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公开(公告)号：KR1019960001177B1
公开(公告)日：1996-01-19
申请号：KR1019920024316
申请日：1992-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/768
Abstract: depositing an insulating layer, a step of depositing a photo-resist layer twice thicker than the thickness of a metal wire is; drying the photo-resist layer; forming the pattern of the photo-resist layer; forming a groove on the insulating layer; and forming a metal wire by depositing a metal.
Abstract translation: 沉积绝缘层，沉积比金属线的厚度厚两倍的光致抗蚀剂层的步骤; 干燥光刻胶层; 形成光刻胶层的图案; 在绝缘层上形成凹槽; 并通过沉积金属形成金属线。
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公开(公告)号：KR1019950034819A
公开(公告)日：1995-12-28
申请号：KR1019940010637
申请日：1994-05-16
IPC: H01L29/72
Abstract: 본 발명은 MBE, 또는 MOCVD 방법에 의하여 성장된 에피 웨이퍼상에 T형 에이터 전극을 형성하여 에미터 전극과 자기정렬된 베이스 전극 구조를 갖는 HBT소자 제조방법에 관한 것이다.
상기 성장된 에피 웨이퍼상에 1차 감광막(9)을 도포하고 노광시킨 후 유전체 절연막(10)을 전면에 증착하고 2차 감광막(11)을 상기 유전체 절연막(10)상에 도포하는 공정과; 상기 2차 감광막(11)을 노광한 후 이를 마스크로하여 하층의 유전체 절연막(10)을 등방성식각하고 상기 1차 감광막(9)을 현상하는 공정과; 에미터 전극(12)을 증착하고 전면에 1차 플라즈마 증착 절연막(13)을 증착하는 공정과; 상기 에미터 전극(12)을 마스크로하여 상기 1차 유전박막(13)을 반응성 이온 식각을 하고 전면에 2차 플라즈마 증착 절연막(14)을 증착하는 공정과; 상기 2차 플라즈마 증착 절연막(14)의 측벽만 남도록 반응성 이온 식각을 하고 베이스층(4)표면까지 수직하게 식각하고 노출된 부분에 베이스 전극(15)을 증착하여 에미터 전극 및 베이스 전극을 자기정렬하는 공정과; 베이스 메사식각을 하고 노출된 부분에 콜렉터 전극(16)을 증착한 후 금속배선공정을 실시한다.
따라서 본 발명은 HBT 소자의 고속특성과 공정의 신뢰성을 향상시킨다.-
公开(公告)号：KR1019950013798B1
公开(公告)日：1995-11-16
申请号：KR1019920025005
申请日：1992-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/812
Abstract: The method for activating semi-insulated gallium and arsenic substrates as enhancement and depletion-typed areas by implanting ion thereon at the first time, and activating an N+ area for a contact with source and drain regions by implanting the ion at the second time, comprises the steps of: removing a double insulating film with a heat treatment protecting film, and performing a quick heat treatment during five to twenty seconds at 900 to 925 deg.C.
