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公开(公告)号：KR100485899B1
公开(公告)日：2005-04-29
申请号：KR1020030034938
申请日：2003-05-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01H59/00
Abstract: 본 발명은 시소형 알에프 멤스 스위치에 관한 것으로, 상부에 앵커(101)가 형성되어 있으며, 양측 상부 각각에 압전 엑츄에이터가 형성된 캔틸레버(102)가 상기 앵커(101)의 상부 양측으로 각각 연장되어 있는 제 1 기판(100)과; 상기 제 1 기판(100) 상부의 양측부에 각각 고정된 한 쌍의 스페이서들(251,252)과; 상기 한 쌍의 스페이서들(251,252)에 부착된 제 2 기판(200)으로 구성하되, 상기 제 2 기판(200)에는 상호 이격된 한 쌍의 비아홀들(201,211)이 형성되고, 상기 비아홀들(201,211)에는 도전성물질(202,212)이 코팅되어 있고, 상기 도전성물질(202,212)과 각각 전기적으로 연결된 스위치 전극들(203,223)이 상기 제 1 기판(100)과 대향하는 제 2 기판(200) 하부에 형성되어 있고, 상기 스위치 전극들(203,223)의 사이 제 2 기판(200) 하부 중앙에는 앵커(220)가 형성되어 있고, 상기 앵커(220)의 하부의 양측부로 시소플레이트(221)가 연장되어 있고, 상기 시소플레이트(221) 양측 상부 각각에는 상기 스위치 전극들(203,223)과 대향하는 스위치 접점들(231,232)이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 저전압으로도 큰 힘을 유발시켜 스위치 온 상태를 유지할 수 있으며, 접점의 분리특성을 높일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 구조에서는 추가적인 패키징 공정을 수행하지 않아도 되는 효과가 있다-
公开(公告)号：KR1020050018039A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：KR1020030055860
申请日：2003-08-12
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y35/00
Abstract: PURPOSE: A photolithography method using a parallel probe is provided to perform a high-speed photolithography process and mass-produce a nano device by using a contact leveling probe. CONSTITUTION: A parallel probe array is formed on a wafer. A plurality of contact leveling probes are mutually symmetrically formed in the outer or inner region of the parallel probe array. A voltage is applied to the contact leveling probes and the parallel probe to drive the contact leveling probes and the parallel probe(S110,S120). The wafer having the parallel probe approaches a target wafer on which a photolithography process is to be performed. When one of the contact leveling probes comes in contact with the target wafer, the wafer having the parallel probe is horizontally aligned(S170). When all the contact leveling probes come in contact with the target wafer, the voltage applied to all the probes is removed(S190). After the wafer having the parallel probe approaches the target wafer, a voltage is applied to the parallel probe to perform a photolithography process(S220).
Abstract translation: 目的：提供使用平行探针的光刻方法来执行高速光刻工艺，并通过使用接触平衡探针大量生产纳米器件。 构成：在晶片上形成平行的探针阵列。 多个接触调平探针在平行探针阵列的外部或内部区域中相互对称地形成。 电压被施加到接触调平探针和并联探针上，以驱动接触平衡探针和平行探针（S110，S120）。 具有平行探针的晶片接近要在其上进行光刻工艺的目标晶片。 当接触平衡探针中的一个与目标晶片接触时，具有平行探针的晶片水平对准（S170）。 当所有接触平衡探针与靶晶片接触时，去除所有探针上施加的电压（S190）。 在具有平行探针的晶片接近目标晶片之后，向平行探针施加电压以执行光刻处理（S220）。
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公开(公告)号：KR1020040105046A
公开(公告)日：2004-12-14
申请号：KR1020030035888
申请日：2003-06-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00 , B82Y35/00
Abstract: PURPOSE: A system and a method for nano-lithography using parallel probes is provided to reduce the process time for nano-lithography by performing the nano-lithography only in a region for forming a nano-pattern. CONSTITUTION: A system for nano-lithography using parallel probes comprises a probe litho scanner, a probe litho controller(320), an ultraviolet exposure unit(330), and an ultraviolet litho controller(340). The probe litho scanner has a plurality of parallel probes for forming a nano-pattern region. A region for forming a nano-pattern is scanned by the probe litho scanner and the other region except the nano-pattern region is exposed by the ultraviolet exposure unit.
