MEMS형 전기화학식 가스 센서

    公开(公告)号:KR101773954B1

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:KR1020110098298

    申请日:2011-09-28

    CPC classification number: G01N27/18 G01N33/004

    Abstract: 본발명은 MEMS형전기화학식가스센서에관한것으로서, 하부중앙영역이일정두께만큼식각되어있는기판; 상기기판상부에형성되는제1 절연막; 상기제1 절연막상부에형성되는발열저항체; 상기발열저항체상부에형성되는제2 절연막; 상기제2 절연막상부중앙영역에형성되는기준전극; 상기기준전극상부에형성되는고체전해질; 및상기고체전해질상부에형성되는감지전극을포함한다.

    다공성 멤브레인이 내장된 마이크로히터를 이용한 MEMS형 접촉연소식 가스 센서
    33.
    发明公开
    다공성 멤브레인이 내장된 마이크로히터를 이용한 MEMS형 접촉연소식 가스 센서 审中-实审
    使用多孔膜嵌入式微加热器的MEMS催化型气体传感器

    公开(公告)号:KR1020140097714A

    公开(公告)日:2014-08-07

    申请号:KR1020130009883

    申请日:2013-01-29

    CPC classification number: G01N27/16

    Abstract: The present invention relates to a catalytic combustion type gas sensor using a micro-electro mechanical system (MEMS) and a micro-heater embedded with a porous membrane. The catalytic combustion type gas sensor includes a detecting structure made of a detecting material and a compensating structure made of a compensating material and thermally insulates by etching a substrate at a predetermined thickness through multiple holes bored on membranes, heating resistor, and sensing electrode. Therefore, the MEMS type catalytic combustion type gas sensor which is subminiature and has remarkably reduced power consumption can be structurally, mechanically, and electrically stable and easily perform an element producing process.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用微机电系统(MEMS)和嵌入多孔膜的微型加热器的催化燃烧式气体传感器。 催化燃烧型气体传感器包括由检测材料制成的检测结构和由补偿材料制成的补偿结构,并且通过在膜,加热电阻和感测电极上钻孔的多个孔蚀刻具有预定厚度的基板而进行热绝缘。 因此,超微型并且显着降低功耗的MEMS型催化燃烧式气体传感器可以在结构上,机械上和电气上稳定并且容易地进行元件制造工艺。

    양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
    34.
    发明公开
    양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법 审中-实审
    双面微型气体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140083159A

    公开(公告)日:2014-07-04

    申请号:KR1020120152405

    申请日:2012-12-24

    CPC classification number: G01N27/128 G01N27/123

    Abstract: The present invention discloses a double-sided microgas sensor and a manufacturing method thereof. The sensor includes: an elastic thin film; a heat dissipating resistant layer on the elastic thin film; an interlayer insulation layer on the heat dissipating resistant layer; an upper sensing layer on the interlayer insulation layer; and a lower sensing layer arranged under the elastic thin film corresponding to the heat dissipating resistant layer so as to minimize heat loss on the heat dissipating resistant layer.

    Abstract translation: 本发明公开了一种双面微气体传感器及其制造方法。 传感器包括:弹性薄膜; 弹性薄膜上的耐散热层; 耐散热层上的层间绝缘层; 层间绝缘层上的上感测层; 以及布置在与耐散热层相对应的弹性薄膜下方的下感测层,以使耐散热层的热损失最小化。

    입체카메라 모듈
    35.
    发明授权
    입체카메라 모듈 有权
    3D摄像机模块

    公开(公告)号:KR101271514B1

    公开(公告)日:2013-06-07

    申请号:KR1020090123071

    申请日:2009-12-11

    CPC classification number: H04N13/239 H04N13/296 H04N2213/001

    Abstract: 본 발명은 입체카메라를 위한 주 시각 제어 모듈에 관한 것으로, 저전력 작동이 가능함으로 입체카메라에서 문제가 되는 전력소모를 개선시킬 수 있다. 본 발명에 따른 입체 카메라 모듈은 1개 이상의 카메라 모듈, 카메라 모듈을 지지하고 이동 경로를 형성하는 이동 가이드, 카메라 모듈을 이동 가이드를 따라 이동시키는 제어용 구동기, 및 제어용 구동기를 제어하는 제어수단을 포함한다.
    생체모방 주 시각 제어, 저전력, 고분자 구동기

    구리 전극을 갖는 고분자 구동기 및 그의 제조방법
    36.
    发明授权
    구리 전극을 갖는 고분자 구동기 및 그의 제조방법 有权
    具有铜电极的聚合物致动器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101061739B1

    公开(公告)日:2011-09-05

    申请号:KR1020080123898

    申请日:2008-12-08

    Abstract: 본 발명은 구리 전극을 갖는 고분자 구동기 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 고분자 구동기는 이온 전도성 고분자막; 이온 전도성 고분자막 양 표면에 흡착된 금속 입자층; 및 금속 입자층 상에 각각 형성된 구리 전극을 포함하되, 전해질로써 물 대신 구리 전극을 산화 및 용해시키지 않는 이온성 액체를 포함한다. 본 발명에 따른 구리 전극을 포함하면서 전기화학적으로 안정하며, 증발, 분해 현상에서 자유로운 이온성 액체를 전해질로 포함하는 고분자 구동기는 구동 변위와 구동력을 향상시킬 수 있으며, 내구성을 향상시킬 수 있다.
    구리 전극, 고분자 구동기, 이온성 액체

