금속산화물 박막의 증착 방법 및 이를 위한 제조 장치
    33.
    发明公开
    금속산화물 박막의 증착 방법 및 이를 위한 제조 장치 无效
    金属氧化物薄膜沉积方法及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020160090741A

    公开(公告)日:2016-08-01

    申请号:KR1020160000410

    申请日:2016-01-04

    Abstract: 금속산화물박막의증착방법, 및상기금속산화물박막의제조장치에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种金属氧化物薄膜的沉积方法及其制备装置。 金属氧化物薄膜的沉积方法包括以下步骤:通过使用多组分源气体和反应气体对基材进行等离子体处理; 以及在所述基材的表面上使所述多成分源气体与所述反应气体反应而在所述基材上形成金属氧化物薄膜。

    연료 확산속도 제어물질층을 포함하여 메탄올 크로스오버현상을 억제시킨 직접 메탄올 연료전지
    37.
    发明公开
    연료 확산속도 제어물질층을 포함하여 메탄올 크로스오버현상을 억제시킨 직접 메탄올 연료전지 失效
    一种直接甲醇燃料电池,其中包含用于控制燃料扩散速率的材料层的甲醇的较少的氯化物

    公开(公告)号:KR1020070014882A

    公开(公告)日:2007-02-01

    申请号:KR1020050069867

    申请日:2005-07-29

    Abstract: Provided is a direct methanol fuel cell which is inhibited in the crossover of methanol by reducing the diffusion velocity of methanol so as to allow the injected methanol to be reacted completely at a catalyst layer and is high in power density. The direct methanol fuel cell comprises a fuel electrode(5); an air electrode(7); a polymer electrolyte membrane(6); a fuel bottle(1); and a fuel diffusion velocity control material layer(3) which is formed between the fuel bottle and the fuel electrode. Preferably the fuel diffusion velocity control material layer is inserted between the current collector(4) and the battery support(2) present between the fuel electrode and the fuel bottle, and is made of a polymer. Preferably the battery support is made of epoxy carbon or epoxy glass.

    Abstract translation: 提供了通过降低甲醇的扩散速度在甲醇交联中被抑制的直接甲醇燃料电池,以使得注入的甲醇在催化剂层处完全反应并且功率密度高。 直接甲醇燃料电池包括燃料电极(5); 空气电极(7); 聚合物电解质膜(6); 燃料瓶(1); 以及燃料扩散速度控制材料层(3),其形成在燃料瓶和燃料电极之间。 优选地,燃料扩散速度控制材料层插入在集电体(4)和存在于燃料电极和燃料瓶之间的电池支撑件(2)之间,并由聚合物制成。 优选地,电池支撑件由环氧树脂或环氧玻璃制成。

    유연성 박막 증착 방법, 및 이를 위한 증착 장치
    38.
    发明授权
    유연성 박막 증착 방법, 및 이를 위한 증착 장치 有权
    柔性薄膜沉积方法及其沉积设备

    公开(公告)号:KR101800755B1

    公开(公告)日:2017-11-23

    申请号:KR1020160055563

    申请日:2016-05-04

    Abstract: 유연성박막증착방법및 이를위한유연성박막증착장치에관한것으로서, 서로분리된제 1 반응가스공급부및 제 2 반응가스공급부와연결되는반응플라즈마부를구비하고, 상기반응플라즈마부와상기제 1 반응가스공급부및 상기제 2 반응가스공급부각각과의연결을선택적으로전환시키는제어밸브에의해제 1 반응가스와제 2 반응가스가상기반응플라즈마부에선택적으로공급되어상기기재에상기제 1 박막과상기제 2 박막이선택적으로증착되는박막증착장치및 증착방법을포함한다.

    Abstract translation: 柔性薄膜的形成方法,并涉及一种柔性膜沉积装置为此,和连接到所述第一反应气体供给部和彼此分离的第二反应气体供给部的反应等离子体部分,其中所述反应的第一反应气体的供应部分的血浆部分,并且 第一反应气体和第二反应气体通过选择性地切换与每个第二反应气体供应部分的连接的控制阀被选择性地供应到反应等离子体部分,并且第一薄膜和第二薄膜 并选择性地沉积薄膜沉积设备和沉积方法。

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