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公开(公告)号：KR101842964B1
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：KR1020160100552
申请日：2016-08-08
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C25B11/0415 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C23C16/32 , C23C16/503 , C23C16/56 , C25B11/02 , C25B11/0447 , Y02E60/366
Abstract: 텅스텐카바이드나노플레이크(nanoflake)를이용한수소생산용전극의제조방법은, 수소플라즈마가인가되는화학기상증착공정을이용하여, 나노결정다이아몬드박막상에텅스텐카바이드나노플레이크를제조하는단계; 및상기텅스텐카바이드나노플레이크의표면으로부터산화물층또는그래핀층을제거함으로써상기텅스텐카바이드나노플레이크의수소발생반응에대한활성을증가시키는단계를포함한다. 텅스텐카바이드형성후 사이클릭세정(cyclic cleaning)을통하여텅스텐카바이드표면의산화물층및/또는그래핀층을제거함으로써, 텅스텐카바이드의수소발생반응(Hydrogen Evolution Reaction) 활성을증가시켜촉매전극으로서의활용도를높일수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160093900A
公开(公告)日：2016-08-09
申请号：KR1020150014798
申请日：2015-01-30
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01N27/30 , B82B1/001 , B82B3/0019
Abstract: 센싱전극은, 기판및 필라멘트(filament)가위치하는반응챔버에, 수소및 탄화소수를포함하는원료기체를주입하는단계; 상기기판을 850도내지 930도의온도로가열하는단계; 상기필라멘트를가열하여상기원료기체를활성화하는단계; 및활성화된상기원료기체로부터, 가열된상기기판상에전극층을형성하는단계에의해제조될수 있다. 상기전극층은, 그래핀(graphene) 층및 상기그래핀층에삽입되며상호연결된(inter-connected) 다이아몬드나노플레이크(diamond nanoflake)들로이루어진다. 다이아몬드나노플레이크들의상호연결에의해전도성이향상되어, 센싱전극의전기화학적성능이향상될수 있다.
Abstract translation: 可以制造感测电极，其包括：将包括氢和烃的源气体注入到基板和灯丝所在的反应室中的步骤; 在850-930摄氏度的温度下加热衬底的步骤; 通过加热灯丝来激活源气体的步骤; 以及在被加热的基板上形成电极层的步骤。 电极层由石墨烯层和插入到石墨烯层中的相互连接的金刚石纳米片形成。 通过金刚石纳米片之间的互连改善了电导率，并且能够提高感测电极的电化学性能。
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公开(公告)号：KR1020160050929A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：KR1020140150130
申请日：2014-10-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0463 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , H01L31/0224 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 박막태양전지의제조방법은투명기판의제1 면상에투명한제1 후면전극을증착하는단계; 제1 후면전극상에고전도성금속을포함하는제2 후면전극을증착하는단계; 제1 및제2 후면전극의이중층을분리하기위해제1 레이저스크라이빙을수행하는단계; 제2 후면전극상에셀레늄(Se) 또는황(S)을포함하는광흡수층을증착하는단계; 광흡수층을분리하기위해투명기판의제1 면과마주보는제2 면으로레이저를입사시켜제2 레이저스크라이빙을수행하는단계; 광흡수층상에투명전극을증착하는단계; 및투명전극을분리하기위해제2 면으로레이저를입사시켜제3 레이저스크라이빙을수행하는단계를포함한다. 이에따라, 기판입사레이저방식의패터닝을가능케하여패터닝공정의가격, 생산성, 정밀성을향상시키므로, 태양전지의경쟁력을확보할수 있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种制造薄膜太阳能电池的方法和其中提高光电转换效率，生产率和功能性的薄膜太阳能电池的模块结构。 制造薄膜太阳能电池的方法包括以下步骤：在透明基板的第一表面上沉积透明的第一后电极; 在所述第一后电极上沉积包括高导电性金属的第二后电极; 执行第一激光划线以分离第一和第二后电极的双层; 在第二后电极上沉积包含硒（Se）或硫（S）的光吸收层; 通过向与透明基板的第一表面相对的第二表面发射激光来进行激光划线以分离光吸收层; 将透明电极沉积在光吸收层上; 以及通过向第二表面发射激光来执行第三激光划线以分离透明电极。 因此，通过允许基板发射激光器的图案化，本发明能够通过提高图案化处理的价格，生产率和精度来确保太阳能电池的竞争力。
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公开(公告)号：KR101427710B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020120137651
申请日：2012-11-30
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 다이아몬드 파우더(powder)의 제조 방법은, 기판상에 다이아몬드를 포함하는 시드(seed) 입자를 형성하는 단계; 기판 및 필라멘트가 위치하는 반응 챔버에 원료 기체를 주입하는 단계; 기판을 가열하는 단계; 필라멘트를 가열하여 원료 기체를 활성화시키는 단계; 가열된 필라멘트를 이용하여 시드 입자를 기판으로부터 분리하는 단계; 및 활성화된 원료 기체를 이용하여, 기판으로부터 분리된 시드 입자상에 다이아몬드를 성장시키는 단계를 포함할 수 있다. 다이아몬드 파우더의 제조 방법에 의하여, 기체로부터의 입자 합성(gas-to-particle synthesis) 빙식으로 다이아몬드 파우더를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101320620B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020120037503
申请日：2012-04-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C16/44 , C23C16/448 , C30B29/04