Abstract translation: 目的：提供使用平行探针的纳米光刻的系统和方法，以通过仅在形成纳米图案的区域中进行纳米光刻来减少纳米光刻的处理时间。 构成：使用平行探针的纳米光刻系统包括探针光刻扫描器，探针光栅控制器（320），紫外线曝光单元（330）和紫外光栅控制器（340）。 探针光刻扫描仪具有用于形成纳米图案区域的多个平行探针。 用于形成纳米图案的区域被探测光刻扫描仪扫描，除了纳米图案区域之外的其它区域被紫外线曝光单元暴露。
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公开(公告)号：KR102144585B1
公开(公告)日：2020-08-13
申请号：KR1020180074286
申请日：2018-06-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/543 , G01N27/327
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101990703B1
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：KR1020170154148
申请日：2017-11-17
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/327 , G01N33/543 , C12Q1/00
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公开(公告)号：KR1020170133611A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020160064563
申请日：2016-05-26
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명의일 실시예에따른색 정보를검출하는색 리더기는적어도 1이상의색을가지는샘플에적어도 3이상의파장의광을출력하는광원부, 상기샘플에반사된광을전기신호로변환하는수광소자(PD, photodetector), 및상기광원부를제어하여상기적어도 3이상의파장의광을파장별로순차적으로점등하고, 상기순차적점등에대응하여상기광원부의동작과상기수광소자의동작을동기화시키는제어부를포함할수 있다.
Abstract translation: 一种光接收用于彩色读取器元件，用于检测根据本发明的一个实施例的颜色信息是一个光源，用于输出至少三个或更多个波长的样品具有至少为1的颜色，以及将所述光反射到样品为电信号（ PD，光电检测器），并且可以是一个控制单元，通过控制光源部依次通过各波长的点亮所述至少三个或更多个波长，并且响应于同步所述光源的光接收元件的操作的顺序的照明 。
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公开(公告)号：KR1020170074730A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：KR1020160044572
申请日：2016-04-12
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: C12Q1/04 , A61L9/22 , B03C3/02 , B03C3/45 , G01N1/2214 , G01N21/64 , G01N27/26
Abstract: 본발명의일 실시예에따른공기중의생체물질살균, 포집및 분석장치는음이온을방출하여, 공기중에포함된부유물질을이온화시키는이온발생기, 상기이온화된부유물질이전기적인력에의해흡착되는적어도하나이상의포집부, 및상기적어도하나이상의포집부에흡착된부유물질을분석하는분석수단을포함하고, 상기부유물질은미세먼지, 바이러스및 유해세균중 적어도하나이상을포함하고, 상기분석수단은상기바이러스및 상기유해세균에염색또는효소특이반응을유도하여, 상기바이러스및 상기유해세균의유무와종류를분석할수 있다. 또한, 상기전극으로부터생체물질을광검출기로분석함으로써공기안에포함된생체물질의종류나양을간단하고신속하게확인할수 있으며, 실시간검출및 자동화가가능하다.
Abstract translation: 生物材料根据本发明，以释放阴离子的实施例中灭菌，收集和分析装置在空气中，以及至少一个离子发生器，该离子化的悬浮固体，以电离所述悬浮物中所含的空气它是由电引力吸附 以及分析装置，用于分析吸附到所述至少一个收集部分的悬浮物质，其中所述悬浮物质包含细尘，病毒和有毒细菌中的至少一种或多种， 并且在有害细菌中诱导染色或酶特异性反应以分析病毒和有害细菌的存在或种类。 另外，通过用光电探测器分析来自电极的生物分子，可以容易且快速地检查包含在空气中的生物材料的种类，并且实时检测和自动化是可能的。
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公开(公告)号：KR101611978B1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：KR1020140063576
申请日：2014-05-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 타겟단백질측정장치및 방법이제공된다. 본발명의실시예에따른타겟단백질측정장치는, 전극들이탑재되는프로브, 보존액을보관하는보관부, 프로브에탑재된전극들을세척하고전류를측정하기위한세척/측정부및 샘플이보관되는반응부를포함한다. 이에의해, 일회용 WE만을교체함으로써카트리지비용을대폭절감할수 있다. 또한, 측정을위한복잡한과정이필요없으며현장에서바로적용가능하다.
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