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31.发明授权나노입자를 포함하는 전자소자용 광산란 박막 및 이를포함하는 박막 트랜지스터용 접합 구조와 이들의 제조 방법 失效包括纳米颗粒的电子器件的光散射层，与其相同的薄膜晶体管的结结构及其形成方法
公开(公告)号：KR100759810B1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：KR1020060030508
申请日：2006-04-04
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 김상협
IPC: H01L29/786 , B82Y30/00
CPC classification number: H01L29/78633 , G02B5/0242 , H01L33/22
Abstract: 나노 입자를 포함하는 전자소자용 광산란 박막 및 이를 포함하는 박막 트랜지스터용 접합 구조와 이들의 제조 방법에 관하여 개시한다. 전자소자용 광산란 박막은 Si 또는 금속으로 이루어지는 나노입자를 포함하는 탄화물-반금속 또는 탄화물-금속으로 구성된다. 본 발명에 따른 박막 트랜지스터용 접합 구조는 (ZnS)
1-x (SiC)
x , W
1
-
x C
x , Ta
1
-
x C
x 및 Mo
1
-
x C
x (0 1
-y ((ZnS)
1-x (SiC)
x )
y , M
1
-y (W
1
-
x C
x )
y , M
1
-y (Ta
1
-
x C
x )
y 및 M
1
-y (Mo
1
-
x C
x )
y (0-
公开(公告)号：KR100653651B1
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020040100429
申请日：2004-12-02
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G11B7/26 , B82Y10/00 , G11B7/00454 , G11B7/00455 , G11B7/0052 , G11B7/1275 , H01L2933/0091
Abstract: 본 발명은 광소자용 구조물 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 외부로부터 제공되는 열 에너지에 의해 나노 입자가 생성되는 광산란층, 상기 광산란층을 보호하는 보호층 및 상기 광산란층과 상기 보호층 사이에 형성된 캡핑층을 포함한다. 광산란층을 질화물-산화물로 형성함으로써 에너지 갭이 커져 고속의 전자회로에 유리하고, 정량비를 쉽게 만들 수 있다. 또한, 상기 캡핑층에 의해 결정학적인 미스매치가 방지됨으로써 성분 불균일을 방지하여 화학 양론적인 상태를 유지한다. 따라서 박막의 균일성 및 재현성이 우수한 고집적 및 고속의 전자회로를 용이하게 구현할 수 있다.
광산란, 나노 입자, 질화물-산화물, 캡핑층, 투과도-
公开(公告)号：KR1020060061633A
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020040100429
申请日：2004-12-02
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G11B7/26 , B82Y10/00 , G11B7/00454 , G11B7/00455 , G11B7/0052 , G11B7/1275 , H01L2933/0091
Abstract: 본 발명은 광소자용 구조물 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 외부로부터 제공되는 열 에너지에 의해 나노 입자가 생성되는 광산란층, 상기 광산란층을 보호하는 보호층 및 상기 광산란층과 상기 보호층 사이에 형성된 캡핑층을 포함한다. 광산란층을 질화물-산화물로 형성함으로써 에너지 갭이 커져 고속의 전자회로에 유리하고, 정량비를 쉽게 만들 수 있다. 또한, 상기 캡핑층에 의해 결정학적인 미스매치가 방지됨으로써 성분 불균일을 방지하여 화학 양론적인 상태를 유지한다. 따라서 박막의 균일성 및 재현성이 우수한 고집적 및 고속의 전자회로를 용이하게 구현할 수 있다.
