Abstract:
본 발명은 마이크로파와 밀리미터파의 측정을 위한 진공용 동축 커넥터 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 그 특징은 진공용 동축커넥터에 있어서, 케이블을 특정하고자 하는 시료를 연결할 수 있으며 냉각 부분인 시료 장착 위치를 중앙이 가지고 있는 진공을 만들기 위한 외형 원주형 금속벽인 진공챔버와, 밀리미터파 대역까지 사용가능한 제1V-형 숫 연결수단과 커넥터를 상기 진공쳄버에 부착시키는 판으로서 진공을 만들기 위해 평면도가 매우 좋은 제1지지수단과, 상기 제1지지수단과 연결시키는 연결나사의 나사구멍이 있으며 상기 측정용 진공챔버에 삽입할 때에 동축 커넥터가 회전하는 것을 방지하기 위해 V-커넥터 케이블과 유사한 육각형태로 만든 나사인 회전방지용 제2지지수단과, 상기 제1V-형 숫커넥터와 상기 동축 케이블을 연결시키는 � �미리지드 케이블 및 상기 동축 케이블에 연결되며 밀리미터파 대역까지 사용가능한 제2V-형 숫연결수단을 포함하는 데에 있으므로, 본 발명은 마이크로파 및 밀리미터파 소자에 대해 DC∼60 GHz까지의 초고주파 대역뿐만 아니라 극저온까지의 전송특성 평가에도 유용하며, 계측용 진공장치(cryostat)에 부착하여 사용하면 우수한 고주파 전송특성도 얻을 수 있다는 데에 그 효과가 있다.
Abstract:
본 발명은 마이크로파 통신시스템에 사용되는 핵심부품인 멀티플렉서나 믹서 등을 구성하는 핵심소자인 3-dB 하이브리드 결합기(coupler)일종으로, 마이크로스트립 분기선 방식의 사각형 를 갖는 마이크로파용 4-포트 수동소자이다. 본 발명인 직각 하이브리드 결합기는 3-dB이상의 우수한 결합특성이 10GHZ근방에서 발휘되게끔 설계하였고, 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막을 미세형상화 (패터닝)함으로서 제조하였다. 이어서 기판 뒷면에는 접지평면용 Ti(10nm)/Ag(2㎛)을 증착하여 YBCO/MgO/Ti/Ag구조를 갖게 하였다. 그리고 4개의 K-커넥트 (4-포트)를 가지는 3-성분 시험치구에 내장시켜 저온 마이크로파 특성을 측정하였다. 이러한 고온초전도 커플러를 핵심소자로 사용하는 무선 및 마이크로파 통신부품은 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스트립선 방식의 서브시스템이므로 제조가 간단하고 경량이다. 그리고 고온초전도체의 우수한 마이크로파 특성을 이용한 하이브리드 결합기이므로 結合度가 뛰어나고, 마이크로파 손실특성도 매우 양호하였다.
Abstract:
본 발명은 마이크로스트립 평행결합선 방식의 Ag를 첨가한 고온초전도 임의 형태의 4극 대역통과필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정 기판과 상기 단결정기판 상부에 형성된 신호전송용 입력단과 상기 단결정 기판 상부의 상기 신호 전송용 입력단의 타측에 형성된 출력단과 상기 단결정 기판 상부에 입력단과 출력단과 연결되도록 형성된 ㄱ자형의 정합망과 상기 다결정기판과의 정합망 사이에 개수에 의해 결정되는 4개의 마이크로스트립 방식으로 형성된 필터패턴과 상기 다결정기판 하부에 형성된 접지판을 만든다. 따라서 손실 특성을 저하 시키면서 스커트 특성을 향상 시킬 수 있고, 기존의 고온초전도체인 YBCO를 사용하지 않고 Ag-YBCO를 이용하여 제작하여 기존의 특성보다 우수한 소자를 창출한 것이다.
