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公开(公告)号：KR1020080034257A
公开(公告)日：2008-04-21
申请号：KR1020060100246
申请日：2006-10-16
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: An automation system for nano-wire transfer and a method for driving the same are provided to achieve high reproducibility with reduced misalignment errors for the mass nano-wire transfer, since the entire process is automatically controlled by a system control when a nano-wire is transferred to other substrates at the same pressure and conditions simultaneously. An automation system for nano-wire transfer(300) comprises an adhesive coating unit(310), a nano-wire transfer unit(330), a substrate moving unit(320), and a system control unit(340). The adhesive coating unit is to coat an adhesive onto a substrate(410) to be used in nano-wire transfer. The nano-wire transfer unit is to transfer nano-wire onto the substrate. The substrate moving part is installed between the adhesive coating unit and nano-wire transfer unit to move a substrate under process. The system control unit controls the adhesive coating layer, nano-wire transfer unit, and substrate moving unit.
Abstract translation: 提供了一种用于纳米线转移的自动化系统及其驱动方法，以实现高重现性并减少了大量纳米线转移的失准误差，因为当纳米线为 在相同的压力和条件下同时转移到其他基材。 一种用于纳米线转移（300）的自动化系统包括粘合剂涂覆单元（310），纳米线转移单元（330），基底移动单元（320）和系统控制单元（340）。 粘合剂涂布单元将粘合剂涂覆到用于纳米线转移的基底（410）上。 纳米线转移单元将纳米线转移到基底上。 基板移动部分安装在粘合剂涂布单元和纳米线转移单元之间以移动正在处理的基板。 系统控制单元控制粘合剂涂层，纳米线转移单元和基底移动单元。
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公开(公告)号：KR1020060104574A
公开(公告)日：2006-10-09
申请号：KR1020050026857
申请日：2005-03-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입하여 마이크로 그리퍼에 발생하는 스틱션을 해결할 수 있는 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 그리퍼는 정전기력을 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼에 에어가 입력되는 에어 흡입구 및 상기 에어 흡입구에 입력되는 에어를 마이크로 그리퍼의 조에 전달하는 에어 플로우 채널부를 더 포함하여 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법은 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입함으로써, 그리퍼에 대상물체가 붙어 있는 스틱션 문제를 해결하고, 미소 부품이나 바이오 셀 등을 쉽게 조립, 이동, 고정, 조합할 수 있는 효과가 있다.
마이크로 그리퍼, 조, 에어 블로우, 에어 플로우 채널부-
公开(公告)号：KR1020050121585A
公开(公告)日：2005-12-27
申请号：KR1020040046757
申请日：2004-06-22
IPC: H01L27/12
CPC classification number: H01L21/2007 , H01L21/76251
Abstract: 본 발명은 양극접합을 이용한 에스오지(SOG) 기판 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판과 글래스 기판을 양극 본딩(Anodic bonding) 공정으로 접합하는 제 1 단계와; 상기 접합된 두 기판 중, 실리콘 기판 또는 글래스 기판의 일부를 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 수행하여 제거하는 제 2 단계로 구성된다.
따라서, 본 발명은 양극본딩으로 실리콘 기판과 글래스 기판을 접합하여, 그 접합된 기판으로 마이크로 광학용 소자 및 마이크로 유체 소자 등, 다양한 마이크로 소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020050112260A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：KR1020040037196
申请日：2004-05-25
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01L41/314 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/332
Abstract: 본 발명은 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압전 구동 방식의 액츄에이터에 의한 그리핑 방식을 제안하여 저전압 구동과 그리핑의 힘을 크게 낼 수 있고, 그리핑 범위를 조절할 수 있는 그리퍼에 관한 것이다.