광산란, 나노 입자, 질화물-산화물, 캡핑층, 투과도-
公开(公告)号：KR100470833B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020020050297
申请日：2002-08-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명은 넓은 에너지 영역에서 띠간격(band gap)을 갖는 실리콘 카본 나이트라이드(SiCN) 박막의 제조방법을 제공한다. 본 발명은 탄화규소(SiC)와 질화규소(Si
3 N
4 )의 혼합 타겟을 이용하여 펄스레이저 증착 장비에 의해 실리콘 카본 나이트라이드 박막을 제조한다. 이에 따라, 본 발명은 넓은 에너지 영역에서 띠간격을 갖음과 아울러 띠간격도 조절할 수 있는 실리콘 카본 나이트라이드 박막을 얻을 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020040034808A
公开(公告)日：2004-04-29
申请号：KR1020020063423
申请日：2002-10-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a silicon carbide layer having silicon nano-dots is provided to emit a deposition process of an active layer or a passivasion layer and form the silicon nano-dot in the silicon carbide layer by controlling a mixing ratio between silicon carbide and silicon. CONSTITUTION: A mixed pulverulent body is formed in slurry by dissolving silicon carbide powders and silicon powders in the solvent(11). A green body is formed by drying the mixed pulverulent body in a molding frame(12). A mixed target of silicon carbide and silicon is formed by dipping the green body in metallic silicon of high purity(13). The mixed target is loaded into a reaction chamber(14). A silicon carbide layer having silicon nano-dots is deposited on a substrate by irradiating laser beam to the mixed target(15).
Abstract translation: 目的：提供一种制造具有硅纳米点的碳化硅层的方法，以发射活性层或钝化层的沉积工艺，并通过控制碳化硅之间的混合比在碳化硅层中形成硅纳米点 和硅。 构成：通过将碳化硅粉末和硅粉溶解在溶剂（11）中，在浆料中形成混合的粉末体。 通过在模制框架（12）中干燥混合的粉末体来形成生坯体。 通过将生坯浸入高纯度金属硅（13）中形成碳化硅和硅的混合靶。 将混合目标装载到反应室（14）中。 通过向混合靶（15）照射激光束，在基板上沉积具有硅纳米点的碳化硅层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100421415B1
公开(公告)日：2004-03-09
申请号：KR1020010056188
申请日：2001-09-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: An apparatus for driving a sample holder of semiconductor fabrication equipment and an etching method using the same are provided to form smoothly an incline boundary by controlling an incident angle of ion beam and a revolution speed of a sample. CONSTITUTION: A gear teeth(11) is formed on a sample holder(10). A rotation driving portion is connected with the gear tooth(11) of the sample holder(10). A slope driving portion(30) is used for shifting the sample holder(10) as much as a predetermined angle. The rotation driving portion includes a motor(21), a gear portion(22), a driving shaft(23), the first bevel gear(24), the second bevel gear(25), and the third bevel gear(27). The slope driving portion(30) is formed with a rotary handle bar(31), a worm(33) installed at a rotary shaft(32), a horizontal gear(34), and a fixing member(36). A supply line(40) is connected with a cooling line(41) of a vacuum chamber. A flange(42) is adhered on the vacuum chamber.
Abstract translation: 目的：提供一种用于驱动半导体制造设备的样品架的设备和使用该设备的蚀刻方法，以通过控制离子束的入射角和样品的转速来平滑地形成倾斜边界。 构成：在样品架（10）上形成齿轮齿（11）。 旋转驱动部分与样品架（10）的齿轮齿（11）连接。 斜面驱动部分（30）用于使样品保持器（10）移动多达预定角度。 旋转驱动部分包括电动机21，齿轮部分22，驱动轴23，第一伞齿轮24，第二伞齿轮25和第三伞齿轮27。 倾斜驱动部30由旋转把手31，安装在旋转轴32上的蜗杆33，水平齿轮34和固定部件36构成。 供应管线（40）与真空室的冷却管线（41）连接。 法兰（42）粘附在真空室上。
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公开(公告)号：KR1020140104537A
公开(公告)日：2014-08-29
申请号：KR1020130017079
申请日：2013-02-18
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G09B19/00 , A61B5/0205 , A61B5/0533 , A61B5/165
Abstract: The present invention relates to an emotion signal sensing device which includes a sensor unit which senses an environment signal and a bio-signal by the emotion change of a user, a signal processing unit which converts the sensed bio-signal and environment signal into digital signals and outputs the digital signals, and a control unit which generates emotion information by using the digital signals outputted from the signal processing unit and transmits the generated emotion information to an emotion service providing apparatus or an emotion signal sensing device of another user.