CPC classification number: C23C16/27 , C23C16/271 , C23C16/463
Abstract: 본 발명은 화학기상증착 공정을 통해 다이아몬드를 합성함에 있어서 기판 온도의 상승을 억제함과 동시에 다이아몬드 합성 기체 또는 이온의 활성화 정도를 향상시킴으로써 다이아몬드의 성장속도를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치 및 이를 이용한 다이아몬드 합성 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치는 화학기상증착 공정이 진행되는 챔버와, 상기 챔버 내에 구비되며, 다이아몬드의 성장 공간을 제공하는 기판 및 상기 기판 상부의 이격된 위치에 구비되는 열차단 구조물을 포함하여 이루어지며, 상기 열차단 구조물은 전구체 가스가 이동될 수 있는 개구부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130114994A
公开(公告)日：2013-10-21
申请号：KR1020120037503
申请日：2012-04-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C16/44 , C23C16/448 , C30B29/04
CPC classification number: C23C16/27 , C23C16/271 , C23C16/463
Abstract: PURPOSE: A chemical vapor deposition device for a diamond composition and a diamond composition method using the same are provided to suppress an increase on substrate temperature and to improve the extent of activation of a diamond composition gas or ion at the same time. CONSTITUTION: A chemical vapor deposition device for a diamond composition includes a chamber in which a chemical vapor deposition process is progressed; a substrate formed inside the chamber and provides a space for the growth of a diamond; and a heat insulation structure formed at a position spaced from the top of the substrate. The heat insulation structure includes an opening in which a precursor gas can be moved. A filament of a high melting point is arranged on an upper space of the chamber. The heat insulation structure is arranged between the filament and the substrate. [Reference numerals] (AA) High melting point filament; (BB) Substrate; (CC) Water-cooling block
Abstract translation: 目的：提供一种用于金刚石组合物的化学气相沉积装置和使用其的金刚石组合物方法，以抑制衬底温度的升高并且同时改善金刚石组合物气体或离子的活化程度。 构成：用于金刚石组合物的化学气相沉积装置包括其中进行化学气相沉积工艺的室; 形成在所述室内的衬底，并提供用于生长金刚石的空间; 以及形成在与基板的顶部间隔开的位置处的隔热结构。 隔热结构包括可以移动前体气体的开口。 高熔点的细丝布置在腔室的上部空间上。 隔热结构设置在灯丝与基板之间。 （附图标记）（AA）高熔点丝; （BB）基材; （CC）水冷块
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公开(公告)号：KR1020130079787A
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：KR1020120000491
申请日：2012-01-03
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A thin film having composite properties and a manufacturing method thereof are provided to optimize the properties with separately controlling the direction of a texture and the direction of a growth surface, thereby generating the desired thin film. CONSTITUTION: A manufacturing method of a thin film having composite properties includes: a step of growing a thin film including a texture having a first direction under first deposition conditions; and a step of growing a growth surface having a second direction on the surface of the thin film under second deposition conditions different from the first deposition condition. The first and the second direction are separately controlled. In the step of growing the growth surface, the texture having the first direction is maintained. At least one of the second deposition conditions such as deposition temperature, deposition pressure, gas composition, and heterogeneous element addition is different from one of the first deposition conditions.