Abstract translation: 通过在第一时间通过注入离子而激活半绝缘镓和砷基底作为增强型和耗尽型区域的方法，以及通过在第二时间注入离子来激活用于与源区和漏区的接触的N +区，包括 步骤：用热处理保护膜去除双重绝缘膜，并在900至925℃下进行5至20秒的快速热处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019940016952A
公开(公告)日：1994-07-25
申请号：KR1019920024462
申请日：1992-12-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/80
Abstract: 본 발명은 갈륨비소를 이용한 금속반도체 전계효과 트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로, 반절연기판에 P형 매몰층과 형성하고 하층박막과 상층박막을 순차로 증착하고, 상층박막상에 포토레지스트막의 패턴을 형성한 후 마스크로서 사용하여 상층박막을 과식각하며, 방향성 박막을 증착하고 포토레지스터막을 리프트 - 오프하여 상층박막의 미세패턴을 형성하고, 하층박막을 식각하여 노출되는 반절연 기판 위에 게이트 금속을 증착한 후 게이트 저항의 감소를 위한 저저항 금속을 증착하며, 게이트 패턴의 형성을 위한 리프트 - 오프를 수행한 후 저저항금속을 마스크로서 사용하여 게이트 금속을 식각한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020170122907A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：KR1020160051731
申请日：2016-04-27
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04W72/0413 , H04L5/0048 , H04L5/0051 , H04L27/2657 , H04L27/2672 , H04L27/2675 , H04L27/2692 , H04L2025/03796 , H04W72/0453 , H04W72/048
Abstract: 고속단말을위한상향링크제어채널전송방법및 그장치가제공된다. 이동통신시스템에서상향링크제어채널을전송하는방법에서, 기지국으로부터제공받은적어도하나의자원인덱스에따라상항링크제어채널신호를생성하고, 상향링크제어채널신호를자원인덱스에대응하는자원블록을통하여기지국으로전송한다. 자원인덱스에따라상기상향링크제어채널신호가할당되는위치가달라진다.
Abstract translation: 提供了用于高速终端的上行链路控制信道传输方法和装置。 通过资源块对应于至少根据资源索引，生成情况链路控制信道信号的基站，并且从在移动通信系统中发送上行链路控制信道，从基站到该资源索引的方法提供的上行链路控制信道信号 Lt。 上行链路控制信道信号被分配到的位置取决于资源索引。
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公开(公告)号：KR1020160092492A
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：KR1020160007250
申请日：2016-01-20
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: Y02D70/00
Abstract: 이동무선백홀망에서의기지국의적응통신방법은, 단말의프레임송수신타이밍을획득하는단계, 상기단말로부터송신된단말동기신호를주기적으로탐색하는단계, 상기단말동기신호가검출되면, 상기단말동기신호및 상기단말의프레임송수신타이밍을토대로상기단말에대한상기기지국의프레임송수신타이밍을추정하는단계, 그리고상기기지국의프레임송수신타이밍을토대로기지국동기신호를상기단말로송신하는단계를포함할수 있다.
Abstract translation: 提供一种用于自适应地通信以最小化支持高速移动体的移动无线回程网络中的基站的不必要的功率损耗的方法和装置。 用于在移动无线回程网络中进行自适应通信的方法包括以下步骤：获得终端的帧发送/接收定时; 周期性地搜索从终端发送的终端同步信号; 当检测到终端同步信号时，基于终端同步信号和终端的帧发送/接收定时，估计基站到终端的帧发送/接收定时; 以及基于所述基站的帧发送/接收定时向所述终端发送基站同步信号。
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公开(公告)号：KR1020110067967A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090124768
申请日：2009-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04L1/12
CPC classification number: H04L1/16 , H04L2001/125
Abstract: PURPOSE: A method and device for transceiving frames in a wireless communication system are provided to shorten time spent for transmitting an ACK frame and/ore a NACK frame, thereby increasing a data frame transmission rate. CONSTITUTION: A pre-cyclic redundancy check about a header(102) and a payload(104) is performed. Delay(L1) occurs in a receiving model of a receiving unit. Decoding delay(L2) of the header and decoding delay(L3) of the payload occur. The payload has delay as much as L1+L3. A receiving terminal transmits an ACK frame or a NACK frame to a transmission terminal. Error verification for all payloads is completed. The ACK frame or the NACK frame are transmitted.
Abstract translation: 目的：提供一种用于在无线通信系统中收发帧的方法和装置，以缩短用于发送ACK帧和/或NACK帧所花费的时间，从而增加数据帧传输速率。 构成：执行关于报头（102）和有效载荷（104）的前循环冗余检查。 延迟（L1）发生在接收单元的接收模型中。 发送报头的解码延迟（L2）和有效载荷的解码延迟（L3）。 有效负载具有L1 + L3的延迟。 接收终端向发送终端发送ACK帧或NACK帧。 所有有效载荷的错误验证完成。 发送ACK帧或NACK帧。
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