Abstract translation: 本发明涉及一种情感信号感测装置，其包括通过用户的情绪改变来感测环境信号和生物信号的传感器单元，将感测到的生物信号和环境信号转换为数字信号的信号处理单元 并输出数字信号，以及控制单元，其通过使用从信号处理单元输出的数字信号产生情感信息，并将生成的情绪信息发送到另一用户的情绪服务提供装置或情感信号感测装置。
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公开(公告)号：KR1020140081920A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：KR1020120144279
申请日：2012-12-12
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L31/18 , A61B5/0059 , A61B2562/12 , A61B2562/164 , B82Y15/00 , G01N21/255 , H01L31/03926 , H01L31/105 , H01L31/167 , Y02E10/50
Abstract: A silicon nano-crystal biosensor according to an embodiment of the present invention comprises: a flexible substrate which can be deformed at least in one surface according to the form of a body organ; a light-emitting device which is disposed on the flexible substrate and irradiates light; and a light detector which is disposed on the flexible substrate in order to face the light-emitting device and absorbs the discharged light. The length of the flexible substrate is the same as or longer than the bending radius of the body organ.
Abstract translation: 根据本发明实施例的硅纳米晶体生物传感器包括：柔性基底，其可以根据身体器官的形式至少在一个表面上变形; 发光装置，设置在柔性基板上并照射光; 以及光检测器，其设置在柔性基板上以面对发光器件并吸收放电的光。 柔性基材的长度与身体器官的弯曲半径相同或更长。
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公开(公告)号：KR1020140072989A
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：KR1020120140368
申请日：2012-12-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/0232 , H01L31/054 , H01L31/0224 , H01L31/103
CPC classification number: H01L31/02327 , H01L31/022466 , H01L31/103 , H01L31/054
Abstract: A photoelectric conversion device according to an embodiment is to facilitate the absorption of light. The embodiment provides a photoelectric conversion device which includes: a first substrate; a photoelectric conversion layer arranged on the upper part of a first substrate; a second substrate different from the first substrate and arranged on the photoelectric conversion layer; and a nanopillar layer arranged on the upper part of the second substrate. The nanopillar layer includes nanopillars which are separated from each other.
Abstract translation: 根据实施例的光电转换装置是为了便于吸收光。 本实施例提供一种光电转换装置，其包括：第一基板; 设置在第一基板的上部的光电转换层; 与第一基板不同的第二基板，设置在光电转换层上; 以及布置在第二基板的上部的纳米柱层。 纳米柱层包括彼此分离的纳米柱。
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公开(公告)号：KR1020130070892A
公开(公告)日：2013-06-28
申请号：KR1020110138138
申请日：2011-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/10 , H01L27/146
CPC classification number: H01L31/02325 , B82Y20/00 , H01L27/14643 , H01L31/102
Abstract: PURPOSE: A light detector element successively absorbs lights ranging from a light with small energy to a light with large energy, and thus improves optical absorption efficiency. CONSTITUTION: A photoelectric transformation layer (200) is interposed between a lower and upper part carrier transport layers. A common electrode (130) is arranged on the upper carrier transport layer. The photoelectric transformation layer comprises multiple light absorption layers. The light absorption layers contain silicon nanocrystals. The size of the silicon nanocrystals is different from each other.
Abstract translation: 目的：光检测元件依次吸收从能量较少的光到能量大的光，从而提高光吸收效率。 构成：光电转换层（200）介于下部和上部载流子传输层之间。 公共电极（130）布置在上载体传输层上。 光电转换层包括多个光吸收层。 光吸收层含有硅纳米晶体。 硅纳米晶体的尺寸彼此不同。
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