음향 센서 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:KR101764314B1

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:KR1020110108577

    申请日:2011-10-24

    Abstract: 패키징공정에서쉽게발생하는진동판의손상을억제하고, 안정적인구조를가지는음향센서및 그제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에의한음향센서의제조방법은, 기판상부에하부전극을형성하고, 상기하부전극에에칭홀을형성하고, 상기에칭홀이형성된하부전극상부에희생층을형성하고, 상기희생층상부에진동판을결합하여음향센서부를형성하는단계, 상기음향센서부의기판하부가음압입력홀을통해외부에노출되도록상기음압입력홀이형성된인쇄회로기판에결합하는단계, 상기인쇄회로기판상에상기음향센서부를덮는덮개를부착하는단계, 상기음향센서부의기판을식각하여음향챔버를형성하는단계및 상기희생층을제거하는단계를포함한다.

    음향 센서
    4.
    发明公开
    음향 센서 审中-实审
    声学传感器

    公开(公告)号:KR1020150049193A

    公开(公告)日:2015-05-08

    申请号:KR1020130129427

    申请日:2013-10-29

    CPC classification number: H04R19/005 H04R2201/003

    Abstract: 음향센서및 그제조방법이제공된다. 본발명의개념에따른음향센서제1 관통홀의측벽을덮으며, 기판의상면으로연장되는하부전극패드; 제2 관통홀의측벽을덮으며, 기판의상면으로연장되는진동판패드; 상기음향챔버상에제공되며, 상기하부전극패드와연결되는하부전극; 및상기기판의상면상에서, 상기하부전극과이격되며, 상기진동판패드와연결되는진동판을포함할수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种声传感器及其制造方法。 根据本发明,声传感器包括:下电极焊盘,其覆盖声传感器的第一通孔并延伸到衬底的上侧; 隔膜垫,其覆盖第二通孔的侧壁并延伸到所述基板的上侧; 下电极,设置在声室上并连接到下电极焊盘; 以及与基板的上侧的下部电极分离并与膜片垫连接的隔膜。

    MEMS형 전기화학식 가스 센서
    5.
    发明公开
    MEMS형 전기화학식 가스 센서 有权
    微电子机械系统类型电化学气体传感器

    公开(公告)号:KR1020130034337A

    公开(公告)日:2013-04-05

    申请号:KR1020110098298

    申请日:2011-09-28

    CPC classification number: G01N27/18 G01N33/004 G01N27/407

    Abstract: PURPOSE: An MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) type electrochemical gas sensor is provided to stably operate the electrochemical gas sensor using self-charging power under various condition which an energy converting device operates. CONSTITUTION: An MEMS type electrochemical gas sensor comprises a substrate(110), a first insulating film(120), a heat resisting body(130), a reference electrode(150), a solid electrolyte(160), and a sensing electrode(170). A lower central portion of the substrate is etched at a predetermined thickness. The first insulating film is formed on the top of the substrate. The heat resisting body is formed on the top of the first insulating film. A second insulating film is formed on the top of the heat resisting body. The reference electrode is formed in an upper central portion of the second insulating film. The solid electrolyte is formed on the top of the reference electrode. The sensing electrode is formed on the top of the solid electrolyte.

    Abstract translation: 目的:提供一种MEMS(微电子机械系统)型电化学气体传感器,用于在能量转换装置工作的各种条件下使用自充电电力稳定地操作电化学气体传感器。 构造:MEMS型电化学气体传感器包括基板(110),第一绝缘膜(120),耐热体(130),参比电极(150),固体电解质(160)和感测电极 170)。 以预定厚度蚀刻衬底的下部中心部分。 第一绝缘膜形成在基板的顶部。 耐热体形成在第一绝缘膜的顶部上。 第二绝缘膜形成在耐热体的顶部。 参考电极形成在第二绝缘膜的上中心部分。 固体电解质形成在参比电极的顶部。 感测电极形成在固体电解质的顶部。

    자가충전 기능을 갖는 센서노드 및 그 운용 방법
    6.
    发明授权
    자가충전 기능을 갖는 센서노드 및 그 운용 방법 失效
    具有自动充电功能的传感器节点及其操作方法

    公开(公告)号:KR101072295B1

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:KR1020080123488

    申请日:2008-12-05

    Abstract: 이를위해본 발명에따른센서노드는외부환경으로부터이벤트를감지하는센서부와, 상기이벤트에대응되는센싱신호와미리설정된임계값을비교하여, 임계상황을판단하는제어부와, 상기센서부및 상기제어부에구동전력을공급하며출력가능한전력값을판단하고상기출력가능한전력값이최소구동전력값보다작으면전력을생성및 저장하는전원제어부를포함하는것을특징으로한다.