Abstract:
본 발명은 펄스 레이저 증착장치를 사용하여 기판 상에 박막을 성장할 때, 고품위의 재현성있는 박막을 성장할 수 있고, 증착장치를 자동화할 수 있으며, 펄스 레이저 증착을 경제적으로 수행할 수 있는 멀티 타겟 구동장치에 관한 것이다. 본 발명의 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치는, 스테핑 모터와, 구동 피드스루로 구성되어, 타겟원판 구동축 및 타겟 구동용 모터축에 회전 구동력을 제공하기 위한 구동력 제공부와; 설치 플랜지와, 타겟원판 구동용 피동기어와, 타겟원판 구동용 능동기어와, 타겟원판 구동용 모터축과, 타겟원판 구동축과, 머리부 지지용 프레임과, 타겟 구동용 모터축으로 구성되어, 상기한 구동력 제공부로부터 제공받은 타겟원판 및 타겟의 회전에 필요한 회전 구동력을 전달하며 타겟 구동장치의 머리부를 지지하기 위한 구동력 전달 및 지지부와; 타겟 원판과, 타겟 구동용 피동기어와, 타겟 구동용 능동기어와, 타겟홀더 고정용 스터브와, 타겟 홀더와, 복수의 타겟 구동축으로 구성되어, 타겟 재료를 레이저빔의 촛점에 위치시키도록 타겟원판과 타겟의 회전이 수행되는 머리부를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 변형된 오픈 스터브-선 고온초전도 9-극 저역통과 필터에 관한 것으로, RF 및 마이크로파 특성이 우수한 단결정 기판과 상기 단결정 기판 상부의 양측 모서리에 형성된 신호 전송용 입출력단(gold pad 포함)과 상기 단결정 기판 상부의 상기 입력단과 출력단 사이에 신호의 전송에너지를 제어하거나 필터링하는 5개의 오픈스터브-선과 4개의 마이크로스트립-선으로 구성한 변형된 9-극 저역통과 필터의 회로패턴과, 상기 단결정 기판의 하부에 형성된 금속박막 접지평면을 포함 구성하여, 저역통과 필터의 극수를 9-극으로 증가시키는 반면, 회로패턴의 크기는 종전대로 15㎜×15㎜×0.5㎜t 로 함에 따라 통과대역에서의 맥류진폭도 매우 작아 평평도가 우수하고, 저지역대까지의 가파르기도 향상되어 저지대역을 증가시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명은 RF 및 마이크로파 통신시스템이나 통신기기에 사용되는 멀티플렉서, 믹서등의 핵심부품을 구성하는 핵심소자이면서도 기본소자인 특정주파수대역에서만 정보를 통과시키게 하는 X-밴드용 섭동준고리형 고온초전도 이중모드 5-극 대역통과 필터에 관한 것으로, RF 및 마이크로파 특성이 우수한 MaO 단결정 기판과 상기 단결정 기판 상부의 한쪽 모서리에 형성한 신호 전송용 입출력단(gold pad 포함)과 상기 단결정 기판 상부의 상기 입출력단과 마이크로스트립 결합선 사이에 신호의 전송에너지를 제어하거나 필터링하는 섭동준 고리형 공진기 2개와 마이크로스트립 결합선을 집적시킨 고리형 고온초전도 이중모드 5-극 대역통과 필터의 회로패턴과, 상기 단결정 기판의 하부에 증착시킨 접지평면용의 금속박막을 포함하여 구성되어 고리형 고온 전도 이중모드 대역통과 필터의 극수를 5-극으로 하고, 회로패턴의 크기는 기판의 크기를 고려하여 15㎜×15㎜내로 하여, 마이크로파 특성은 통과대역에서의 맥류진폭도 매우 작안 평평도가 우수하고, 저지대역까지의 가파르기인 스커트 특성도 우수하다.
Abstract:
본 발명은 무선 및 마이크로파 통신시스템에 사용되는 핵심부품인 대채널 멀티플렉서의 한부분으로 마이크로스트립 분기선 방식의 3-dB하이브리드 결합기(coupler)와 평행결합선 방식의 2-극 대역통과 여파기를 집적시킨 고온초전도 서브시스템의 일종이다. 본 발명은 마이크로스트립선 방식의 고온초전도 마이크로파 듀플렉서는 고온초전도 YBCO/MgO 에피텍셜 박막과 미세형성화 공정을 통하여 구현하였으며 출력포트에서의여파기 신호는 36MHz의 대욕폭과~10GHz 중 심주파수를 가졌다. 한편, 4-포트형 3-성분 시험치구(test-jig)에 제조한 고온초전도 듀플렉서를 내장시키고 저온 마이크로파 특성을 측정하기 전에, 기판 뒷면에는 전자선 증발기로 이중금속(Ti/Ag)접지평면을 중착하였다. 따라서, 고온초전도 듀플렉서는 YBCO/MgO/Ti/Ag구조를 갖게 되었다. 이러한 고온초전도 듀플렉서는 사용하는 무선 및 마이크로파 통신부품은 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고, 마이크로스트립線 방식의 서브시스템으로 제조도 간단하고 경량이므로 고온초전도 MMICs의 발달을 촉진할 것으로 기대된다.
Abstract:
한정된 전파자원을 효율적으로 활용하기 위해서는 매우 우수한 특성의 마이크로웨이브 부품개발이 요구되는바, 여기에 높은 양호도를 발휘할 수 있는 무손실 무저항의 고온초전도체 응용은 마이크로웨이브 부품의 특성 향상에 매우 유리하다. 본 발명은 고온초전도 박막을 이용하여 마이크로웨이브 대역에서 사용할 수 있는 새로운 개념을 갖는 섭동된 이중모드 고리형 공진기의 설계 및 제작에 관한 것이며 고온초전도 에피택셜박막과 시뮬레이션으로 구한 최적 회로패턴을 전사시킨 전자선 마시크를 이용한 포토리소그래픽 공정과 식각공정을 통해, YBa 2 Cu 3 O 7-8 /Mgo/Ti(또는 Cr)/Ag 구조의 섭동된 고온초전도 이중모드 고리형 공진기를 제작한다. 본 발명의 소자는 기존의 금속박막형 고주파 수동소자보다 성능이 우수하다.
Abstract:
An apparatus and a method for generating THz-waves by heterodyning optical and electrical waves are provided to control precisely a near-field optical fiber probe by using the near-field optical fiber probe and a nano-actuator. A test target unit generates THz-waves by using injected optical waves and electric waves. A probe is formed to scan the test target unit by using light received through an optical fiber. A driving oscillator(7) generates the electric waves and applies the electric waves to the test target device. The probe includes a lossless optical waveguide part, a tapering optical fiber part, and a probe terminal in order to connect the optical waveguide part with the optical fiber. Diameter of the probe terminal is shorter than wavelength of the light. A scanning direction of the probe crosses the direction in which the electric waves are injected.