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    기판 매립형 인덕터 및 그 제조방법과, 마이크로 소자패키지 및 이 마이크로 소자 패키지의 캡 제조방법
    31.
    发明公开
    기판 매립형 인덕터 및 그 제조방법과, 마이크로 소자패키지 및 이 마이크로 소자 패키지의 캡 제조방법 有权
    电感器及其制造方法，用于制造微型器件封装的微型器件封装和方法

    公开(公告)号：KR1020070000232A

    公开(公告)日：2007-01-02

    申请号：KR1020050055796

    申请日：2005-06-27

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 이문철 ,  권종오 ,  김운배 ,  황준식 ,  신제식 ,  이은성

    IPC: H01L27/04

    CPC classification number: H01F17/0006 ,  H01F41/041 ,  H01F2017/0046 ,  H01L27/08 ,  Y10T29/4902 ,  Y10T29/4906 ,  Y10T29/49064 ,  Y10T29/49073 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49165

    Abstract: An inductor of a substrate burial type, a method for manufacturing the same, a micro device package, and a method for manufacturing a cap of a micro device package are provided to increase inductance by burying a coil electrode into a substrate. An inductor includes a substrate(110) and a coil electrode(120) formed by filling a hole(111) formed on the substrate with a metal. The coil electrode is formed with a linear spiral shape. The coil electrode is formed with a curved spiral shape. The substrate is formed with a silicon substrate. The coil electrode is formed with one selected from Au, Ag, and Cu. The inductor further includes an insulating layer(130) formed on the substrate and an external connecting pad(140) formed on the insulating layer in order to be connected with the coil electrode.

    Abstract translation: 提供衬底埋入式电感器，其制造方法，微器件封装以及微器件封装帽的制造方法，以通过将线圈电极埋入衬底来增加电感。 电感器包括通过用金属填充形成在基板上的孔（111）而形成的基板（110）和线圈电极（120）。 线圈电极形成为线状螺旋形状。 线圈电极形成为弯曲的螺旋形状。 衬底由硅衬底形成。 线圈电极形成有选自Au，Ag和Cu的一种。 电感器还包括形成在基板上的绝缘层（130）和形成在绝缘层上以与线圈电极连接的外部连接焊盘（140）。

    박막 벌크 음향 공진기 및 표면 음향파 공진기가 집적된인티그레이티드 필터 및 그 제작 방법
    32.
    发明授权
    박막 벌크 음향 공진기 및 표면 음향파 공진기가 집적된인티그레이티드 필터 및 그 제작 방법 有权
    박막벌크음향공진기및표면음향파공진기가집적된인티그레이필드필터및그제작방박막

    公开(公告)号：KR100631217B1

    公开(公告)日：2006-10-04

    申请号：KR1020050068486

    申请日：2005-07-27

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 남광우 ,  선우국현 ,  송인상 ,  권상욱 ,  김덕환 ,  김철수 ,  설상철 ,  박윤권 ,  박해석 ,  신제식 ,  심동하 ,  홍영택 ,  김종석 ,  장석모 ,  윤석출

    IPC: H03H3/02 ,  H03H9/15

    Abstract: An integrated filter comprising an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) and a SAW(Surface Acoustic Wave) resonator and a method for fabricating the same are provided to reduce the size and to improve the yield by integrating the FBAR and the SAW resonator into one substrate. An integrated filter comprising an FBAR and an SAW resonator comprises a substrate(110), a first electrode(120), a first piezoelectric layer(130), a second electrode(150), a second piezoelectric layer(140) and an inter digital transducer(IDT) electrode. The first electrode(120) is located at a predetermined first area of the top surface of the substrate(110). The first piezoelectric layer(130) is located on the first electrode(120). The second electrode(150) is located on the first piezoelectric layer(130). The second piezoelectric layer(140) is located at a predetermined second area of the top surface of the substrate(110). The IDT electrode is located on the second piezoelectric layer(140). The IDT electrode includes a first IDT electrode(160) with a comb structure and a second IDT electrode(170) with the comb structure engaged with the first IDT electrode(160).