    에너지 및 전력관리 집적회로 장치
    7.
    发明公开
    에너지 및 전력관리 집적회로 장치 有权
    能源和电力管理集成电路设备

    公开(公告)号:KR1020110028713A

    公开(公告)日:2011-03-22

    申请号:KR1020090086271

    申请日:2009-09-14

    Abstract: PURPOSE: An integrated circuit device for managing power and energy is provided to semi-permanently use energy without a battery replacement by environmentally-friendly collecting and converting energy. CONSTITUTION: A plurality of energy converting units(310) collect energy from each energy conversion source and converts the collected energy into electric energy. An energy management integrated circuit(322) converts the electric energy into stable energy. A storage unit(330) stores power or energy converted by the energy management integrated circuit. A power management integrated circuit(324) receives and distributes the power stored in the storage unit. A plurality of output load units(340) consume power distributed by the power management integrated circuit.

    Abstract translation: 目的:提供用于管理电力和能源的集成电路设备,以通过环境友好的收集和转换能量半永久地使用能量而无需更换电池。 构成:多个能量转换单元(310)从每个能量转换源收集能量,并将收集的能量转换成电能。 能量管理集成电路(322)将电能转换成稳定的能量。 存储单元(330)存储由能量管理集成电路转换的能量或能量。 电源管理集成电路(324)接收并分配存储在存储单元中的电力。 多个输出负载单元(340)消耗由电力管理集成电路分配的功率。

    멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법
    8.
    发明公开
    멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법 失效
    MEMS麦克风及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020090054885A

    公开(公告)日:2009-06-01

    申请号:KR1020080042138

    申请日:2008-05-07

    CPC classification number: H04R19/005 H04R19/04 H04R31/006 H04R2201/003

    Abstract: An MEMS(Micro-Electro Mechanical System) microphone and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity by omitting a rear surface process of a substrate. A rear sound chamber is formed in an upper part of a substrate. A lower electrode is formed in the upper part of the rear sound chamber. A vibration plate(211) is formed in the upper part of the lower electrode. An electrode plate post is formed in an outer circumference of the rear sound chamber. A lower electrode plate support(201) supports the lower electrode and is coupled in the electrode plate post. A vibration plate support(209) supports the vibration plate and is combined in the electrode plate post.

    Abstract translation: 提供了一种MEMS(微机电系统)麦克风及其制造方法,以通过省略基板的后表面处理来提高生产率。 后声音室形成在基板的上部。 在后音箱的上部形成下电极。 在下电极的上部形成有振动板(211)。 在后音箱的外周形成电极板支柱。 下电极板支撑件(201)支撑下电极并且联接在电极板支柱中。 振动板支撑件(209)支撑振动板并组合在电极板支柱中。

    자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치 및그의 제조방법
    9.
    发明授权
    자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치 및그의 제조방법 失效
    自支撑中心锚微机电开关及其制造方法

    公开(公告)号:KR100554468B1

    公开(公告)日:2006-03-03

    申请号:KR1020030097045

    申请日:2003-12-26

    CPC classification number: H01P1/127 H01H59/0009

    Abstract: 본 발명은 전자 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용하는 정전기력으로 구동되는 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치에 관한 것으로, 자기유지 중앙지지대를 삽입시켜 제조 공정과 동작과정에서 발생하는 이동판의 변형을 억제하고 상부전극의 접지선 접촉현상을 개선시킬 수 있으므로 신뢰성을 향상시킬 수 있게 되고, 종래 기술의 미세전자기계적 스위치에 비해 삽입손실은 기존 특성을 유지하면서 신호분리 특성을 크게 향상시킬 수 있게 된다.
    미세전자기계적시스템(MEMS), 미세전자기계적 스위치(Micro-electromechanical switch), 지지대(anchor)

    냉각 소자
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102247062B1

    公开(公告)日:2021-05-03

    申请号:KR1020180088183

    申请日:2018-07-27

    Abstract: 본발명의실시예에따른냉각소자는그 내부에냉매를저장하며, 상부에밸브구조체가형성된냉매저장부상기냉매저장부상에배치되고, 그내부에유로가형성된방열구조체및 상기방열구조체의표면부터연장된방열핀을포함하는방열부; 상기냉매저장부및 상기방열부의사이에배치되고, 상기냉매저장부의내부와상기방열부의유로를연결하는연결부; 및상기냉매저장부, 상기방열부및 상기연결부를둘러싸도록배치되어, 상기냉매저장부, 상기방열부및 상기연결부를밀폐하는하우징을포함하되, 상기밸브구조체는온도변화에따라부피가변하는온도반응성물질을포함할수 있다.

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