음으로, 상기상변화물질패턴에도펀트(dopant)를도핑한다. 여기서, 상기도펀트는상기상변화물질패턴을구성하는다수의원소들중 상대적으로기화열이높은적어도하나의원소를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个方面，提供了一种制造相变存储器件的方法，包括：在器件的衬底上形成绝缘膜，所述绝缘膜包括暴露所述下电极的一部分的接触孔; 随后，形成填充接触孔的相变材料图案。 接下来，相变材料图案掺杂有掺杂剂。 这里，掺杂剂在构成相变材料图案的多个元素中包含具有相对高的汽化热的至少一种元素。
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公开(公告)号：KR101781483B1
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：KR1020100122824
申请日：2010-12-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01L45/1625 , H01L27/2409 , H01L27/2472 , H01L45/04 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/143 , H01L45/144 , H01L45/1683
Abstract: 반도체기판상에다이오드를형성하고, 상기다이오드상에하부전극을형성하고, 상기하부전극상에개구부를갖는절연층을형성하고, 상기개구부를채우는가변저항층을형성하되, 상기가변저항층은, 상기하부전극에인접하는결정영역및 상기개구부의측벽의상부에인접하는비정질영역을포함하고, 및상기가변저항층상에상부전극을형성하는것을포함하는가변저항메모리소자의형성방법이제공된다.
Abstract translation: 在所述二极管上形成下电极，在所述下电极上形成具有开口的绝缘层，并且形成填充所述开口的可变电阻层，其中所述可变电阻层包括： 形成包含包括非晶区邻近所述判定区域的侧壁的上部的电阻可变存储器元件的方法和设置开口相邻的下部电极，以及形成所述可变电阻层上的上电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150073605A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：KR1020130161502
申请日：2013-12-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/115
CPC classification number: H01L21/28008 , H01L27/10888 , H01L27/10891 , H01L27/10894 , H01L29/4236 , H01L27/11512
Abstract: 반도체메모리장치및 그제조방법이제공된다. 상기반도체메모리장치는셀 영역및 주변영역이정의된기판, 상기주변영역상에형성된제1 게이트절연막, 및상기제1 게이트절연막상에형성된제1 폴리게이트막을포함하되, 상기셀 영역상에는상기제1 게이트절연막과상기제1 폴리게이트막이형성되지않는다.
Abstract translation: 提供半导体存储器件及其制造方法。 半导体存储器件包括：限定了单元区域和周边区域的基板; 形成在周边区域上的第一栅极绝缘膜; 以及形成在第一栅极绝缘膜上的第一多晶硅膜。 第一栅极绝缘膜和第一多晶硅栅极膜不形成在电池区域上。
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公开(公告)号：KR1020120061490A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：KR1020100122824
申请日：2010-12-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01L45/1625 , H01L27/2409 , H01L27/2472 , H01L45/04 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/143 , H01L45/144 , H01L45/1683 , G11C13/0004
Abstract: PURPOSE: A variable resistance memory device formation method is provided to improve circuit performance by filling an opening part of an insulating film with a void or without a seam. CONSTITUTION: A diode is formed on a semiconductor substrate(23). A lower electrode is formed on the diode. An insulating layer has an opening part(66) on the lower electrode. A variable resistance layer(120) is formed by filling the opening part. The variable resistance layer includes an amorphous region adjacent to the upper part of a lateral wall of the opening part and a crystalline region adjacent to the lower electrode. An upper electrode is formed on the variable resistance layer.
Abstract translation: 目的：提供可变电阻存储器件形成方法，以通过填充绝缘膜的开口部分而具有空隙或不具有接缝来改善电路性能。 构成：在半导体衬底（23）上形成二极管。 在二极管上形成下电极。 绝缘层在下电极上具有开口部分（66）。 通过填充开口部形成可变电阻层（120）。 可变电阻层包括与开口部分的侧壁的上部相邻的非晶区域和与下部电极相邻的结晶区域。 上电极形成在可变电阻层上。
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公开(公告)号：KR1019990059689A
公开(公告)日：1999-07-26
申请号：KR1019970079901
申请日：1997-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 진공 시스템의 진공압 형성 방법에 관한 것으로, 오일 회전 펌프를 사용하는 진공 시스템에서 공정 프로그램을 가동시키기 전 오일 펌프 및 제 1 개폐 밸브 사이의 압력과 제 1 및 제 2 개폐 밸브 사이의 압력을 동등하게 유지시킨 상태에서 공정 프로그램을 가동시킴으로써, 오일 펌프 내의 오일 및 오일 증기가 역류되는 것을 방지할 수 있어 LCD 패널의 수율을 향상시킬 수 있다.
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