    Abstract translation: 本发明涉及一种高分子致动器,并用铜电极,根据本发明,离子导电性聚合物膜中的高分子致动器的制造的方法; 金属颗粒层吸附在离子导电聚合物膜的两个表面上; 和金属粒子层,但含有该铜电极的相位,分别包含离子液体,其不溶解氧化物,和铜电极代替水作为电解质。 并且,将含有铜电极在根据本发明电化学稳定,聚合物致动器包括在所述蒸发的自由离子性液体,电解质可提高驱动力和位移的分解,所以能够提高耐久性。

    고속 고분자 구동기 제작을 위한 고분자막의 표면 전처리 방법
    37.
    发明公开
    고속 고분자 구동기 제작을 위한 고분자막의 표면 전처리 방법 有权
    聚合物薄膜预处理高分子聚合物致动器的方法

    公开(公告)号:KR1020100070924A

    公开(公告)日:2010-06-28

    申请号:KR1020080129673

    申请日:2008-12-18

    Abstract: PURPOSE: A pre-treatment method of the surface of a polymer film is provided to facilitate the expansion and contraction of the polymer film by improving the adhesion force of the surface of the polymer film and a metal electrode. CONSTITUTION: A pre-treatment method of the surface of a polymer film for producing a polymer actuator comprises the following steps: plasma treating the polymer film using a shadow mask; setting the optimum plasma treatment time and shadow mask pattern by the thickness of the polymer film and a metal electrode to be formed on both sides of the polymer film(S100); and surface treating the polymer film using the set shadow mask pattern during the set plasma treatment time(S200).

    Abstract translation: 目的:提供聚合物膜表面的预处理方法,以通过改善聚合物膜和金属电极的表面的粘附力来促进聚合物膜的膨胀和收缩。 构成:用于制造聚合物致动器的聚合物膜的表面的预处理方法包括以下步骤:使用荫罩等离子体处理聚合物膜; 通过聚合物膜的厚度和要形成在聚合物膜两侧的金属电极来设置最佳等离子体处理时间和荫罩图案(S100); 以及在设定的等离子体处理时间期间使用设定的荫罩图案对聚合物膜进行表面处理(S200)。

    티올계 정착기를 가지는 분자 전자 소자용 화합물 및 그제조 방법과, 그 화합물로부터 얻어지는 분자 활성층을가지는 분자 전자 소자
    38.
    发明授权
    티올계 정착기를 가지는 분자 전자 소자용 화합물 및 그제조 방법과, 그 화합물로부터 얻어지는 분자 활성층을가지는 분자 전자 소자 有权
    티올계정착기를가지는분자전자소자용화합물및그제조방법과,그화합물로부터얻어지는분자활성층을가지는분자전자소자

    公开(公告)号:KR100651750B1

    公开(公告)日:2006-12-01

    申请号:KR1020050089516

    申请日:2005-09-26

    Abstract: A compound for a molecular electronic device with a thiol-based anchoring group is provided to embody a molecular electronic device having a switch characteristic and a memory characteristic by forming a self-assembled molecular active layer between upper and lower electrodes. A dinitrothiophene group is prepared. An aminobenzene group is prepared into which a thiol derivative is introduced. An azo compound having an azo group is connected between the dinitrothiophene group and the aminobenzene group. The aminobenzene group into which the thiol derivative is introduced includes a disulfide group that supplies a ring structure.

    Abstract translation: 提供具有硫醇基锚定基团的分子电子器件用化合物,以通过在上下电极之间形成自组装分子活性层来实现具有开关特性和存储特性的分子电子器件。 制备二硝基噻吩基团。 制备其中引入了硫醇衍生物的氨基苯基团。 在二硝基噻吩基团和氨基苯基团之间连接具有偶氮基团的偶氮化合物。 引入硫醇衍生物的氨基苯基包括提供环结构的二硫化物基团。

    전자 후각 소자 및 그 제조방법
    39.
    发明公开
    전자 후각 소자 및 그 제조방법 审中-实审
    电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150098066A

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:KR1020140019170

    申请日:2014-02-19

    Abstract: 본 발명은 전자 후각 소자의 구조를 제공한다. 이 전자 후각 소자는 리세스 영역이 제공된 제 1 영역 그리고 상기 제 1 영역의 외곽을 점유하는 제 2 영역을 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 1 멤브레인, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 발열저항체, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되어 상기 발열저항체를 덮으며 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 2 멤브레인, 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 감지전극, 상기 제 2 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 발열저항체 패드 및 감지전극 패드, 및 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 교대로 제공되는 가스흡수체 및 가스센서를 포함할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供一种电子嗅觉装置的结构。 电子嗅觉装置包括:具有第一区域和第二区域的基板,第一区域具有凹部区域和用于占据第一区域外部的第二区域; 设置在所述基板上的第一膜,其中,多个孔连接到所述凹部区域; 设置在所述第一膜上的加热电阻器,其中多个孔连接到所述凹部区域; 设置在第一膜上以覆盖加热电阻器的第二膜,其中多个孔连接到凹部区域; 设置在所述第一区域内的所述第二膜上的检测电极; 加热电阻焊盘和设置在第二区域内的第二膜上的检测电极焊盘; 以及以交替方式设置在第一区域内的第二膜上的气体吸收器和气体传感器。

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