Abstract:
강유전층을 이용한 정보 저장 매체 및 그 제조 방법이 개시되어 있다. 여기서 본 발명은 기판 상에 순차적으로 적층된 장벽층, 전도층 및 씨드층과, 상기 씨드층 상에 형성되어 있고 수직 잔류 분극을 갖는 데이터 기록층을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 매체 및 그 제조 방법을 제공한다.
Abstract:
A ferroelectric information storage device and a method for storing/reproducing the information are provided to simplify the constitution, reduce the weight and size, and increase the capacity of the information storage device. A ferroelectric layer(10) has a first surface and a second surface opposite to the first surface. A common electrode layer(11) is formed on the first surface of the ferroelectric layer(10). First and second conductive track layers(12a,12b) are formed on the second surface of the ferroelectric layer(10), and apart from each other at a predetermined distance. A conductive roller(20), of which both sides are supported by the first and second conductive track layers(12a,12b), is movably installed along the conductive track layers(12a,12b). A ferromagnetic layer(30) forms a magnetic field in the vicinity of the conductive roller(20).
Abstract:
Provided is a probe position error detecting method and apparatus in a probe-based data storage system. The method includes: preparing servo codes, which are Gray codes, whose Hamming distance is 1 and satisfy an alternately existing condition for Q (a natural number) and Q+1, which are the numbers of '1' bits of codewords of the Gray codes; and detecting a probe position error from a signal read by a servo probe when the servo probe consecutively scans '1' bits of codewords of the servo codes when tracking. The apparatus includes: a plurality of servo probes; a tracking condition checker that, when servo codes, which are Gray codes, whose Hamming distance is 1 and satisfy an alternately existing condition for Q (a natural number) and Q+1, which are the numbers of '1' bits of codewords of the Gray codes, are prepared, checks a tracking condition that the servo probes consecutively scan '1' bits of codewords of the servo codes when tracking; a plurality of position error detectors that correspond to the plurality of servo probes, respectively, and detect probe position errors from signals read by the plurality of servo probes; and an average position error calculator that calculates a mean value of position errors corresponding to servo probes, which consecutively scanned '1' bits, determined by the tracking condition checker among the position errors detected by the plurality of position error detectors. Accordingly, probe position errors can be detected with a stable noise characteristic using a less number of probes.
Abstract:
저항성 팁을 구비한 반도체 탐침 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 저항성 팁을 구비한 반도체 탐침은, 제1불순물이 도핑되어 있으며, 그 첨두부에는 상기 제1불순물과 극성이 다른 제2불순물이 저농도로 도핑된 저항영역이 형성되고, 그 경사면에는 상기 제2불순물이 고농도로 도핑된 제1 및 제2반도체 전극영역이 형성된 저항성 팁; 상기 저항성 팁이 말단부에 위치하는 캔티레버; 상기 캔티레버 상에서 상기 저항영역을 덮는 유전층; 및 상기 유전층 상에서 상기 저항영역에 해당되는 영역에 개구가 형성된 메탈 쉴드;를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 반도체 탐침의 공간 분해능이 향상된다.
