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公开(公告)号：KR101349267B1
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：KR1020120044574
申请日：2012-04-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , G01N27/403
Abstract: 본 발명의 마이크로 가스 센서 제조 방법 중 반도체식 마이크로 가스 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부 및 하부에 제1 절연막을 형성하는 (a)단계, 상기 실리콘 기판 상부의 제1 절연막 상부에 가열 전극 패턴을 형성하고, 상기 가열 전극 패턴 양측에 가열 전극 패드를 형성하는 (b)단계, 상기 가열 전극 패턴 및 가열 전극 패드를 감싸며, 상기 제1 절연막 상부에 제2 절연막을 형성하는 (c)단계, 상기 복수 개의 가열 전극 패드 상부에 형성된 상기 제2 절연막을 식각하는 (d)단계, 상기 복수 개의 가열 전극 패드 및 상기 제2 절연막 상부에 복수 개의 감지 전극 패드를 형성하는 (e)단계, 상기 가열 전극 패턴이 형성된 영역의 실리콘 기판 및 하부 제1 절연막을 제거하여 멤브레인(Membrane)을 형성하는 (f)단계, 상기 제2 절연막 상에 형성된 복수 개의 감지 전극 패드의 상호 이격된 영역에 무기바인더를 도포 및 건조하는 (g)단계, 상기 무기바인더 상부 및 상기 복수 개의 감지 전극 패드 상부에 감지물질을 도포하여 열처리함으로써 감지막을 형성하는 (h)단계를 포함한다.
이를 통해 본 발명은 감지물질을 도포하기 전에 무기바인더를 먼저 소량 도포 및 건조하고, 그 위에 감지물질을 도포한 후 열처리함으로써, 감지물질의 접착력이 향상되는 효과가 있다.
또한 본 발명은 감지물질을 도포하기 전에 무기바인더를 먼저 도포 및 건조하고, 그 위에 감지물질을 도포한 후 열처리하고, 그 위에 감지물질을 도포하여 열처리함으로써, 감지물질의 접착력이 향상되는 효과가 있다.
또한 본 발명은 감지물질을 도포하기 전에 무기바인더와 감지물질을 혼합하여 절연막 또는 감지 전극 패턴 상부에 도포한 후 건조 및 열처리함으로써, 감지물질의 접착력이 향상되는 효과가 있다.
또한 본 발명은 접착력이 감지물질의 접착력이 향상된 마이크로 가스 센서를 휴대용(portable) 센서 모듈이나 자동차용 센서 모듈에 적용할 경우 이동 중에 발생되는 강한 진동에 견딜 수 있어 장기적으로 사용 가능한 마이크로 가스 센서를 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에서 접착막으로 무기바인더를 사용함으로써, 납(Pb) 또는 카드뮴(Cd)을 접착막으로 사용하지 않아도 되어 환경 문제나 인체 유해성 문제를 유발하지 않는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101135404B1
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020100027762
申请日：2010-03-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 가스센서 어레이용 마이크로 플랫폼이 개시된다. 일 실시예에 따른 가스센서 어레이용 마이크로 플랫폼은 멤브레인층에 마이크로 히터가 직렬연결된 마이크로 히터 어레이와 복수의 감지전극에 공통으로 연결되는 제1 공통전극을 포함하는 마이크로 히터 어레이층과, 제1 공통전극에 연결되는 제1 감지전극 어레이와 마이크로 히터 어레이층에 형성된 제2 공통전극에 연결되는 제2 감지전극 어레이를 포함하는 감지전극 어레이층 및 감지전극 어레이 영역을 제외한 절연층 상부에 형성된 감지물질 보호층을 포함한다. 이에 따라 가스센서 어레이 패키징 구조를 단순화시키고, 가스센서의 감도, 선택성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101078187B1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020090016104
申请日：2009-02-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , H01L21/311 , G01N27/02
Abstract: 본발명에따른마이크로가스센서는기판; 상기기판상에형성되는제 1 절연층및 제 2 절연층; 상기기판및 상기제1 절연층이식각되어상부캐비티가형성된후 상기상부캐비티및 식각되지않은제1 절연층의상부에형성되는제 3 절연층; 상기제3 절연층상의일부에형성되는마이크로히터; 상기마이크로히터와전기적으로연결되어상기제 3 절연층상의일부에형성되는전원전극; 상기마이크로히터및 상기전원전극을감싸고, 상기전원전극의상부가노출되도록형성되는제 4 절연층; 상기제 4 절연층상에형성되는감지전극; 및상기감지전극상에도포되는감지물질을포함하고, 상기기판의배면과상기제 2 절연층에는상기제 3 절연층의하부일부분이외부에노출되도록식각되어하부캐비티가형성되는것을구성적특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101014226B1
公开(公告)日：2011-02-14
申请号：KR1020080012348
申请日：2008-02-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05K13/04
CPC classification number: B25J7/00 , B25J13/085 , B25J15/12
Abstract: 본 발명은 그리퍼 및 그의 구동 방법에 관한 것으로, 액츄에이터의 구동으로 집게의 간격을 좁혀 미세 물체를 그리핑할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 액츄에이터를 압전 구동부와 벤딩 구조물이 결합된 구조로 구성하여, 압전 구동부의 변위 방향과 수직한 방향으로 집게의 변위가 발생됨으로써, 상기 집게의 변위를 압전 구동부의 변위보다 증폭시킬 수 있게 된다.
