公开(公告)号：KR1020000066302A

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：KR1019990013310

申请日：1999-04-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우창우 ,  우재영 ,  윤명식 ,  현기철

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A jig system is provided to easily separate the wafer for analysis from jig and to make the polishing of the wafer for analysis uniform. CONSTITUTION: A jig system comprises an exclusive fixing jig(200) which fixes the wafer fixing frame(103) by using a screw(212) when a wafer fixing frame(103) is inserted to a first groove(210) in the jig(200), a hole(211) which the screw(212) can be protruded, the screw(212) which fixes the wafer fixing frame(203) and a second groove(214), the exclusive fixing jig can be coupled to a jig bar assembly, and a jig bar assembly(202) which comprises two horizontal bars and two vertical bars. Wherein a second horisontal bar connects a first vertical bar with a second vertical bar, and a first horizontal bar connects the exclusive fixing jig with the jig bar assembly.

Abstract translation: 目的：提供一种夹具系统，用于容易地将晶片与夹具分离，并使晶片的抛光均匀。 构成：夹具系统包括专用固定夹具（200），当将晶片固定框架（103）插入到夹具中的第一凹槽（210）中时，使用螺钉（212）固定晶片固定框架（103） 200），螺钉（212）可以突出的孔（211），固定晶片固定框架（203）的螺钉（212）和第二凹槽（214），专用固定夹具可联接到夹具 杆组件和夹具杆组件（202），其包括两个水平杆和两个垂直杆。 其中第二水平杆将第一垂直杆与第二垂直杆连接，并且第一水平杆将专用固定夹与夹具杆组件连接。

公开(公告)号：KR1020000009898A

公开(公告)日：2000-02-15

申请号：KR1019980030568

申请日：1998-07-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유경희 ,  우창우

IPC: G02B21/06

Abstract: PURPOSE: An optic microscope for inspecting wafer is provided to prevent the deterioration of sight by reducing fatigue feeling of an eye, to enhance the precision in a wafer analysis and inspection, and to improve life by using illumination units in suitable brightness. CONSTITUTION: The present invention discloses an optic microscope for inspecting wafer comprising: stages(2,10) having transparent plates(3,11) which a wafer(1) is positioned on; a lens unit having object lenses(5,14) and eye lenses(6,15) mounted on said stage; an illumination unit having luminous sources(7,16) generating light, and illuminators(8,17) connected to said luminous source and illuminating said wafer; and a light focusing unit(18) mounted on said illumination unit and focusing to said wafer.

Abstract translation: 目的：提供用于检查晶片的光学显微镜，以通过减少眼睛的疲劳感来防止视力的恶化，提高晶片分析和检查的精度，并通过使用适当亮度的照明单元来改善寿命。 构成：本发明公开了一种用于检查晶片的光学显微镜，其包括：具有晶片（1）所在的透明板（3,11）的级（2,10）; 具有安装在所述台上的物镜（5,14）和眼睛透镜（6,15）的透镜单元; 具有产生光的光源（7,16）的照明单元和连接到所述发光源并照亮所述晶片的照明器（8,17）; 以及安装在所述照明单元上并聚焦到所述晶片的光聚焦单元（18）。

公开(公告)号：KR1019990038796A

公开(公告)日：1999-06-05

申请号：KR1019970058659

申请日：1997-11-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최규상 ,  신연경 ,  우창우 ,  유경희

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 진공을 이용하여 웨이퍼를 흡착한 후, 웨이퍼를 고정하는 홀더가 구비되는 반도체 웨이퍼 분석용 스테이지에 관한 것이다.
본 발명은, 진공공급원과 진공라인에 의해서 연결되어 있고, 분석용 웨이퍼가 흡착되는 홀더가 구비되는 반도체 웨이퍼 분석용 스테이지에 있어서, 상기 진공라인 상에 개폐수단이 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 웨이퍼 상에 존재하는 디펙트를 분석하는 분석공정이 진행되는 스테이지의 홀더 상에 위치된 웨이퍼를 용이하게 제거할 수 있으므로 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990025129A

公开(公告)日：1999-04-06

申请号：KR1019970046633

申请日：1997-09-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신연경 ,  우창우 ,  김희덕

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 렌즈부로의 열전달을 방지하고, 위치조절이 자유로운 조명장치와, 전자식으로 조절되는 웨이퍼 육안검사기를 설치하여 웨이퍼의 정밀검사를 가능하게 하여 검사의 자동화를 이룰 수 있게 하는 반도체 웨이퍼 검사 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 검사 시스템은, 위치이동이 자유롭고 웨이퍼에 특정파장의 빛을 조사하도록 하는 조명장치와, 카셋트에 적재된 웨이퍼를 개별이송하여 상기 조명장치에서 조사되는 빛의 조사각도를 조절하도록 웨이퍼의 경사를 조절하고, 회전시키는 웨이퍼 육안검사기 및 상기 웨이퍼 육안검사기로부터 웨이퍼를 인계받아 정밀검사하는 현미경을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서 웨이퍼 반사각도의 조절을 전자장치로 정밀하게 조절하여 미숙련자도 쉽고, 정확하게 웨이퍼 오염을 발견할 수 있으며, 조명장치의 위치조절 및 광량의 조절이 자유롭고, 발열부의 영향이 없어 미세알갱이에 의한 웨이퍼불량을 방지하며, 웨이퍼의 이송을 자동화하여 취급부주의로 인한 웨이퍼 손실을 방지하게 하는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR1019980040757A

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019960059994

申请日：1996-11-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  우창우

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정공정이 끝난 상태로 웨이퍼 및 각종 부품을 건조챔버 내부에 투입하여 가열 건조하고 배출구를 선택적으로 개폐함으로써 건조챔버 내부의 온도를 일정 수준으로 유지 형성하는 반도체 건조설비의 배기시스템에 관한 것이다.
본 발명은 건조챔버의 배기관 내에 회전축을 중심으로 회전함에 따라 상기 배기관을 개폐하는 밸브를 갖는 반도체 건조설비의 배기시스템에 있어서, 상기 회전축과 연결되어 상기 회전판에 회전력을 제공하는 동력장치와, 상기 동력장치에 의한 상기 회전판의 개폐 정도를 감지하도록 형성된 개폐 센서와, 상기 개폐 센서와 상기 건조챔버 내부에 설치된 열전대와 연결되어 이들 신호에 따라 상기 동력장치의 구동을 제어하는 제어부 및 상기 제어부에 연결 설치되어 상기 회전판의 개폐 정도를 디스플레이 하는 디스플레이 패널이 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 배출구에 설치된 밸브를 용이하게 조작함에 따라 내부에 투입된 웨이퍼와 부품 및 작업자의 화재에 의한 손상과 재해를 방지하게 되고, 공정 시간이 단축되는 효과가 있다.