Abstract:
패턴된 강유전체 미디어의 제조방법에 대해 기술한다. 본 발명의 방법은 기판 상에 형성된 전극 위에 강유전막을 제조를 위한 전구체로 소정 패턴의 피쳐를 형성하는 단계; 그리고 상기 전구체와 반응하여 강유전물질을 형성하는 소스 물질을 상기 전구체와 반응시켜 상기 피쳐의 전구체를 강유전성물질로 변환하는 단계;를 포함한다. 이러한 본 발명은 전구체로 부터 메모리의 비트에 대응하는 피쳐를 형성하고 이를 소스 물질과 반응시켜 강유전체를 얻는다. 이러한 본 발명의 장점은 종래 방법에 비해 단순한 공정을 통해 패턴된 강유전막을 가지는 미디어의 제조가 가능하다. 특히 전구체 상태에서 패턴닝됨으로써 손상이 없는 강유전체 미디어를 손쉽게 얻을 수 있다. 전구체 피쳐의 패터닝은 강유전체의 패터닝에 비해 손쉬운 점을 고려할 때 본 발명의 제조방법은 경제적인 이득도 수반하며, 이것은 강유전체의 작은 입자 크기를 보장함으로써 정보 기록밀도를 높일 수 있다. 강유전막, 패턴, 피쳐, 전구체, 소스물질
Abstract:
이방성 전도층을 구비하는 강유전체 기록 매체, 그것이 구비되는 기록 장치 및 그 기록 방법이 개시된다. 강유전체 기록 매체는 강유전체 기록층과 상기 강유전체 기록층을 덮는 보호층을 구비하는 것으로서, 상기 강유전체 기록층은 극성 반전(polarization reversal)되는 강유전성 물질(ferroelectric material)로 형성되고, 상기 보호층은 외부 에너지에 의해 도체, 부도체로 전이되는 전기적 이방성 전도층(anisotropic conduction layer)인 것을 특징으로 한다. 개시된 강유전체 기록 매체에 의하면, 헤드 팁과 강유전체 기록층 사이에 작은 전압을 인가하면서 읽기/쓰기 작업을 수행할 수 있고, 강유전체 기록층이 긁히거나 헤드 팁이 손상/파손되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
Abstract:
저항성 팁을 구비한 반도체 탐침의 제조방법이 개시된다. 개시된 저항성 팁을 구비한 반도체 탐침의 제조방법은, 제1 및 제2마스크막을 기판의 상면에 사각형상으로 형성하고, 상기 기판의 상면을 1차적으로 식각한 다음, 상기 제1마스크막을 식각하여 팁 네크의 폭에 해당하는 제3마스크막을 형성한다. 상기 제3마스크막으로 상기 기판을 2차적으로 식각하여 팁 네크의 폭이 소정의 폭으로 되게 한다. 상기 제3마스크막을 제거한 후 상기 기판을 열처리하여 팁의 첨두부를 형성한다. 이에 따르면, 팁 네크의 폭이 일정해지고 따라서 팁의 높이가 일정한 반도체 탐침을 제조할 수 있다.
Abstract:
탐침 어레이를 가지는 저항성 메모리 소자 및 그 제조 방법을 제시한다. 본 발명에 따른 저항성 메모리 소자 제조 방법은, 제1기판 상에 바닥 전극 및 강유전층을 순차적으로 형성하고, 제2기판 상에 데이터 기록 및 재생을 위한 저항성 탐침들의 어레이를 형성하는 과정을 포함한다. 탐침의 팁 부분이 강유전층의 표면에 대향되게 제1기판을 제2기판에 폴리머층을 포함하는 결합층을 이용하여 웨이퍼 수준 결합(wafer level bonding)시키는 과정을 포함한다. 저항성 탐침, 유전 분극, 도메인, 도핑, 공핍층
Abstract:
본 발명은 전하-쌍극자가 결합된 정보 저장 매체 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 기판; 상기 기판 상에 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상에 형성된 강유전층; 및 상기 강유전층 전면 상에 형성되며 전하를 트랩하는 절연층;을 포함하는 전하-쌍극자가 결합된 정보 저장 매체를 제공한다. 이에 의하여, 전기적으로 안정된 정보를 기록할 수 있는 정보 저장 매체를 제공할 수 있다. 또한, 비교적 장범위인 전장을 형성시킴으로써 정보의 재생시 프로브와 정보 저장 매체를 서로 접촉시키지 않고도 신뢰성있게 정보를 재생하면서 프로브와 정보 저장 매체 사이의 접촉에 의해 발생할 수 있는 마모 문제를 해결할 수 있다.
Abstract:
로렌츠력 현미경 및 로렌츠력을 이용한 자구(magnetic domain) 측정방법이 개시된다. 개시된 로렌츠력 현미경은, 자성매체의 자계와 자계내 인가되는 전류의 상호작용에 의한 로렌츠력에 의해 구동되는 도전성 탐침과, 자성매체의 일측에 마련되어 자성매체를 대전시키는 하부전극과, 하부전극이 마련된 자성매체를 지지하며 자성매체를 구동하여 자성매체의 기록면에 대응하는 도전성 탐침이 접촉 또는 비접촉 상태로 자성매체의 기록면을 스캔하도록 하는 스캐너 및, 스캐너를 제어하며 도전성 탐침의 운동성분으로부터 자성매체의 자화에 대한 정보를 검출하는 정보검출부를 구비한다. 본 발명은 도전성 탐침과 자성매체가 접촉 또는 비접촉한 상태에서 탐침에 미치는 로렌츠력의 방향을 감지하여 자구의 자화방향을 검출하므로 해상도가 향상된 자구분포도를 얻을 수 있다.