Abstract translation: 目的：提供具有复合性质的薄膜及其制造方法，以通过分别控制织构的方向和生长表面的方向来优化性能，从而产生所需的薄膜。 构成：具有复合性质的薄膜的制造方法包括：在第一沉积条件下生长包括具有第一方向的织构的薄膜的步骤; 以及在与第一沉积条件不同的第二沉积条件下，在薄膜的表面上生长具有第二方向的生长表面的步骤。 第一和第二方向是分别控制的。 在生长生长表面的步骤中，维持具有第一方向的纹理。 诸如沉积温度，沉积压力，气体组成和异质元素添加的第二沉积条件中的至少一个不同于第一沉积条件之一。
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公开(公告)号：KR1020130045516A
公开(公告)日：2013-05-06
申请号：KR1020110109770
申请日：2011-10-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0322 , H01L31/0326 , H01L31/03928 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A thin film solar cell and a method for manufacturing the same are provided to form an electrode surface layer including a large amount of oxygen in the back electrode, and to secure the stability of the back electrode in a high temperature. CONSTITUTION: A thin film solar cell includes a substrate, a back electrode(20), a light absorption layer(40), and an electrode surface layer(30). The back electrode is formed on the substrate. The light absorption layer is formed on the back electrode and includes selenium or sulfur. The electrode surface layer is formed between the back electrode and the light absorption layer. The electrode surface layer includes oxygen for controlling the diffusion of sodium from the back electrode to the light absorption layer.
Abstract translation: 目的：提供薄膜太阳能电池及其制造方法，以形成背面电极中含有大量氧的电极表面层，并确保背极电极在高温下的稳定性。 构成：薄膜太阳能电池包括基板，背面电极（20），光吸收层（40）和电极表面层（30）。 背面电极形成在基板上。 光吸收层形成在背面电极上，并且包括硒或硫。 电极表面层形成在背面电极和光吸收层之间。 电极表面层包括用于控制钠从背电极到光吸收层的扩散的氧。
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公开(公告)号：KR101064517B1
公开(公告)日：2011-09-15
申请号：KR1020100115988
申请日：2010-11-22
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본 발명은 ZnO 박막 형성시 전구체들의 주입량 비율을 조절하는 것을 통해 박막의 결정 성장방향을 방향에서 방향으로 유도함과 함께 입자크기 및 증착속도를 효과적으로 제어하여 ZnO 박막의 표면 요철 구조의 재현성을 향상시킬 수 있는 ZnO 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 ZnO 박막 성장방법은 MOCVD(metal-organic chemical vapor deposition) 방법을 이용하여 ZnO 박막을 성장시키며, 전구체는 과 로 구성되며, 상기 과 의 주입량의 비율을 변화시켜 ZnO 박막의 결정 성장방향을 방향에서 방향으로 변화시키는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100086527A
公开(公告)日：2010-08-02
申请号：KR1020090005767
申请日：2009-01-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C04B35/52 , C04B35/565 , C04B35/584
CPC classification number: C04B41/85 , C04B35/573 , C04B35/591 , C04B41/0054 , C04B41/5002 , C04B2235/3418 , C04B2235/428 , C04B2235/945 , C04B2235/9646 , C04B2235/9669
Abstract: PURPOSE: A diamond film coated ceramic body and a manufacturing method thereof are provided to remove one of two phases from the surface of a processed ceramic body for improving the roughness of the surface of the ceramic body. CONSTITUTION: A manufacturing method of a diamond film coated ceramic body comprises the following steps: obtaining a ceramic body by molding and sintering a mixture composition containing a ceramic particle phase and a matrix phase; removing the matrix phase from the surface of the ceramic body to form a surface layer with micro irregularities; and coating the diamond film on the surface of the ceramic body. The removing step is either a chemical etching or a mechanical etching.
Abstract translation: 目的：提供一种金刚石膜涂覆陶瓷体及其制造方法，以从加工陶瓷体的表面除去两相之一，以改善陶瓷体表面的粗糙度。 构成：金刚石膜涂覆陶瓷体的制造方法，包括以下步骤：通过模制和烧结含有陶瓷颗粒相和基质相的混合物组合物来获得陶瓷体; 从陶瓷体的表面去除基体相以形成具有微小凹凸的表面层; 并将金刚石膜涂覆在陶瓷体的表面上。 去除步骤是化学蚀刻或机械蚀刻。
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