    Abstract translation: 提供包括FBAR（薄膜体声波谐振器）和SAW（表面声波）谐振器的集成滤波器及其制造方法，以通过将FBAR和SAW谐振器集成到一个基底中来减小尺寸并提高产量 。 包括FBAR和SAW谐振器的集成滤波器包括基板（110），第一电极（120），第一压电层（130），第二电极（150），第二压电层（140）和内部数字 换能器（IDT）电极。 第一电极（120）位于基板（110）的顶表面的预定第一区域处。 第一压电层（130）位于第一电极（120）上。 第二电极（150）位于第一压电层（130）上。 第二压电层（140）位于基板（110）的顶表面的预定第二区域处。 IDT电极位于第二压电层（140）上。 IDT电极包括具有梳状结构的第一IDT电极（160）和梳状结构与第一IDT电极（160）接合的第二IDT电极（170）。

    온도 감지 장치 및 방법
    34.
    发明授权
    온도 감지 장치 및 방법 有权

    公开(公告)号：KR101892581B1

    公开(公告)日：2018-08-29

    申请号：KR1020110106978

    申请日：2011-10-19

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 박호수 ,  송인상 ,  김덕환 ,  김철수 ,  손상욱 ,  신제식 ,  추이징

    IPC: G01J5/44 ,  H01L31/101

    CPC classification number: G01J5/44

    Abstract: 온도변화에따른주파수변화를감지하는온도감지장치및 방법, 그리고, 적외선감지장치및 방법이제공된다. 온도감지장치는, 전기적신호를발생하는전극막, 전기적신호를탄성파로변환하는압전층및 기판의상부에형성된구조물들중 하나이상에특정불순물을도핑하여형성되는온도민감층을포함할수 있다. 그리고, 적외선감지장치는, 적외선반사층및 적외선흡수층을이용하여적외선흡수층으로입사되는적외선을열로변환할수 있다. 그러면, 온도민감층은변환된열의온도변화에기초하여공진주파수의변화를감지하고, 공진주파수의변화를통해적외선의변화를감지할수 있다.

    체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법
    37.
    发明授权
    체적 음향 공진기 구조 및 제조 방법 有权
    大声波声波谐振器结构及其制造方法

    公开(公告)号：KR101708893B1

    公开(公告)日：2017-03-08

    申请号：KR1020100085606

    申请日：2010-09-01

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 손상욱 ,  송인상 ,  김영일 ,  김덕환 ,  김철수 ,  신제식 ,  김형락 ,  이재천

    IPC: H03H9/205 ,  H03H9/15

    CPC classification number: H03H9/02149 ,  H03H3/04 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/131 ,  H03H9/564 ,  H03H9/706 ,  H03H2003/021

    Abstract: 체적음향공진기구조및 제조방법을제공한다. 체적음향공진기는하면의소정영역에비아홀(via)이형성된제1 기판, 상기제1 기판의상부에제1 공기공동이형성되고, 상기제1 공기공동상부에하부전극, 압전층, 상부전극의순서로적층된제1 적층공진부, 상기제1 기판의상부에제2 공기공동이형성되고, 상기제2 공기공동상부에상기하부전극, 상기압전층, 상기상부전극의순서로적층된제2 적층공진부및 상기제1 적층공진부와상기제2 적층공진부가상기하부전극또는상기상부전극을통하여연결되고, 상기제1 적층공진부와상기제2 적층공진부사이에서상기연결된하부전극또는상부전극의하면에제3 공기공동이형성된제1 전극부를포함한다.

    Abstract translation: 提供了一种大容量声波谐振器（BAWR），一种制造BAWR的方法，以及包括BAWR的双工器。 BAWR可以包括第一基板，其包括形成在第一基板的底表面的预定区域中的通孔。 可以在第一基板上形成第一空气腔，并且第一层叠谐振部分可以按照下电极，压电层和上电极的顺序层叠在第一空气腔的上方。 可以在第一基板的上方形成第二空气腔，并且第二层压谐振部分可以按照下电极，压电层和上电极的顺序层叠在第二空气腔的上方。 第一层叠谐振部分和第二层叠谐振部分可以通过下电极或上电极连接。 第一电极部分可以包括形成在第一层压谐振部分和第二层压谐振部分之间的下电极或上电极的底表面上的第三空腔。

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