본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 실리콘 웨이퍼를 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 있어서, 실리콘 하부면을 에칭하고 실리콘 산화막과 폴리 실리콘을 차례로 증착하는 단계; 상기 증착된 폴리 실리콘 상에 질화 실리콘을 증착 및 패터닝하고 그리핑 구동 변위 센싱 및 제어를 위한 변위센서를 만드는 단계; 상기 폴리 실리콘 상부에 하부전극을 형성하는 단계; 상기 하부전극 상부에 압전 물질을 증착 및 패터닝하여 압전 액츄에이터를 형성하는 단계; 상기 압전 액츄에이터 상부에 상부전극을 형성하는 단계 및 상기 폴리 실리콘과 실리콘 산화막의 일부를 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 압전 박막에 전압을 인가하여 길이 방향으로 수축시켜 압전 박막이 입힌 쪽으로 휘게 함으로써 물체를 잡거나 놓을 수 있고, 외팔 집게형과 양팔 집게형의 두 가지 형태로 제작이 가능한 장점이 있고, 그리핑 범위를 자유로이 조절할 수 있으며, 에너지 소비를 줄일 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020170014959A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020150109051
申请日：2015-07-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은무선센서및 이의전력제어기술에관한것으로, 무선센서의전력제어방법은 (a) 웨이크업이수행되면일련의동작을확인하는단계, (b) 상기일련의동작이특정기준을만족하면외부의무선전력송신장치에전력전송을요청하는단계및 (c) 상기전력전송이시작되면상기무선전력송신장치에의하여전송된전력을모니터링하여특정전력범위내에서상기전송된전력이벗어나지않도록제어하는단계를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101489302B1
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：KR1020130090773
申请日：2013-07-31
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/003 , H01L41/047 , H01L41/1132
Abstract: 본 발명은 압력센서에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 넓은 압력의 측정범위를 구비하는 압력센서를 제공하는데 있다. 또한, 압력센서는 전극을 형성하는 물질을 따로 구비할 필요가 없는 압력센서를 제공하는데 있다. 본 발명에 따른 압력센서는 상부로 갈수록 높이가 높은 상부면을 구성하는 계단식 구조의 웨이퍼, 웨이퍼를 수용할 수 있도록 형성된 반전된 계단식 구조로, 웨이퍼의 상부에 상기 웨이퍼와 이격된 상태로 배치되며, 외력에 의하여 웨이퍼에 접근하는 방향으로 변형가능한 변형웨이퍼, 웨이퍼와 변형웨이퍼 사이에 배치되어, 절연물질로 구성되며, 웨이퍼와 변형웨이퍼 사이의 거리를 유지시키는 보호필름을 포함한다.
Abstract translation: 压力传感器技术领域本发明涉及一种压力传感器，其目的在于提供一种压力传感器，该压力传感器具有宽范围压力的测量范围，不需要任何元件来形成电极。 根据本发明，压力传感器包括：构成朝向顶部具有较高高度的上表面的升压结构的晶片; 一个倒置的升压结构的可变形晶片，用于容纳位于其上侧的晶片，该晶片与晶片有一段距离，并且可通过外力向晶片变形; 以及放置在晶片和可变形晶片之间保护距离并且包括绝缘体的保护膜。
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公开(公告)号：KR101434328B1
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：KR1020130104623
申请日：2013-09-02
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01H17/00
Abstract: The present invention relates to a multi-wavelength resonant ultrasonic sensor array. The ultrasonic sensor array of the present invention comprises a plurality of acoustic detection films having a plurality of resonant frequencies, respectively; an acoustic detection substrate surrounding the edge of the acoustic detection film and having a plurality of sonic channels which transmits sound waves to the acoustic detection film by corresponding to the position of each acoustic detection film; and an acoustic reflector coupled to one surface of the acoustic detection substrate while facing the sonic channel across the acoustic detection film and having a plurality of resonant holes dug at a constant depth depending on the resonant frequency of the acoustic detection film by corresponding to the position of each acoustic detection film. Therefore detection sensitivity is significantly increased by applying an ultrasonic sensor resonating in a specific frequency, and the properties of a broadband ultrasonic sensor are formed by arraying the ultrasonic sensors so that wide-band ultrasonic waves can be detected precisely.
