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公开(公告)号:KR101471955B1
公开(公告)日:2014-12-12
申请号:KR1020130151533
申请日:2013-12-06
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 미세 하중의 감지를 위한 촉각 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전도성 나노 또는 마이크로 기둥의 맞물림에 따른 전압, 전류 및 저항의 변화에 따라 2차원 평면상에 서로 수직으로 작용하는 전단응력을 동시에 감지하는, 2차원 평면상에 작용하는 전단응력 측정용 촉각 센서에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于感测微小负载的触觉传感器,更具体地说,涉及一种用于测量施加到二维平面上的剪切应力的触觉传感器,该感应传感器同时检测垂直施加到二维平面上的剪切应力 的电压,电流和电阻由导电纳米或微柱的接合引起。
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公开(公告)号:KR101449410B1
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:KR1020120142460
申请日:2012-12-10
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 미세 하중의 감지를 위한 촉각 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전도성 나노 또는 마이크로 기둥의 맞물림에 따른 전압, 전류 및 저항의 변화에 따라 수직 하중, 전단 하중 및 비틀림 하중을 감지하는 전도성 나노 또는 마이크로 기둥의 맞물림을 이용한 촉각 센서에 관한 것이다.
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公开(公告)号:KR1020140074478A
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:KR1020120142460
申请日:2012-12-10
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: The present invention relates to a tactile sensor for sensing minute loads and, more specifically, to a tactile sensor using the engagement of conductive nano-pillars or micro-pillars to sense vertical loads, shear loads, and torsional loads using changes in voltage, current, and resistance caused by the engagement of conductive nano-pillars or micro-pillars.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于感测微小负载的触觉传感器,更具体地说,涉及一种使用导电纳米柱或微柱接合以感测垂直载荷,剪切载荷和使用电压,电流变化的扭转载荷的触觉传感器 ,以及由导电纳米柱或微柱的接合引起的电阻。
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公开(公告)号:KR101346710B1
公开(公告)日:2014-01-16
申请号:KR1020120013980
申请日:2012-02-10
Applicant: 한국기계연구원 , 서울대학교산학협력단 , 전북대학교산학협력단
CPC classification number: A61N1/36032 , A61N1/0541 , A61N1/36036 , H04R1/083 , H04R17/02 , H04R31/006 , H04R2430/03
Abstract: 본 발명은 인공 와우 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 액추에이터를 통해 소리의 민감도나 주파수 선택도를 조정할 수 있도록 하는 인공 와우 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 능동 피드백 제어용 인공 와우 장치는 인체 내부로 삽입되어 주파수 대역별로 소리를 감지하는 인공 와우 장치로서, 소리에 의한 진동을 감지하고, 상기 진동의 크기에 대응되는 전기신호를 생성하는 센서부와, 상기 센서부에 배치되어 상기 전기신호에 따라 반응하여, 상기 소리의 크기에 따른 민감도를 조절하거나 상기 주파수 대역별로 감지되는 소리의 주파수 선택도를 조절하는 작동자를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及耳蜗植入装置,更具体地说,涉及一种能够通过致动器控制声音的灵敏度或选择性的人工耳蜗植入装置。 根据本发明的示例性实施例,用于主动反馈控制的耳蜗植入装置被插入到人体中并且被配置为检测每个频带中的声音,包括:传感器单元,被配置为根据声音检测振动并产生 对应于设置在传感器单元中的振动和致动器的大小的电信号,并且每个被配置为对电信号作出反应并且根据声音的大小或在每个频带中检测到的声音的选择性来控制灵敏度。
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公开(公告)号:KR101615106B1
公开(公告)日:2016-05-12
申请号:KR1020150044053
申请日:2015-03-30
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판의두께방향중앙에진동막이배치되도록기판의일측과타측을습식식각법을이용하여가공하여공정시 진동막과후판의손상을최소화하고, 제조비용을절감한 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及一种MEMS麦克风及其制造方法,更具体地说,涉及一种MEMS麦克风及其制造方法,该MEMS麦克风及其制造方法在基板的厚度方向的中心配置振动膜,以处理一侧和另一侧 通过湿式蚀刻来最小化振动膜和后板的损坏,并节省制造成本。
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公开(公告)号:KR1020140137158A
公开(公告)日:2014-12-02
申请号:KR1020130057711
申请日:2013-05-22
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006 , H04R2201/003
Abstract: 본 발명은 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 1칩형 MEMS 마이크로폰의 구조를 개선하여 부품 수 및 공정 수 저감, 부품 재질 교체를 통한 강성 강화 및 비용 절감, 감도 및 성능 향상을 얻을 수 있도록 하는, 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법을 제공함에 있다.
Abstract translation: 1芯片型MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。 本发明的目的是提供一种1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。 改进了现有的1芯片式MEMS麦克风的结构,从而减少了部件和工艺的数量,通过更换部件材料来提高刚性,节省成本,提高灵敏度和性能。
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公开(公告)号:KR101462375B1
公开(公告)日:2014-11-17
申请号:KR1020140080800
申请日:2014-06-30
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H01L29/84 , H04R19/04 , H04R2201/003
Abstract: 본 발명은 MEMS 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스트레스로 인한 멤브레인의 변형 및 잔류응력을 방지하고, 멤브레인의 강성을 줄인 MEMS 마이크로폰에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种微机电系统(MEMS)麦克风。 根据本发明的实施例的MEMS麦克风包括:多个侧槽,其沿着膜的周边以预定的间隙形成在其间并且从膜的周边凹陷到中心; 连接单元,其形成在相邻的侧槽之间,以固定到支撑单元; 以及形成在联接单元上的多个船队。
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公开(公告)号:KR1020130071991A
公开(公告)日:2013-07-01
申请号:KR1020110139518
申请日:2011-12-21
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R17/02 , A61N1/36036 , H04R1/083 , H04R31/006 , H04R2430/03
Abstract: PURPOSE: A frequency separation apparatus production method for a couple type conchlear implantation is provided to help recognizing an acoustic wave of wideband frequency. CONSTITUTION: An upper layer (200) is produced as an upper electrode (280) is coated on a substrate. A lower electrode (130) is patterned on a basement membrane formed on a base. A lower layer (100) is produced as nano-wire with a piezoelectric property is grown on the lower electrode. The upper layer and the lower layer are cross linked the upper electrode and the lower electrode to be electrically connected.
Abstract translation: 目的:提供一种用于耦合型耳蜗植入的频率分离装置的制造方法,以帮助识别宽带频率的声波。 构成:当在基板上涂覆上电极(280)时,产生上层(200)。 下部电极(130)被图案化在形成在基底上的基底膜上。 生成下层(100)作为纳米线,在下电极上生长压电性质。 上层和下层与上电极和下电极交联以进行电连接。
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