더불어, 본 발명은 아암들에 지지대를 형성함으로써, 아암들 및 집게들이 경사지게 변형되어, 집게들의 끝부분 간격 변위의 크기를 더 크게 증복할 수 있고, 다양한 크기의 미세한 물체를 그립할 수 있는 것이다.
그리퍼, 벤딩, 링크, 아암, 집게, 압전-
公开(公告)号：KR1020100119057A
公开(公告)日：2010-11-09
申请号：KR1020090037974
申请日：2009-04-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , H01L21/203
Abstract: PURPOSE: A micro-gas sensor and a manufacturing method thereof, which directly forms various sensing materials on a narrow space for a patterning process, is provided to reduce manufacturing processes by omitting an organic removal process. CONSTITUTION: A micro-gas sensor comprises a semiconductor substrate(100), a micro heater layer, a sensing electrode layer and a sensing material layer. The micro heater layer is formed on the top part of the substrate. The sensing electrode layer is formed on the micro heater. The sensing material layer is formed on the top of the sensing electrode layer. A first insulation layer is formed between the semiconductor substrate and the micro heater layer.
Abstract translation: 目的：提供一种微气体传感器及其制造方法，其在窄空间上直接形成用于图案化工艺的各种感测材料，以通过省略有机去除工艺来减少制造工艺。 构成：微气体传感器包括半导体衬底（100），微加热器层，感测电极层和传感材料层。 微加热器层形成在基板的顶部。 感测电极层形成在微加热器上。 感测材料层形成在感测电极层的顶部。 在半导体衬底和微加热器层之间形成第一绝缘层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100942439B1
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：KR1020070141055
申请日：2007-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: 본 발명은 가스센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 가스 감지물질 하부에 위치한 폴리실리콘(poly-silicon) 멤브레인의 특정 영역에 불순물을 주입하여 형성된 마이크로 히터를 폴리실리콘 멤브레인 내부에 구비함으로써, 열적인 구조 안정성, 가스 감지물질 형성 용이성이 우수한, 마이크로 가스센서 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 가스센서는 제1절연막이 형성된 기판상에 증착된 폴리실리콘 내부에 불순물 주입을 하여 형성된 마이크로 히터; 상기 마이크로 히터의 열손실을 감소시키기 위한 폴리실리콘 멤브레인; 상기 마이크로 히터의 양단에 형성되어 전원공급과 온도를 측정하기 위한 전원전극과 온도측정 전극; 상기 마이크로 히터상에 형성된 제2절연막; 상기 제2절연막상에 형성되어 가스를 감지하기 위한 감지물질; 및 상기 감지물질의 물성변화를 측정하기 위한 감지전극을 포함함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 마이크로 가스센서의 제조방법은 제1절연막이 형성된 기판상에 폴리실리콘을 형성하는 단계; 상기 폴리실리콘에 불순물 주입을 하여 마이크로 히터를 형성하는 단계; 상기 마이크로 히터 양단에 전극을 형성하는 단계; 상기 마이크로 히터의 상부에 제2절연막을 형성하는 단계; 상기 제2절연막 상부에 감지물질을 형성하는 단계; 및 상기 감지물질 상에 감지 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
가스, 센서, 폴리실리콘, 멤브레인, 도핑-
公开(公告)号：KR1020090072830A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020070141055
申请日：2007-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: A micro-gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to have the thermal structure stability by installing a micro heater inside a poly-silicon membrane. A micro-gas sensor comprises: a micro heater manufactured by injecting impurity inside poly-silicon evaporated on a substrate(210) in which a first insulating layer(220) is formed; a poly-silicon membrane(242) in order to reduce the heat loss of the micro heater; a power electrode and a temperature measurement electrode formed at both ends of the micro heater in order to measure the electric power supply and temperature; a second insulating layer(260) formed on the micro heater; a sensing member(270) formed on the second insulating layer in order to sense the gas; and a sensing electrode(280) measuring the physical property change of the sensing member.