Abstract translation: 本发明涉及一种多波长谐振超声波传感器阵列。 本发明的超声波传感器阵列分别包括具有多个谐振频率的多个声学检测膜; 围绕声检测膜的边缘的声学检测基板，并且具有多个声波通道，声音通道对应于每个声学检测膜的位置将声波传播到声学检测膜; 以及声学反射器，其耦合到所述声学检测基板的一个表面，同时面向所述声学检测膜的所述声波通道，并且具有根据所述声学检测膜的谐振频率相应于所述位置而以恒定深度挖出的多个谐振孔 的每个声检测膜。 因此，通过施加以特定频率谐振的超声波传感器，检测灵敏度显着提高，并且通过排列超声波传感器形成宽带超声波传感器的特性，从而可以精确地检测宽带超声波。
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公开(公告)号：KR101304251B1
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：KR1020110126520
申请日：2011-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/483 , C12Q1/02 , G01N27/00 , C12M1/42
Abstract: 단일 세포의 pH, 산소 농도, 이산화탄소 농도, 온도 등과 같은 단일 세포의 대사 정보를 측정하는 세포 대사 정보 측정 장치 및 그 제조 방법이 개시되어 있다. 세포 대사 정보 측정 장치는 멤브레인; 상기 멤브레인의 적어도 일 측에 형성되는 하나 이상의 전극 패드; 상기 멤브레인의 상에 위치하고, 그 내부에 형성되는 하나 이상의 챔버를 갖는 몰드; 상기 몰드의 상기 하나 이상의 챔버 내부 및 상기 멤브레인 상에 각각 형성되는 하나 이상의 측정용 요소들을 포함하며, 상기 하나 이상의 측정용 요소 및 상기 하나 이상의 패드가 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101197570B1
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：KR1020100078776
申请日：2010-08-16
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 멤브레인 영역을 간편하게 특정할 수 있고, 압력이 가해지는 방향의 두께를 감소시켜 미소 센서를 구현할 수 있는 압저항형 압력센서 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명은 하부전극으로 기능하는 제1 반도체층, 절연층 및 제2 반도체층이 적층된 기판과, 상기 제2 반도체층과 상기 절연층을 관통하여 상기 제1 반도체층 내로 확장된 식각 장벽층과, 상기 식각 장벽층에 의해 정의되어 상기 제1 반도체층 내에 형성된 공동과, 상기 제2 반도체층과 상기 절연층을 관통하여 상기 공동까지 확장된 개구부를 매립하는 밀봉막과, 상기 공동과 중첩되도록 상기 제2 반도체층 내에 형성된 상부전극과, 상기 상부전극과 접속된 제1 전극단자와, 상기 제2 반도체층과 상기 절연층을 관통하여 상기 제1 반도체층과 접속된 제2 전극단자를 포함하는 압저항형 압력센서를 제공한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 식각 선택비가 우수한 플루오르화크세논(XeF
2 ) 가스를 이용한 식각공정을 실시하여 공동을 형성함으로써 공동의 크기를 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 공동을 밀봉하기 위한 밀봉막을 산화공정으로 형성함으로써 종래기술에 따른 증착공정에 비해 밀봉 특성을 개선시킬 수 있다. 더욱이, 공동 상부에 형성되는 밀봉막의 두께를 얇게 제어하는 것이 가능하여 미소 센서를 구현할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020110090856A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：KR1020110062103
申请日：2011-06-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A capsule type diagnostic unit equipped with a temperature sensor is provided to effectively measuring temperature of outside of a capsule without changing a shape and material of the diagnostic unit. CONSTITUTION: A capsule type endoscope apparatus(200) is composed of a head unit, a body unit, and a tail unit. A capsule head unit comprises a image sensor unit(220) unit and illuminating means(210). The image sensor unit is formed on a substrate for imaging and takes a photograph of believed range by the illuminating means. A protective film of the cupola-shape consisting of the transparent material is formed on the image sensor unit and the front side of the illuminating means. A temperature sensor(280) is formed in an electricity connection metal part(260).
Abstract translation: 目的：提供一种装有温度传感器的胶囊型诊断装置，用于有效地测量胶囊外部的温度，而不会改变诊断单元的形状和材料。 构成：胶囊型内窥镜装置（200）由头单元，身体单元和尾单元构成。 胶囊头单元包括图像传感器单元（220）单元和照明装置（210）。 图像传感器单元形成在用于成像的基板上，并且通过照明装置拍摄相信范围的照片。 在图像传感器单元和照明装置的前侧形成由透明材料构成的圆顶状保护膜。 温度传感器（280）形成在电连接金属部件（260）中。
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