Abstract translation: 提供一种微气体传感器及其制造方法，通过在多硅膜内部设置微加热器来具有热结构的稳定性。 微气体传感器包括：通过在其中形成有第一绝缘层（220）的衬底（210）上注入多晶硅内的杂质而制造的微加热器; 多晶硅膜（242），以减少微加热器的热损失; 在微加热器的两端形成电力电极和温度测量电极，以测量电力供应和温度; 形成在所述微加热器上的第二绝缘层（260） 感测构件（270），形成在所述第二绝缘层上以感测所述气体; 以及测量感测部件的物理特性变化的检测电极（280）。
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公开(公告)号：KR100782351B1
公开(公告)日：2007-12-11
申请号：KR1020050117423
申请日：2005-12-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 분석 소자와 패키지 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 마이크로 압전 펌프를 구비하여 용액을 빠르게 반응채널홈으로 흐르게 하여 용액 분석 속도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
또한,본 발명은 마이크로 분석 소자를 패키지 바디에 간단한 삽입 공정만 수행하더라도 패키징되어, 조립공정을 단순화시킬 수 있게, 주입구의 개수를 가변시키고 반응채널홈의 길이 및 구조를 가변시켜 설계된 다양한 형태의 마이크로 분석 소자를 용도에 따라 쉽게 패키지할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 마이크로 분석 소자와 패키지 바디에 돌출부와 삽입홈을 구비시켜, 패키지 바디의 광원 및 광 검출기와 마이크로 분석 소자의 광섬유들의 광학적인 정렬을 우수히 할 수 있는 효과가 있다.
마이크로, 분석, 소자, 패키지, 펌프, 용액, 삽입-
公开(公告)号：KR100712420B1
公开(公告)日：2007-04-27
申请号：KR1020060048832
申请日：2006-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 그리퍼 및 그를 구비한 그립 장치에 관한 것으로, 공기가 흡입되고 배출되는 입구(Inlet)홈과, 상기 입구홈에 연결된 채널홈과, 상기 채널홈에 연결된 그립홈이 형성되어 있는 하부 기판과; 상기 입구홈에 대응되는 관통홀이 형성되어 있고, 상기 하부 기판에 접합되어 있는 상부 기판으로 구성된다.
그러므로, 본 발명은 공기를 흡입 및 배출하여 그립홈에 대상물을 흡착하여 그립할 수 있고, 대상물을 쉽게 이탈시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 그립홈의 일부 영역이 상부 기판의 끝단의 선상으로부터 돌출되어 있으면, 대상물을 그립홈에 안착시켜 보다 안전하게 그립할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 아답터를 구비하여, 공기의 누출됨이 없이 그립퍼를 아답터를 통하여 펌프에 연결시킬 수 있는 효과가 있다.
게다가, 본 발명은 그립홈의 폭을 채널홈의 폭보다 크게 하여, 채널홈의 폭보다 큰 대상물을 원활하게 흡착하여 그립할 수 있는 효과가 있다.
흡착, 그리퍼, 그립홈, 아답터, 폭Abstract translation: 本发明涉及一种夹持器，并用他的抓握装置，到所述入口槽，以及与连接到信道槽的抓握槽的下部基板入口（入口），该空气被吸入和排出槽，通道槽和连接形成 。 并且上基板形成有与入口凹槽相对应的通孔并与下基板结合。
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公开(公告)号：KR100679894B1
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：KR1020040058192
申请日：2004-07-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/14
Abstract: 본 발명은 가스 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 가스 센서가 만들어지는 기판의 뒷면을 식각하여 생기는 홈을 그대로 이용하여 감지물질을 도포 시킴으로써, 종래 기술과 같은 가스 감지물질 지지대를 별도로 제작하여 접합하는 공정이 필요하지 않고, 감지물질을 고온에서 소결할 때 지지부가 분리되는 문제를 제거할 수 있으며, 또한 반도체 포토 리소그래피 공정을 이용하여 감지 물질 지지를 위한 홈을 형성하기 때문에 별도의 가스 감지물질 지지대의 정렬장치가 필요 없는 효과가 있다.
가스, 센서, 지지대, 감지물질, 식각
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